1988 Fiscal Year Annual Research Report
リアルタイム電子ビームテスティング法とその応用に関する研究
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63550292
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
藤岡 弘 大阪大学, 工学部, 助教授 (40029228)
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| Keywords | 電子ビームテスティング / リアルタイム計測 / 2次電子検出器 / 走査電子顕微鏡 / 論理LSI |
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| Research Abstract |
1.超広帯域2次電子信号検出システムの構成
超高速シンチレータ(過渡応答2.4ns)/光電子増倍管(過渡応答2.3ns)/広帯域前置増幅器(帯域200MHz)を2次電子検出器として持つリアルタイム2次電子検出システムを構成し、2次電子が試料表面から放出され、エネルギー分光器を経て前置増幅器から出力されるまでの全系の時間分解能10nsを実現した。
また、シンチレータを試料台に近接させることにより、他の構成要素がそのままの場合でも、時間分解能が4nsまで改善される可能性のあることを、2次電子軌道解析により示した。
2.超低デューティ比動作の観察
論理振幅0.4〜4V、繰り返し周波数100Hz〜100MHzの全領域にわたって時間分解能10nsのリアルタイム計測が可能である事を示した。従って、デューティ比(繰り返し周期に対するパルス幅の比)が10^<-6>程度の超低デューティ比動作の論理デバイスへの適用も可能である。
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Research Products
(1 results)
