| Project/Area Number |
04F04793
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| Research Category |
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 外国 |
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| Research Field |
Thin film/Surface and interfacial physical properties
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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| Host Researcher |
川勝 英樹 東京大学, 生産技術研究所, 教授
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| Foreign Research Fellow |
ROSE Franck 東京大学, 生産技術研究所, 外国人特別研究員
ローズ フランク 東京大学, 生産技術研究所, 外国人特別研究員
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| Project Period (FY) |
2004 – 2005
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2005)
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| Budget Amount *help |
¥2,400,000 (Direct Cost: ¥2,400,000)
Fiscal Year 2005: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Fiscal Year 2004: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
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| Keywords | AFM / STM / グラフェン / カンチレバー |
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| Research Abstract |
(1)微小カンチレバーの作製を行った.リソグラフィーによりカンチレバーの突出方向と突出量を規定した移動機構を設け,それにより,カンチレバーが端面から所定の量突出するマイクロ加工技術を確立した.
(2)グラフェンシートを用いたカンチレバーの実現.グラファイトの塊から原子数層分のグラフェンシートを取り出し,カンチレバー状に成形した.このシートの膜振動特性を光励振機能を有するヘテロダインレーザドップラー計で計測し,計算結果との対応を調べた.微小かつコンプライアントなカンチレバーとしての可能性を調べた.
(3)シリコン(111)面を急冷し,様々なドメインを作製し,STM, AFMで観察した.その結果,C2x8面は,酸素の暴露に対して酸化されにくいことを明らかにした.酸化によるQ値の低下が少ない面であることが期待されるため,その効果を確認している.
(4)原子オーダの質量分解能の確認に先立ち,AFMによる単原子の垂直,水平方向マニピュレーションを行った.引力領域,斥力領域を用いたマニピュレーションが比較的簡単に実現できることを確認した.
(5)質量検出分解能の向上のためには,周波数ノイズの少ない振動子の実現と,計測系の低ノイズ化を平行して進める必要がある.今年度は,レーザ,回路,光学系,の見直しを行い,計測に起因するノイズの低減を行った.その結果,AFMの原子像の質を各段に向上させた.
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Report
(2 results)
Research Products
(3 results)
