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2023 Fiscal Year Annual Research Report

Novel Buffer Layer Material for Van der Waals Stacking Structures: Application of Gallium Sulfide

Publicly Offered Research

Project AreaScience of 2.5 Dimensional Materials: Paradigm Shift of Materials Science Toward Future Social Innovation
Project/Area Number 22H05445
Research InstitutionSaitama University

Principal Investigator

上野 啓司  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (40223482)

Project Period (FY) 2022-06-16 – 2024-03-31
Keywords硫化ガリウム / ファンデルワールス積層構造 / バッファ層 / 13-16族層状化合物 / 電界効果トランジスタ / 層状物質
Outline of Annual Research Achievements

(1) 硫化ガリウムGaSをバッファ層、二硫化モリブデンMoS2等の遷移金属ダイカルコゲナイドをチャネル層とする電界効果トランジスタ(FET)作製については、まずGaS単結晶を前年度立ち上げた装置を用いてBridgman法により成長した。ラマン分光とX線回折により得られた単結晶を評価した結果、GaSについての既報告と一致したことから、得られた単結晶はGaSであることが確認された。
FET作製では、機械的剥離によって得たGaSおよびMoS2薄片をポリジメチルシロキサン(PDMS)のゲル状シートを用いて積層したのち、フォトリソグラフィとArスパッタまたは真空蒸着により電極を形成した。作製したFETの動作特性は真空中で、室温または低温(前年度立ち上げた低温プローバー装置を使用)にて測定した。その結果、GaSをバッファ層として用いたFETは、低温でドレイン電流の増加、移動度の向上が確認できたが、伝達特性の測定において大きなヒステリシスを示すことが判明した。ヒステリシスの起因はGaSバッファ層表面、あるいは結晶内部に存在する正電荷トラップであると考えている。

(2) 本研究予算により購入した石英アンプルを用いて、様々な種類の層状化合物(遷移金属ダイカルコゲナイド、13-16族層状化合物、14-16族層状化合物、等)の単結晶を化学蒸気輸送法により成長した。得られた単結晶試料は自身の実験で使用する他に、本学術変革領域研究に属する多くのメンバーに無償提供し、領域内共同研究を幅広く推進した。また領域外研究者にも試料提供を数多く行っている。

Research Progress Status

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和5年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (35 results)

All 2024 2023 Other

All Int'l Joint Research (4 results) Journal Article (11 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Peer Reviewed: 11 results,  Open Access: 2 results) Presentation (16 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Invited: 1 results) Book (1 results) Remarks (3 results)

  • [Int'l Joint Research] The University of Texas at Austin/Purdue University(米国)

    • Country Name
      U.S.A.
    • Counterpart Institution
      The University of Texas at Austin/Purdue University
  • [Int'l Joint Research] Chalmers University of Technology(スウェーデン)

    • Country Name
      SWEDEN
    • Counterpart Institution
      Chalmers University of Technology
  • [Int'l Joint Research] Philipps University of Marburg(ドイツ)

    • Country Name
      GERMANY
    • Counterpart Institution
      Philipps University of Marburg
  • [Int'l Joint Research] National Yang Ming Chiao Tung University/Fudan University/National Tsing Hua University(中国)

    • Country Name
      CHINA
    • Counterpart Institution
      National Yang Ming Chiao Tung University/Fudan University/National Tsing Hua University
    • # of Other Institutions
      3
  • [Journal Article] Realization of MoTe2 CMOS inverter by contact doping and channel encapsulation2024

    • Author(s)
      Xie Tianshun、Ke Mengnan、Ueno Keiji、Watanabe Kenji、Taniguchi Takashi、Aoki Nobuyuki
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 63 Pages: 02SP49~02SP49

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad16bc

    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Coherent optical response driven by non-equilibrium electron-phonon dynamics in a layered transition-metal dichalcogenide2024

    • Author(s)
      Fukuda Takumi、Makino Kotaro、Saito Yuta、Fons Paul、Ando Atsushi、Mori Takuya、Ishikawa Ryo、Ueno Keiji、Afalla Jessica、Hase Muneaki
    • Journal Title

      APL Materials

      Volume: 12 Pages: 021102

    • DOI

      10.1063/5.0188537

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Single-Gate MoS2 Tunnel FET with a Thickness-Modulated Homojunction2024

    • Author(s)
      Fukui Tomohiro、Nishimura Tomonori、Miyata Yasumitsu、Ueno Keiji、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Nagashio Kosuke
    • Journal Title

      ACS Applied Materials & Interfaces

      Volume: 16 Pages: 8993~9001

    • DOI

      10.1021/acsami.3c15535

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Terahertz emission from transient currents and coherent phonons in layered MoSe2 and WSe22023

