Budget Amount *help |
¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2005: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
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Research Abstract |
研究代表者の所属するグループでは,曲がりはり型の静電マイクロアクチュエータを開発している.石英ガラス基板上に,二酸化珪素被膜を有する基板電極と,基板に垂直な方向に曲がったはり状の可動電極間に電圧を印加することにより,曲がりはりが変位する.基板電極を先細りにすることによって,静電アクチュエータの問題であるプルインが発生することなく,全領域で安定な変位が得られているが,外乱の影響が大きい.そこで,研究代表者は,このアクチュエータのフィードバック制御を行い,外乱抑圧性を向上させる. フィードバック制御を行うには,変位センサが必要であるが,このアクチュエータの可動範囲が大きいため,センサにも広い測定範囲が要求される.小型化の面で優れた,ビルトイン式の静電容量式変位センサ,は広い測定範囲を得ることが難しい.そこで,センサに用いる周波数を24MHzにまで高め,アクチュエータ基板に増幅器を装備する.これにより,静電容量式変位センサの測定範囲を広めることに成功した.また,高い駆動電圧による増幅器の利得変動によって,センサノイズが増加してしまわないように,零搬送波法という新しい方法を提案し,その効果を実験で確認した.10倍に拡大した曲がりはりアクチュエータを用いて,フィードバック制御実験を行い,外乱抑圧性を向上させることに成功した. 現在,本研究成果をもとに,投稿論文を執筆中である.
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