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分子動力学法を用いた歪IV-IV族混晶半導体のPDP導出に関する研究

Research Project

Project/Area Number 15J07583
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Electronic materials/Electric materials
Research InstitutionWaseda University

Principal Investigator

富田 基裕  早稲田大学, 理工学研究科, 特別研究員(PD)

Project Period (FY) 2015-04-24 – 2018-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2017)
Budget Amount *help
¥4,030,000 (Direct Cost: ¥3,100,000、Indirect Cost: ¥930,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2016: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2015: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Keywords分子動力学法 / IV族混晶 / 熱伝導 / フォノン / 半導体 / 分子動力学 / IV-IV族混晶 / SiGe / GeSn / SiSn / 混晶 / IV-IV族
Outline of Annual Research Achievements

本年度は2体ポテンシャルによるC原子の再現可能性の検討と、昨年度に完成した2元系SiGeSnポテンシャルの3元系への拡張を行った。
SiGe, GeSny, SiSn, GeSiSnおよび SiCの熱伝導率のSiおよびSn濃度依存性についてMD計算によって調査を行った。なお、SiCの計算にはTersoffポテンシャルを、その他の混晶にはSWポテンシャルを用いた。2元系混晶の結果について比較を行うと、最も平均質量が軽いSiCで熱伝導率の低下が一番小さく、最も質量差の大きい組み合わせであるSiSnが最も低い熱伝導率を示した。また、3元系混晶についてはSiSnと同等の熱伝導率低下率を示している。
混晶における熱伝導率低下率は平均質量と構成原子の質量差に大きく依存しているが、最も平均質量が重いGeSnよりSiSnやGeSiSnの方が低い熱伝導率を示していることから、構成原子の質量差による寄与が大きいと考えられる。これらの傾向は先行研究の時間独立ボルツマン方程式による計算結果においても見られており、ボルツマン方程式の仮定に含まれる種々の散乱仮定の再現ができているものと考えている。また、SiCの計算結果については組成ごとに計算結果のばらつきが大きい。これはTersoffポテンシャルを用いたMD計算が原子組成や原子の初期配列に対して敏感であり、計算結果がばらついているものだと考えている。本ポテンシャルを用いた熱伝導率評価を行うためには複数の初期配置を計算して統計的な解析を行う必要がある。
本年度はGeSiSn3元系混晶を再現可能なポテンシャルの開発を完了することができた。このポテンシャルを用いることでMD法を用いたIV族混晶のフォノン物性や熱伝導率の詳細な解析が可能になる。しかし、C元素についてはSi、Ge、Snと違って取り扱いが難しく、ポテンシャル関数の検討から行う必要があると考える。

Research Progress Status

29年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

29年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(3 results)
  • 2017 Annual Research Report
  • 2016 Annual Research Report
  • 2015 Annual Research Report
  • Research Products

    (46 results)

All 2018 2017 2016 2015

All Journal Article (7 results) (of which Peer Reviewed: 5 results,  Open Access: 6 results,  Acknowledgement Compliant: 2 results) Presentation (39 results) (of which Int'l Joint Research: 11 results,  Invited: 2 results)

  • [Journal Article] Development of interatomic potential of Ge(1- x-y )SixSny ternary alloy semiconductors for classical lattice dynamics simulation2018

    • Author(s)
      Tomita Motohiro、Ogasawara Masataka、Terada Takuya、Watanabe Takanobu
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 57 Issue: 4S Pages: 04FB04-04FB04

    • DOI

      10.7567/jjap.57.04fb04

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    • Peer Reviewed / Open Access
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    • Author(s)
      Tianzhuo Zhan, Ryo Yamato, Shuichiro Hashimoto, Motohiro Tomita, Shunsuke Oba, Shunsuke, Yuya Himeda, Kohei Mesaki, Hiroki Takezawa, Ryo Yokogawa, Yibin Xu, Takashi Matsukawa, Atsushi Ogura, Yoshinari Kamakura, Takanobu Watanabe
    • Journal Title

      Science and Technology of Advanced Materials (STAM)

      Volume: 未定 Issue: 1 Pages: 443-453

    • DOI

      10.1080/14686996.2018.1460177

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      2017 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Evaluation of controlled strain in silicon nanowire by UV Raman spectroscopy2017

    • Author(s)
      Yokogawa Ryo、Hashimoto Shuichiro、Asada Shuhei、Tomita Motohiro、Watanabe Takanobu、Ogura Atsushi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 56 Issue: 6S1 Pages: 06GG10-06GG10

    • DOI

      10.7567/jjap.56.06gg10

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  • [Journal Article] Enhanced nickelidation rate in silicon nanowires with interfacial lattice disorder2017