    • Author(s)
      Afalla Jessica、Muldera Joselito、Takamizawa Semmi、Fukuda Takumi、Ueno Keiji、Tani Masahiko、Hase Muneaki
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 133 Pages: 165103

    • DOI

      10.1063/5.0146489

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Fermi Pressure and Coulomb Repulsion Driven Rapid Hot Plasma Expansion in a van der Waals Heterostructure2023

    • Author(s)
      Choi Junho、Embley Jacob、Blach Daria D.、Perea-Causin Raul、Erkensten Daniel、Kim Dong Seob、Yuan Long、Yoon Woo Young、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Ueno Keiji、Tutuc Emanuel、Brem Samuel、Malic Ermin、Li Xiaoqin、Huang Libai
    • Journal Title

      Nano Letters

      Volume: 23 Pages: 4399~4405

    • DOI

      10.1021/acs.nanolett.3c00678

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] p-Type Conversion of WS2 and WSe2 by Position-Selective Oxidation Doping and Its Application in Top Gate Transistors2023

    • Author(s)
      Kato Ryoichi、Uchiyama Haruki、Nishimura Tomonori、Ueno Keiji、Taniguchi Takashi、Watanabe Kenji、Chen Edward、Nagashio Kosuke
    • Journal Title

      ACS Applied Materials & Interfaces

      Volume: 15 Pages: 26977~26984

    • DOI

      10.1021/acsami.3c04052

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Ultrafast melting of charge-density wave fluctuations at room temperature in 1T-TiSe2 monitored under non-equilibrium conditions2023

    • Author(s)
      Mizukoshi Yu、Fukuda Takumi、Komori Yuta、Ishikawa Ryo、Ueno Keiji、Hase Muneaki
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 122 Pages: 243101

    • DOI

      10.1063/5.0153161

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Photoinduced Structural Dynamics of 2H-MoTe2 Under Extremely High-Density Excitation Conditions2023

    • Author(s)
      Fukuda Takumi、Ozaki Uta、Jeong Samuel、Arashida Yusuke、En-ya Kaito、Yoshida Shoji、Fons Paul J.、Fujita Jun-ichi、Ueno Keiji、Hase Muneaki、Hada Masaki
    • Journal Title

      The Journal of Physical Chemistry C

      Volume: 127 Pages: 13149~13156

    • DOI

      10.1021/acs.jpcc.3c02838

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Soft x-ray photoelectron momentum microscope for multimodal valence band stereography2023

    • Author(s)
      Matsui Fumihiko、Hagiwara Kenta、Nakamura Eiken、Yano Takayuki、Matsuda Hiroyuki、Okano Yasuaki、Kera Satoshi、Hashimoto Eri、Koh Shinji、Ueno Keiji、Kobayashi Takahiro、Iwamoto Emi、Sakamoto Kazuyuki、Tanaka Shin-ichiro、Suga Shigemasa
    • Journal Title

      Review of Scientific Instruments

      Volume: 94 Pages: 083701

    • DOI

      10.1063/5.0154156

    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Silicon-van der Waals heterointegration for CMOS-compatible logic-in-memory design2023

    • Author(s)
      Lee Mu-Pai、Gao Caifang、Tsai Meng-Yu、Lin Che-Yi、Yang Feng-Shou、Sung Hsin-Ya、Zhang Chi、Li Wenwu、Li Jun、Zhang Jianhua、Watanabe Kenji、Taniguchi Takashi、Ueno Keiji、Tsukagoshi Kazuhito、Ho Ching-Hwa、Chu Junhao、Chiu Po-Wen、Li Mengjiao、Wu Wen-Wei、Lin Yen-Fu
    • Journal Title

      Science Advances

      Volume: 9 Pages: eadk1597

    • DOI

      10.1126/sciadv.adk1597

    • Peer Reviewed / Open Access / Int'l Joint Research
  • [Journal Article] Work Function Modulation of Bi/Au Bilayer System toward p-Type WSe2 FET2023

    • Author(s)
      Nakajima Ryuichi、Nishimura Tomonori、Ueno Keiji、Nagashio Kosuke
    • Journal Title

      ACS Applied Electronic Materials

      Volume: 6 Pages: 144~149

    • DOI

      10.1021/acsaelm.3c01091

    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Application of Gallium Sulfide as a Buffer Layer in Van der Waals Stacking Structures2024

    • Author(s)
      Ayane Tanaka, Hong En Lim, Keiji Ueno
    • Organizer
      第66回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [Presentation] Scalable growth of Mo6Te6 bundles by chemical vapor deposition2024

