高精度微細エッチング用ホトレジストの密着性の電気化学的評価法

• Project/Area Number: 12875134
• Research Category: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Material processing/treatments
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 杉本 克久 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 (80005397)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 赤尾 昇 東北大学, 大学院・工学研究科, 助手 (80222503) ; 原 信義 東北大学, 大学院・工学研究科, 助教授 (40111257)
• Project Period (FY): 2000 – 2002
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2002)
• Budget Amount: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000); Fiscal Year 2002: ¥600,000 (Direct Cost: ¥600,000); Fiscal Year 2001: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000); Fiscal Year 2000: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
• Keywords: シャドーマスク / フォトレジスト / 密着性 / エッチング / 電気化学的評価 / 定電位アノード分極 / 密着性ファクター / エッチングファクター / アルカリ脱脂

Research Abstract

CRT用シャドウマスクの高精度化を図るためには,エッチングマスクとなるホトレジストと素地金属の密着性を改善することが重要である。そのためには,まず,ホトレジストの密着性を定量的に評価する方法が必要である。本研究では,ホトレジストの密着性を電気化学的に評価する方法を開発することを目的として一連の検討を行い,以下のような成果を得た。
1.密着性ファクターの決定
前年度までに開発した電気化学的手法による密着性評価をより定量的なものとするために,密着性が良好な条件で測定される通過電気量を基準値とし,これに対する試験試料の通過電気量の比を密着性ファクターとして定義し,各前処理条件による密着性ファクターの変化を調べた。
2.エッチングファクターの測定および密着性ファクターとの比較
実操業で用いられる塩化第2鉄溶液を用いてエッチングを行い,エッチング深さとサイドエッチング量を計測することによってエッチングファクターを求めた。このエッチングファクターと電気化学的手法により得られたる密着性ファクターとを比較した結果,両者の間には良い相関関係があることが分かった
以上の結果を総合して,電気化学的手法による密着性の定量的評価法を確立した。