• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to previous page

高アスペクト比磁気繊毛の開発と小型平面アクチュエータの試作

Research Project

Project/Area Number 09750371
Research Category

Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Electronic materials/Electric materials
Research InstitutionKitakyushu National College of Technology

Principal Investigator

太屋岡 篤憲  北九州工業高等専門学校, 電子制御工学科, 助手 (60236768)

Project Period (FY) 1998 – 1999
Project Status Completed (Fiscal Year 1998)
Budget Amount *help
¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Fiscal Year 1998: ¥600,000 (Direct Cost: ¥600,000)
Fiscal Year 1997: ¥1,600,000 (Direct Cost: ¥1,600,000)
Keywordsマイクロアクチュエータ / 磁気繊毛 / 高アスペクト比 / アルミニウム陽極酸化 / 直流電析 / 反磁界係数 / ナノワイヤ / カーリング・モード / 陽極酸化 / アルマイト / ナノワイア
Research Abstract

近年,マイクロマシンの要素技術である電磁型アクチュエータは,より小型化あるいは薄膜化される傾向にあり,膜面垂直方向に磁化した場合の反磁界をどう抑えるかが,アクチュエータ開発の重要なポイントとなっている.
本研究では,この問題を解決するために,アルマイト磁性皮膜の構造を改良し,直径0.4-,長さ300μm,アスペクト比750の針状の磁体が,3μmの間隔で膜面垂直に無数に並んだナノワイヤ皮膜を開発し,これを利用して,小型平面アクチュエータを試作することを目的とした.
以下に,研究概要を示す.
(1) 二段階陽極酸化法による反磁界係数の低減
従来のアルマイト磁性皮膜は,磁極が皮膜表面に高密度に分布するため,磁極間の静磁的な相互作用により,大きな反磁界を有する.本研究では,針状磁性体間の間隔を決める陽極酸化時の極間電圧を2段階(40V/120V)に制御し,その間隔を従来の3倍に広げ,表面の磁極密度を1/9に低減した.その結果,膜面垂直方向に磁化した場合の反磁界係数を,従来の限界値0.16から0.02に低減することができた.
(2) カーリングモードによる検討
皮膜中の磁性体充填率を,0.16から0.02へと減少させると,膜面垂直方向に磁化した場合の保磁力が,1.36kOeから1.53kOeへと減少し,カーリングモードにより見積った1本の無限長円柱微粒子磁性体の保磁力1.73kOeに近づくことを示した.これにより,表面磁極による静磁的相互作用が緩和されことが明らかとなった.
(3) Coナノワイヤの変形状態の観察
直径0.03μm,長さ10μm,アスペクト比約300の針状の磁体が,0.lμmの間隔で並んだCoナノワイヤ皮膜を開発し,電子顕微鏡観察により,外部磁界(lkOe程度)の印加で,Coナノワイヤが印加磁界方向に変形していることを確認した.これにより,本ナノワイヤを用いたマイクロアクチュエータの実現性が示ざれた.

Report

(2 results)
  • 1998 Annual Research Report
  • 1997 Annual Research Report
  • Research Products

    (6 results)

All Other

All Publications (6 results)

  • [Publications] A.Tayaoka,E.Tayaoka,H.Suzuki,J.Yamasaki: "Preparation of thin film having well-spaced Co nanowires using anodization technique." IEEE Transactinn on Magnetics in press.

    • Related Report
      1998 Annual Research Report
  • [Publications] 浦郷 隆,太屋岡篤憲,古城戸圭吾,山崎二郎: "陽極酸化法による高アスペクト比磁性体の作製" 平成11年電気学会全国大会講演論文集. 471 (1999)

    • Related Report
      1998 Annual Research Report
  • [Publications] A.Tayaoka, E.Tayaoka, H.Suzuki, J.Yamasaki: "Preparation of Co-Fe-P amorphous fine neeles with anodization technique and measurement of demagetizing factor" The 7th joint MMM-INTERMAG conference Abstract. AR06 (1997)

    • Related Report
      1997 Annual Research Report
  • [Publications] A.Tayaoka, E.Tayaoka, H.Suzuki, J.Yamasaki: "Fabrication of Co nanowires with high aspect ratio using anodization technique" ICM97 International Conference on Magnetism Abstract Booklet. M2-68 (1997)

    • Related Report
      1997 Annual Research Report
  • [Publications] 太屋岡篤憲, 太屋岡恵里子, 鈴木英世, 本田崇, 山崎二郎: "高角形比Coアルマイト磁性皮膜の作製" 第21回日本応用磁気学会学術講演会概要集. 311 (1997)

    • Related Report
      1997 Annual Research Report
  • [Publications] 太屋岡篤憲, 太屋岡恵里子, 鈴木英世, 山崎二郎: "二段階陽極酸化法によるCoナノワイヤの作製" 平成10電気学会全国大会講演論文集. 462 (1998)

    • Related Report
      1997 Annual Research Report

URL: 

Published: 1997-04-01   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi