1989 Fiscal Year Annual Research Report
ナノダイナミックス現象の測定・分析・理論検証システムの開発
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63460105
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
山浦 弘 東京工業大学, 工学部, 助手 (80210326)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山本 浩 東京工業大学, 工学部, 助手 (20220494)
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| Keywords | ナノダイナミックス / レ-ザドップラ振動計 / エアスピンドルの回転精度 / エアスピンドルの伝達関数 / 浮動ヘッド機構の振動 / 逆問題解法 |
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| Research Abstract |
下記の2項目について研究を進め、以下の結果を得た。
1.エアスピンドルの動特性
(1)回転精度の測定:反射光量式変位測定器(A)、静電容量式変位測定器(B)、レ-ザ・ドップラ振動計(C)による回転面の面外振動測定精度について比較研究した。その結果、(A)においては回転面の反射率が変化により、数10nm相当の測定誤差が混入する、(B)においては積分時に低周波数領域の誤差が混入するなどの問題を明らかにした。また計器ノイズを低減させた(C)による周波数領域の測定結果から非再現性振動成分の標準偏差は1nm以下であることを明らかにした。また、スピンドルの非再現性振動の測定法に関し、第12回国際振動会議で発表した。(2)エアスピンドルの動特性の理論解析:エアスピンドルの空気膜の周波数特性を解析をおこない、エアスピンドルをモデル化し、各モ-ドについて、固有振動数・振動モ-ド・モ-ド減衰比を理論的に明らかにした。(3)回転中の伝達関数の測定法:測定面として表面粗さが0.1sの鏡面加工面を用い、さらに衝撃応答波形の時間領域平均を行えば、レ-ザ・ドップラ振動計により伝達関数の高精度測定が実現できることを明らかにした。
2.浮動ヘッド機構の動特性
レ-ザ・ドップラ-振動計を用いて磁気ディスク面の運動および浮動ヘッドスライダの運動を測定し、浮動ヘッドスライダの周波数応答特性の数値解析結果と比較検討した。また、従来の手法に比べ計算率が高い浮動ヘッドスライダの逆問題解法による静特性解析法を開発した。本理論解析法は10月のJSLE主催の国際潤滑会議で発表予定である。
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[Publications] Kyosuke ONO.Naoto SAIKI Yutaro SANADA and Akihiko KUMANO: "Analysis of Non-repeatable Radial Vibration of Magnetic Disk Spindles" Proceedings of 12th Biennial Conference on Mechanical Vibration and Noise. 18〔2〕. 23-30 (1989)
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[Publications] Hiroshi YAMAURA Kyosuke ONO: "Inverse Analysis of Flying Head Slider Bearings for Magnetic Disk Recording" Proceedings of International Tribology Conference. (1990)
