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シリコン基板上III-V族半導体光デバイス集積技術の開発

Research Project

Project/Area Number 14J04580
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Electron device/Electronic equipment
Research InstitutionSophia University

Principal Investigator

松本 恵一  上智大学, 理工学研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2014-04-25 – 2016-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2015)
Budget Amount *help
¥1,700,000 (Direct Cost: ¥1,700,000)
Fiscal Year 2015: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2014: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Keywordsシリコンフォトニクス / 直接貼付法 / III-V族半導体 / MOVPE / InP/Si基板 / シリコンフォト二クス
Outline of Annual Research Achievements

採用第1年度においては,InP/Si基板上において発光層に量子ドット構造を用いたLEDの集積を行い,InP/石英基板上に量子井戸構造を発光層としたLEDを集積した.また,本手法によるInP/Si基板上へのレーザ構造の集積も試みており,年度末には低温環境下ではあるが発振動作を確認した.しかし,光配線技術に本研究が貢献できる可能性を示すには,集積されたレーザが室温環境下において発振動作することを示す必要があった.そのため,今年度はInP基板上に集積されたレーザを室温環境下において安定的に発振させることと,InP/Si基板を電気的にも機械的にもInP基板と等価に扱えるようにすることで,上述目標の達成を試みてきた.具体的には,レーザ構造の結晶成長条件出しを行うと同時に,Si基板上薄膜InP層のドープ量をInP基板のドープ量と等価な値まで増やし,電流電圧特性,及び発光効率を評価することで電気的な側面から薄膜InP層に改善を施した.また,InP-Si間の熱膨張係数差に起因する熱応力がレーザ構造を構成する結晶内部に欠陥を生じさせ,デバイスの発光効率及び寿命の低下を引き起こすことも懸念された.そこで,薄膜InP層に超格子構造と呼ばれる応力緩和層を導入し,薄膜InP層に機械的側面から改善を施した.そして,InP基板上において確立された成長条件を用いて,電気的,及び機械的に改善されたInP/Si基板上にレーザ構造を成長することで,InP/Si基板上のレーザから室温発振動作を確認した.このことは,本手法が,光デバイスの高密度集積化という点から光配線技術の進展に貢献できる可能性を示したことに相当する.そのため,学会誌にLetter論文,及びPaper論文を投稿中である.

Research Progress Status

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

27年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2015 Annual Research Report
  • 2014 Annual Research Report
  • Research Products

    (25 results)

All 2016 2015 2014 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 2 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (22 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results) Remarks (1 results)

  • [Journal Article] Current-injected light emission of epitaxially grown InAs/InP quantum dots on directly bonded InP/Si substrate2015

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Xinxin Zhang, Junya Kishikawa, and Kazuhiko Shimomura
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 54 Issue: 3 Pages: 030208-030208

    • DOI

      10.7567/jjap.54.030208

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Thermal treatment for preventing void formation on directly-bonded InP/Si interface2014

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Ryota Kobie, and Kazuhiko Shimomura
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 53 Issue: 11 Pages: 116502-116502

    • DOI

      10.7567/jjap.53.116502

    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access / Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si基板上InAs量子ドットの成長2016

    • Author(s)
      鎌田直樹, 鋤柄俊樹, 西山哲央, 大貫雄也, 松本恵一, 下村 和彦
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si基板上GaInAsP-InPダブルヘテロレーザの低温発振特性2016

    • Author(s)
      西山哲央,松本恵一,岸川純也,鋤柄俊樹,大貫雄也,鎌田直樹,菅家智一,下村和彦
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付 InP/Si 基板上結晶成長膜の接合強度および PL 強度の圧力依存性評価2016

    • Author(s)
      大貫 雄也, 松本 恵一, 岸川 純也, 西山哲央, 鎌田 直樹, 下村 和彦
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学大岡山キャンパス(東京都目黒区)
    • Year and Date
      2016-03-19
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si基板上MOVPE法によるGaInAsP-InPダブルヘテロレーザの集積2015

    • Author(s)
      松本恵一,金谷佳則,岸川純也,山元雄太,鋤柄俊樹,西山哲央,下村和彦
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si 基板接合界面における電気特性評価2015

    • Author(s)
      岸川 純也, 松本 恵一, 下村 和彦
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • Year and Date
      2015-09-13
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Characteristics of film InP layer and Si substrate bonded interface bonded by wafer direct bonding2015

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Yoshinori Kanaya, Junya Kishikawa, and Kazuhiko Shimomura
    • Organizer
      11th Conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR 2015)
    • Place of Presentation
      Busan, Korea
    • Year and Date
      2015-08-24
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Epitaxial Grown GaInAsP-InP Laser on Wafer Bonded InP/Si Substrate2015

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Yoshinori Kanaya, Junya Kishikawa, Yuta Yamamoto, Toshiki Sukigara, Tetsuo Nishiyama, and Kazuhiko Shimomura
    • Organizer
      The 2015 Compound Semiconductor Week(CSW)
    • Place of Presentation
      Santa Barbara, USA
    • Year and Date
      2015-06-28 – 2015-07-02
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] Epitaxial Grown GaInAsP-InP Laser on Wafer Bonded InP/Si Substrate2015

