1990 Fiscal Year Annual Research Report
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63550541
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| Research Institution | University of Osaka Prefecture |
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Principal Investigator |
中山 豊 大阪府立大学, 工学部, 教授 (90081364)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
津田 大 大阪府立大学, 工学部, 助手 (80217322)
森井 賢二 大阪府立大学, 工学部, 助教授 (10101198)
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| Keywords | 光磁記録薄膜 / 積層薄膜 / 固体反応 / 化合物形成 / PtMnSb相 / Mn_2Sb相 / 磁化特性 |
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| Research Abstract |
金属系超格子積層膜の固体反応による光磁気記録薄膜の合成の可能性を検討することを目的として、PtーMnーSb系をとりあげ、強磁性相 PtMnSb(C1_b)を主相とした多相組織薄膜の作製と多相化に伴う磁化特性の変化を調べた。
Pt/Mn/Sb積層膜は回転する円盤上に置いたPt,Mn,Sbタ-ゲットをArビ-ムにより順次スパッタすることにより成膜した。基板はガラスとして基板温度は室温とした。積層膜の固体反応により、主相PtMnSbの他に磁性相Mn_2Sb,MnSb等を形成させることをねらって、膜の積層構造を変化させた。試料A式[Pt(1.2nm)/Mn(2.4nm)/Sb(2.4nm)]_<60>を基本として、試料B:[[Pt(1.0)/Mn(2.5)/Sb(2.5)]_1/[Mn(3.0)/Sb(3.0)]_2]_<20>、試料C:[[Pt(1.0)/Mn(2.5)/Sb(2.5)]_1/[Mn(3.0)/Sb(3.0)]_4]_<12>、および試料D:[[[Pt(1.0)/Mn(2.5)/Sb(2.5)]_<15>/[Mn(3.0)/Sb(3.0)]_<30>/[[Pt(1.0)/Mn(2.5)/Sb(2.5)]_<15>]_1,などの多重変調組成薄膜を得た。これらに真空中773K,1hの熱処理を施し構成相間の固体反応を誘起した。形成された化合物相はX線回折法、透過電顕法により同定した。試料AはC1_bーPtMnSb単相膜となったが、試料BーDではPtMnSb相の他に第2相としてMn_2Sb相が形成され二相膜となった。また、形成された各相の結晶配向性が積層構造により著しく変化した。とくに試料AではPtMnSb相の[111]が膜面垂直に配向したのに対し、試料BおよびCではMn_2Sb相の[001]が垂直配向した。PtMnSb相の配向性は薄膜の磁化特性に大きな影響を与えるものではなかったが、Mn_2Sb相の[001]配向性はその結晶磁気異方性のために、容易磁化軸が膜面垂直に向いたいわゆる垂直磁化を誘起した。以上より、多層膜の積層構造を膜の平均組成と局所組成を考慮して変化させることにより、Pt/Mn/Sb多層膜の固体反応を制御することが可能であり、またこれにより薄膜の磁化特性をも制御可能であることが示唆された。
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[Publications] N.Hayashi: "Thermal Mixing of Thin Multilayerd Pt/Mn/Sb Films." Mater.Sci.Eng.,.
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[Publications] N.Hayashi: "Formation of PtMnSb Phase in Thin Multilayered Pt/Mn/Sb Films." Materials.Trans JIM,.
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[Publications] T.Matsui: "Preparation and Magnetic Properties of Two Phase PtMnSbーMn2Sb Thin Films." Mater.Sci.Eng.,.
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[Publications] T.Matsui: "MnSbーPtMnSb TwoーPhase Films Fabricated by Interdiffusion Method," Scripta Met.Mater.,.
