1988 Fiscal Year Annual Research Report
新しい縦型放電励起方式を用いた高速紫外パルスレーザの研究
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63420036
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
後藤 俊夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (50023255)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
平松 美根男 名城大学, 理学部, 助手 (50199098)
岸本 茂 名古屋大学, 工学部, 教務員 (10186215)
河野 明広 名古屋大学, 工学部, 助教授 (40093025)
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| Keywords | 縦型放電励起 / 高速紫外パルスレーザ / 自動予備電離方式 / 窒素レーザ / XeClエキシマレーザ / 準安定準位密度 / レーザ吸収分光測定 / 電子密度測定 |
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| Research Abstract |
研究目的
窒素及びエキシマレーザの励起法として縦型放電励起を用いると装置が小型になり、良質なレーザビームが得られるが、現在まで有効な予備電離方式がなく、十分研究されてこなかった。しかし最近我々は新しい予備電離方式及び放電管形状を考案し、実用的に魅力のある小型縦型放電励起の窒素及びエキシマレーザの発振に初めて成功した。本研究の目的はこの縦型放電励起の窒素及びXeClエキシマレーザの装置的研究及び物性的研究を系統的に行い、実用化の基礎を確立することである。
63年度研究成果
1.レーザ装置の設計・製作
サイラトロンを含む励起回路系、自動予備電離方式の距型及び丸型レーザ管、ガス供給及び再生装置を設計し、レーザ装置を製作した。
2.丸型断面の縦型放電励起窒素レーザの研究
レーザ出力特性を詳細に調ベ、ガス圧力(全ガス圧力、混合比)、回路パラメータ(コンデンサ容量、充電電圧、インダクタンス等)、管径及び放電長等の最適条件を決定した。
3.矩型断面の縦型放電励起窒素レーザの研究
矩型断面のレーザ管を考案して、2の丸型レーザより大きなレーザ出力を得ることに成功し、その出力特性を測定した。
4.窒素及びXeClエキシマレーザのOES(発光分光法)測定
最適条件付近でレーザ放電からの発光スペクトルのOES測定を行い放電内に存在する不純物の種類と相対量を調べた。
5.窒素及びエキシマレーザ用放電内の電子密度測定系の設計・製作
シュタルク幅法による測定系の準備、及び干渉測定用炭酸ガスレーザ装置の製作を行った。
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[Publications] H.Furuhashi: Rev.Scient.Instrum.59. 2552-2556 (1988)
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[Publications] H.Furuhashi: J.Phys.E.(1989)
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[Publications] 古橋秀夫: 電気学会プラズマ研究会資料. EP8-14 (1988)
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[Publications] 古橋秀夫: 春季応用物理学会講演予稿集. 5 (1988)
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[Publications] 古橋秀夫: 秋季応用物理学会講演予稿集. 772 (1988)
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[Publications] H.Furuhashi: Appl.Phys.Lett.50. 883-885 (1988)
