超解像偏光ラマン分光法と有限要素解析を用いたＳｉ結晶中の歪テンソル評価
| Project/Area Number |
12J10247
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| Research Category |
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 国内 |
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| Research Field |
Electronic materials/Electric materials
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| Research Institution | Meiji University |
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Principal Investigator |
富田 基裕 明治大学, 理工学部, 特別研究員(DC1)
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| Project Period (FY) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2014)
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| Budget Amount *help |
¥2,700,000 (Direct Cost: ¥2,700,000)
Fiscal Year 2014: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2013: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2012: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
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| Keywords | 歪Si / ラマン分光法 / 後方散乱電子回折法 / EBSP / EBSD / 超解像 |
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| Outline of Annual Research Achievements |
前年度までに超解像ラマン分光法（SRRS）と後方散乱電子回折法（EBSP）による高分解能歪評価を行ってきたが、SRRSは最小幅500 nmのメサ構造については評価に成功したが、幅200 nmを下回る構造については正確に評価できていない。このことから、超解像技術を導入しても空間分解能に相当するスケールの構造を測定可能かどうかとは別の問題であると考えられる。以上の課題を持つSRRSであるが、EBSPに対するSRRSの長所は絶縁膜を透過し、その直下の歪を測定可能である点である。EBSPの検出深さは約30から50 nmであるが、その大部分を絶縁膜が占める場合は回折像を得ることができない。また、電子線を用いるため、絶縁膜を有する構造ではチャージアップが生じて、測定点のずれや回折象の歪みを生む恐れがある。今年度はEBSPにおけるチャージアップの問題に着目し、その解決と高分解能歪評価の実証を目指した。
前年度までは幅50 nmのワイヤーパターンについてはチャージアップの影響により試料ドリフトが発生するため測定困難であった。そこで、試料ドリフトの影響を極力低減するために、SEM筐体内にて電子線をあらかじめ広域照射すること手法を採用し、幅50 nmのワイヤーパターン評価を可能とした。電子線の照射時間は約1時間である。この手法を採用することにより、最小幅50 nmのパターンまでEBSPを用いた高分解能歪テンソル評価が可能であることを示した。
本研究にて用いた試料は、Fin-FET構造に近い物で、幅50 nmは現在のLSIにおける素子ピッチ22 nmに非常に近い値であり、将来的には実際にFin-FETデバイスに導入された歪をEBSPによって評価可能であると考える。本研究は高精度で高空間分解能な歪テンソル評価手法の確立に大きく貢献し、LSIにおける歪起因の故障低減にもつながると確信している。
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| Research Progress Status |
26年度が最終年度であるため、記入しない。
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| Strategy for Future Research Activity |
26年度が最終年度であるため、記入しない。
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Report
(3 results)
Research Products
(43 results)
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[Presentation] Impact of Post-Oxidation Annealing of Si Nanowire on Its Ni Silicidation Rate2014
Author(s)
S. Hashimoto, H. Kosugiyama, K. Takei, J. Sun, R. Imai, H. Tokutake, M. Tomita, A. Ogura, T. Matsukawa, M. Masahara, and T. Watanabe
Organizer
27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
Place of Presentation
ヒルトン福岡シーホーク（福岡）
Year and Date
2014-11-06
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[Presentation] チップ増強ラマン分光法による歪Si評価2014
Author(s)
小瀬村大亮, 富田基裕, シティノル ヒダヤーチェモハマドユソフ, 後藤千絵, 川口哲成, 三澤真弓, 小椋厚志
Organizer
第61回応用物理学会春季学術講演会
Place of Presentation
青山大学(神奈川)
Year and Date
2014-03-19
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