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2015 Fiscal Year Annual Research Report

極軽量・原子層メカニカル構造の機能化

Publicly Offered Research

Project AreaScience of Atomic Layer Systems
Project/Area Number 26107513
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

米谷 玲皇  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 講師 (90466780)

Project Period (FY) 2014-04-01 – 2016-03-31
Keywordsグラフェン / ナノメカニカル振動子 / NEMS
Outline of Annual Research Achievements

本研究の目的は、グラフェンメカニカル構造体を振動子センサとして機能化するための学術的,技術的基盤を築くことである。2015年度は、グラフェンメカニカル構造を光センシング素子へ機能化するための基礎的知見の獲得を狙い、主に光学特性とその電圧制御性に関する研究を行った。
本研究では、光学特性の電圧制御性評価のために、Au電極を設けたグラフェン試料を作製した。グラフェンはキッシュグラファイトから作製し、そのサイズは、およそ20 μm×80 μmであった。顕微紫外可視近赤外分光光度計を用いて、グラフェン試料の光学特性(反射率)とその電圧制御性の評価を行った。計測波長範囲は、200 nm - 1600 nmであった。結果として、波長220 nm, 270 nm - 300 nm, 450 nm, 700 nm - 1200 nm付近において高い反射率を示すことが確認された。また、電圧制御性の評価は、グラフェン試料に0 - -400 Vの電圧を印加し、反射光スペクトルを計測することにより行った。340 nm - 1600 nmの波長範囲においては、反射光スペクトルに顕著な変化は見られなかったが、およそ200 nm - 340 nmの短波長領域において、印加電圧に対し反射光スペクトルに変化が観察された。この結果は、短波長領域において、反射強度を電圧印加により制御できる可能性があることを示唆している。光学特性の電気的制御は、センシング素子の光応答安定化や光学的チューニングのために必須であり、本研究で獲得した知見は、グラフェンメカニカル構造体により高機能な光センシング素子を実現する一助となると期待される。

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

  • Research Products

    (5 results)

All 2015 Other

All Journal Article (1 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 1 results) Presentation (3 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Mechanical characteristics of ultra-long horizontal nanocantilevers grown by real-time feedback control on focused-ion-beam chemical vapour deposition2015

    • Author(s)
      D. Guo, S. Warisawa, S. Ishihara, R. Kometani
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: 25 Pages: 125028-1-6

    • DOI

      10.1088/0960-1317/25/12/125028

    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] Influence of Focused-Ion-Beam Process and Annealing Treatment on Resonance of Graphene Nanomechanical Resonator2015

    • Author(s)
      R. Kometani, K. Kosugi, K. Tsushima, S. Chiashi, S. Maruyama, E. Maeda
    • Organizer
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Place of Presentation
      富山県 富山市 富山国際会議場
    • Year and Date
      2015-11-12
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] フッ化表面改質によるカーボンナノメカニカル振動子の高Q値化2015

    • Author(s)
      米谷玲皇, 宮腰拓実, 前田悦男
    • Organizer
      第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      新潟県 新潟市 朱鷺メッセ
    • Year and Date
      2015-10-29
  • [Presentation] フッ素表面改質によるカーボンナノ機械振動子の高Q値化2015

    • Author(s)
      米谷玲皇, 宮腰拓実, 前田悦男
    • Organizer
      第75回 応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      愛知県 名古屋市 名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-14
  • [Remarks] 東京大学大学院工学系研究科 米谷研究室

    • URL

      http://www.nanome.t.u-tokyo.ac.jp/

URL: 

Published: 2017-01-06  

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