    • Author(s)
      Shintaro Saito, Itsuki Yamada, Hong En Lim, Keiji Ueno
    • Organizer
      第66回 フラーレン・ナノチューブ・グラフェン総合シンポジウム
  • [Presentation] 周波数変調原子間力顕微鏡を用いた1T-TaS2電荷密度波の観測2024

    • Author(s)
      小野孝浩、重野智宏、安井勇気、上野啓司、杉本宜昭
    • Organizer
      日本物理学会 2024年春季大会
  • [Presentation] 化学気相成長法によるMo6Te6ナノワイヤーの多量成長2024

    • Author(s)
      斎藤 慎太朗、山田 樹、リム ホンエン、上野 啓司
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] TaS2のオゾン酸化によるTaOxの形成とゲート絶縁膜応用2024

    • Author(s)
      佐橋 悠太朗、稲田 貢、佐藤 伸吾、上野 啓司、山本 真人
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] WSe2をチャネルとするディラックソースFETの作製2024

    • Author(s)
      細見 誓、稲田 貢、佐藤 伸悟、谷 弘詞、谷口 尚、渡邊 賢司、上野 啓司、山本 真人
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] WSe2/WOxヘテロ構造における光ゲーティング効果の温度依存性2024

    • Author(s)
      金谷 瞳、稲田 貢、谷口 尚、渡邊 賢司、上野 啓司、山本 真人
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] WSe2/WOxヘテロ構造における抵抗変化動作の電極材料依存性2024

    • Author(s)
      福島 脩平、稲田 貢、上野 啓司、山本 真人
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] 希薄NbドープWSe2 FETにおける層数減少に伴うp+からn型への遷移2024

    • Author(s)
      金橋 魁利、西村 知紀、上野 啓司、長汐 晃輔
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Nanolaminated Mist CVD High-κ AlOx/TixAl1-xOy/TiO2 films on P+-Si for TMDCs-MOSFETs2024

    • Author(s)
      Abdul A Kuddus, Kojun Yokoyama, Mainul Hossain, Jaker Hossain, Rasidul Islam, keiji Ueno, Shinichiro Mouri, Hajime Shirai
    • Organizer
      2024年 第71回応用物理学会春季学術講演会
  • [Presentation] Stack control of Bi/Au bilayer electrodes toward p-type WSe2 FET2023

    • Author(s)
      Ryuichi Nakajima, Tomonori Nishimura, Keiji Ueno, Yasumitsu Miyata, Kosuke Nagashio
    • Organizer
      2023 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2023)
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 二次元WSe2/WOX電荷トラップメモリにおける光シナプス可塑性2023

    • Author(s)
      金谷 瞳、櫛原 快児、稲田 貢、谷口 尚、渡邊 賢司、上野 啓司、山本 真人
    • Organizer
      2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] 表面偏析による積層構造制御を利用したWSe2 FETのp型動作2023

    • Author(s)
      中島 隆一、西村 知紀、金橋 魁利、上野 啓司、宮田 耕充、長汐 晃輔
    • Organizer
      2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • Invited
  • [Presentation] 銀電極を用いた1T-VSe2抵抗変化メモリにおける低電圧・安定動作2023

    • Author(s)
      中村 優太、稲田 貢、上野 啓司、山本 真人
    • Organizer
      2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] ReドープMoSe2同一結晶面内ヘテロ構造によるトンネルFET動作2023

    • Author(s)
      香崎 飛竜、西村 知紀、金橋 魁利、上野 啓司、長汐 晃輔
    • Organizer
      2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Presentation] Decomposition and Size Distribution Monitoring of AlTiO and MoS2 Precursor Mist Particles using a Fast-Scanning Mobility Particle Sizer2023

    • Author(s)
      Abdul A Kuddus, Kojun Yokoyama, Keiji Ueno, Shinichiro Mouri, Hajime Shirai
    • Organizer
      2023年 第84回応用物理学会秋季学術講演会
  • [Book] 遷移金属ダイカルコゲナイドの基礎と最新動向2023

    • Author(s)
      宮田耕充、吾郷浩樹、松田一成、長汐晃輔、上野啓司 等
    • Total Pages
      326
    • Publisher
      シーエムシー出版
    • ISBN
      978-4-7813-1758-8
  • [Remarks] 上野・リム研究室公式Webページ

    • URL

      https://surface-www.chem.saitama-u.ac.jp/

  • [Remarks] 埼玉大学研究者総覧

    • URL

      https://s-read.saitama-u.ac.jp/researchers/search/

  • [Remarks] 埼玉大学大学院理工学研究科物質科学専攻基礎化学プログラム・理学部基礎化学科 公式サイト

    • URL

      https://chem.saitama-u.ac.jp/

URL: 

Published: 2024-12-25  

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