1990 Fiscal Year Annual Research Report

プラズマCVDによる炭酸ガスレ-ザ用レンズ薄膜の製作と性能評価に関する研究

Research Project

Project/Area Number	63890015
Research Category	Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
Research Institution	Takamatsu National College of Technology
Principal Investigator	中村茂昭高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (00044024)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	草薙一正トーヨーオプトデバイス(株), 研究開発室, 室長平野俊雄高松工業高等専門学校, 機械工学科, 教授 (60044038) 山本斌曠高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (70044021) 吹田義一高松工業高等専門学校, 機械工学科, 助教授 (20044050) 吉岡捷爾高松工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (20110132)
Keywords	炭酸ガスレ-ザ用レンズ / 塩化カリウム単結晶 / 硫化ヒ素薄膜 / 木材加工
Research Abstract	1.KC1単結晶作製 KC1単結晶引上げ装置TKSーP1を本研究で製作し、自動的にKC1単結晶80φ×70mmを作製した。温度コントロ-ラのプログラムは Step No.1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 温度℃40 840 840 840 804 783 777 777 500 500 時間hr12 3.0 2.0 0.1 1.3 1.45 4 0.1 1.0 24 step9で温度が500℃に達した後、結晶を冷却管から離し、step10にそって24時間なます。 2.KC1単結晶レンズ製作手動によってKC1単結晶を砂掛け皿、ピッチ皿等で研磨(研磨剤:水、アルコ-9、FOの#240、400、800、1200及びマイクロポリッシュ)し、曲率半径440と550mmのKC1単結晶レンズ(焦点距離53と70mm、直径60と70mm、厚さ28と32mm)を製作した。 3.As_2S_3コ-ティング KC1レンズに耐潮解性、耐破壊性を保持させるために、本研究でつくった硫化ヒ素バルクを真空中10^<ー6>torrで抵抗加熱により6μmのAs^2S^3膜をKC1レンズの中心部(径6mmφ)の周囲に付着させた。 4.CO^2レ-ザによる有機材料の切断上述の製作したKC1レンズを低パワ-レ-ザ装置(レ-ザ発信機:日本科学エンジニアリングNALー50、17.5W、6mmφ及び日本精工XYテ-ブル、HS0040ー902)に設定し、アシストガスN_2(面圧力:2kg/cm^2)を使用して有機材料のレ-ザ加工(焦点距離に材料表面設定)を行った。その数例を示すと、f53レンズ使用、切断速度300mm/sで木材メラピ-(厚さ3mm)の場合は表面切断幅は0.8mm、裏面は0.5mm、塩ビ(厚さ1.6mm)の場合は1.0と0.5、ポリエチレン(厚さ≦0.1mm)で0.8と0.8であり、切断面はいずれの場合も少し黒くなった。これらから、本研究で安価に製作される耐潮解性・耐破壊性膜付KC1レンズは充分耐久性(数年間使用可能)を持ち、高価なセレン化亜鉛に代わる実用性を持つことが分かった。次の段階として、As_2S_3とPbF_2による完全反射防止膜付KC1レンズを使用して有機材料の各種の形状加工を高速で行うことを試みている。

Research Products
(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] Shigeaki Nakamura,et al.: "Mechanical and Optical Properties of TiN CVDーFilm on Ceramic." Chemistry Express. Vol.5. 309-312 (1990)
[Publications] Yoshikazu Suita,et al.: "Analysis of Residual Stresses in Evaporated and Plating Films." Transaction of The Japan Welding Society. Vol.22. (1991)
[Publications] Shoji Yoshioka: "Preparation and Properties of Ge_<1ーx>Se_x Films" The Colloquium at Material Science and Engineering Department of Stanford University. Jan.24. (1991)
[Publications] 中村茂昭: "炭酸ガスレ-ザ切断" 平成2年度産学官交流会香川県テクノポリス推進協議会・香川県産業立地課. Feb.20. (1991)
[Publications] 中村茂昭: "複合材料の境界面について" 複合材料の再利用用システム技術第4回研究会通産省四国工業技術試験所. Dec.21. (1990)
[Publications] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Processes of Metastable Mercury Atoms (6^3P_2) in the Afterglow" Progress Report,Atomic Collision Research in Japan. No.16. 92-93 (1990)
[Publications] 溶接学会編吹田義一分担執筆: "溶接・接合便覧" 丸善(株), 1496 (1990)

1990 Fiscal Year Annual Research Report

プラズマCVDによる炭酸ガスレ-ザ用レンズ薄膜の製作と性能評価に関する研究

Principal Investigator

中村 茂昭 高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (00044024)

Research Products

[Publications] Shigeaki Nakamura,et al.: "Mechanical and Optical Properties of TiN CVDーFilm on Ceramic." Chemistry Express. Vol.5. 309-312 (1990)

[Publications] Yoshikazu Suita,et al.: "Analysis of Residual Stresses in Evaporated and Plating Films." Transaction of The Japan Welding Society. Vol.22. (1991)

[Publications] Shoji Yoshioka: "Preparation and Properties of Ge_<1ーx>Se_x Films" The Colloquium at Material Science and Engineering Department of Stanford University. Jan.24. (1991)

[Publications] 中村 茂昭: "炭酸ガスレ-ザ切断" 平成2年度産学官交流会 香川県テクノポリス推進協議会・香川県産業立地課. Feb.20. (1991)

[Publications] 中村 茂昭: "複合材料の境界面について" 複合材料の再利用用システム技術 第4回研究会 通産省四国工業技術試験所. Dec.21. (1990)

[Publications] Yoshihiro Yamamoto: "Transition Processes of Metastable Mercury Atoms (6^3P_2) in the Afterglow" Progress Report,Atomic Collision Research in Japan. No.16. 92-93 (1990)

[Publications] 溶接学会編 吹田 義一 分担執筆: "溶接・接合便覧" 丸善(株), 1496 (1990)

中村茂昭高松工業高等専門学校, 一般科目, 教授 (00044024)

[Publications] 中村茂昭: "炭酸ガスレ-ザ切断" 平成2年度産学官交流会香川県テクノポリス推進協議会・香川県産業立地課. Feb.20. (1991)

[Publications] 中村茂昭: "複合材料の境界面について" 複合材料の再利用用システム技術第4回研究会通産省四国工業技術試験所. Dec.21. (1990)

[Publications] 溶接学会編吹田義一分担執筆: "溶接・接合便覧" 丸善(株), 1496 (1990)