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Kazuhiko Shimomura, Yoshinori Kanaya, Junya Kishikawa, Yuta Yamamoto, Toshiki Sukigara and Tetsuo Nishiyama
    • Organizer
      42nd International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS)
    • Place of Presentation
      California, USA
    • Year and Date
      2015-06-28
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 直接貼付InP層を用いた異種基板上III-V族半導体発光デバイスの集積2015

    • Author(s)
      松本恵一,金谷佳則,岸川純也,下村和彦
    • Organizer
      電子情報通信学会技術研究報告
    • Place of Presentation
      機械振興会館(東京都港区)
    • Year and Date
      2015-06-19
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] GaInAs/InP MQW light-emitting diode fabricated on wafer bonded InP/Quartz substrate2015

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Makoto Takasu, Yoshinori Kanaya, Junya Kishikawa, Kazuhiko Shimomura
    • Organizer
      Conference on Lasers and Electro-Optics(CLEO)
    • Place of Presentation
      San Jose, USA
    • Year and Date
      2015-05-10 – 2015-05-15
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] GaInAs/InP MQW light-emitting diode fabricated on wafer bonded InP/Quartz substrate2015

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Makoto Takasu, Yoshinori Kanaya, Junya Kishikawa, and Kazuhiko Shimomura
    • Organizer
      Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2015)
    • Place of Presentation
      California, USA
    • Year and Date
      2015-05-10
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] シリコン基板上InP系半導体光デバイス集積技術の開発2015

    • Author(s)
      松本恵一
    • Organizer
      国際光年記念シンポジウム「国際光年記念式典」
    • Place of Presentation
      東京大学本郷キャンパス(東京都文京区)
    • Year and Date
      2015-04-21
    • Related Report
      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] シリコン基板上III-V族半導体光デバイス集積技術の開発2015

    • Author(s)
      松本恵一
    • Organizer
      国際光年記念シンポジウム「国際光年記念式典」
    • Place of Presentation
      東京大学安田講堂(東京都文京区)
    • Year and Date
      2015-04-21
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Quartz基板上GaInAs/InP MQW LEDの電流注入動作2015

    • Author(s)
      松本恵一、高巣誠、金谷佳則、岸川純也、下村和彦
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-12
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si基板における接合状態評価2015

    • Author(s)
      岸川純也、松本恵一、金谷佳則、下村和彦
    • Organizer
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東海大学湘南キャンパス(神奈川県平塚市)
    • Year and Date
      2015-03-12
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Glass基板上選択MOVPE成長により形成されたInP系導波路の断面形状評価2014

    • Author(s)
      岸川純也、松本恵一、金谷佳則、下村和彦
    • Organizer
      第75回応用物理学学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-19
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si基板接合界面におけるボイドによる電気特性への影響2014

    • Author(s)
      金谷佳則、松本恵一、岸川純也、下村和彦
    • Organizer
      第75回応用物理学学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-19
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/SiO2接合界面におけるボイド占有率の評価2014

    • Author(s)
      松本恵一、金谷佳則、岸川純也、下村和彦
    • Organizer
      第75回応用物理学学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道大学札幌キャンパス(北海道札幌市)
    • Year and Date
      2014-09-18
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] シリコン基板上III-V族半導体光デバイス集積技術の開発2014

    • Author(s)
      松本恵一
    • Organizer
      日本学術会議「第4回先端フォトニクスシンポジウム」
    • Place of Presentation
      日本学術会議講堂 (東京都港区)
    • Year and Date
      2014-08-08
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] Selective MOVPE grown GaInAs/InP MQW demonstrated on directly-bonded InP/SiO2-Si, Glass and Quartz substrate2014

    • Author(s)
      Keiichi Matsumoto, Yoshinori Kanaya, Junya Kishikawa, and Kazuhiko Shimomura
    • Organizer
      The 17th International Conference on Metal Organic Vapor Phase Epitaxy (ICMOVPE-XVII)
    • Place of Presentation
      Lausanne, Switzerland
    • Year and Date
      2014-07-13 – 2014-07-18
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 直接貼付InP/Si基板上量子ドットLEDからのEL発光2014

    • Author(s)
      松本 恵一、金谷 佳則、岸川 純也、下村 和彦
    • Organizer
      電子情報通信学会技術研究報告(OPE2014-15)
    • Place of Presentation
      機械振興会館(東京都港区)
    • Year and Date
      2014-06-20
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] First demonstration of directly epitaxial grown QDs LED on wafer bonded InP/Si substrate2014

    • Author(s)
      Xinxin Zhang, Keiichi Matsumoto, Yoshinori Kanaya, and Kazuhiko Shimomura
    • Organizer
      The 41st International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS)
    • Place of Presentation
      Montpellier, France
    • Year and Date
      2014-05-11 – 2014-05-15
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
  • [Remarks] 下村研究室ホームページ

    • URL

      http://pweb.cc.sophia.ac.jp/shimolab/

    • Related Report
      2014 Annual Research Report

URL: 

Published: 2015-01-22   Modified: 2024-03-26  

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