    • Author(s)
      Hashimoto Shuichiro、Yokogawa Ryo、Oba Shunsuke、Asada Shuhei、Xu Taiyu、Tomita Motohiro、Ogura Atsushi、Matsukawa Takashi、Masahara Meishoku、Watanabe Takanobu
    • Journal Title

      Journal of Applied Physics

      Volume: 122 Issue: 14 Pages: 144305-144305

    • DOI

      10.1063/1.4999195

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    • Author(s)
      Onishi Takuya、Hashimoto Shuichiro、Tomita Motohiro、Watanabe Takanobu、Mura Kotaro、Tsuda Toshihiro、Yoshimitsu Tetsuo
    • Journal Title

      Conference Proceedings of International Symposium Electrical Insulating Materials (ISEIM) 2017

      Volume: 2 Pages: 359-362

    • DOI

      10.23919/iseim.2017.8088759

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  • [Journal Article] 分子動力学法を用いた2元系IV-IV族混晶半導体のフォノン物性の再現と予測2017

    • Author(s)
      富田 基裕, 小椋 厚志, 渡邉 孝信
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      電子情報通信学会技術研究報告

      Volume: 116 Pages: 61-66

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  • [Journal Article] Development of Interatomic Potential of Group IV Alloy Semiconductors for Lattice Dynamics Simulation2016

    • Author(s)
      M. Tomita, A. Ogura, and T. Watanabe
    • Journal Title

      ECS Transactions

      Volume: 75 Issue: 8 Pages: 785-794

    • DOI

      10.1149/07508.0785ecst

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    • Author(s)
      富田 基裕, 小笠原 成崇, 寺田 拓哉, 渡邉 孝信
    • Organizer
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      huichiro Hashimoto, Kouta Takahashi, Shunsuke Oba, Takuya Terada, Masataka Ogasawara, Motohiro Tomita, Masashi Kurosawa, and Takanobu Watanabe
    • Organizer
      2nd Electron Devices Technology and Manufacturing (EDTM) Conference 2018
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    • Int'l Joint Research
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      武澤 宏樹, 姫田 悠矢, 橋本 修一郎, 大場 俊輔, 大和 亮, 熊田 剛大, 徐 茂, 目崎 航平, 富田 基裕, 詹 天卓, 松木 武雄, 松川 貴, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] Persistent Homology を用いたアモルファスSiO2膜の構造解析2018

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      テイ チュウ, 寺田 拓哉, 富田 基裕, 渡邉 孝信, 小山 晃
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] IV族混晶のマイクロ熱電発電デバイス応用2018

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      渡邉 孝信, 橋本 修一郎, 富田 基裕, 黒澤 昌志, 池田 浩也
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
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      2017 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 熱電デバイス用組成傾斜SiGeワイヤの構造評価2018

    • Author(s)
      横川 凌, 橋本 修一郎, 高橋 恒太, 大場 俊輔, 富田 基裕, 黒澤 昌志, 渡邉 孝信, 小椋 厚志
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      第65回応用物理学会春季学術講演会
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      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] 分子動力学シミュレーションによるIV族混晶のフォノン物性の起源の調査2018

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      富田 基裕, 小笠原 成崇, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第65回応用物理学会春季学術講演会
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      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] 10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology2018

    • Author(s)
      Motohiro Tomita, Shunsuke Ohba, Yuya Himeda, Ryo Yamato, Keisuke Shima, Takehiro Kumada, Mao Xu, Hiroki Takezawa, Kohhei Mesaki, Kazuaki Tsuda, Shuichiro Hashimoto, Tianzhuo Zhan, Hui Zhang, Yoshinari Kamakura, Yuhhei Suzuki, Hiroshi Inokawa, Hiroya Ikeda, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Takanobu Watanabe
    • Organizer
      2018 Symposium on VLSI Technology
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      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 分子動力学法を用いたGeSnおよびSiSn混晶内のフォノン物性予測と評価2017

    • Author(s)
      富田 基裕, 小椋 厚志, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2017-03-14
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      島 圭佑, 富田 基裕, 鎌倉 良成, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2017-03-14
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  • [Presentation] 分子動力学法を用いたSi/Si(1-x)Gex構造の界面熱抵抗評価2017

    • Author(s)
      寺田 拓哉, 小出 隆太, 富田 基裕, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
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      神奈川
    • Year and Date
      2017-03-14
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      横川 凌, 鈴木 貴博, 橋本 修一郎, 麻田 修平, 富田 基裕, 渡邉 孝信, 小椋 厚志
    • Organizer
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      神奈川
    • Year and Date
      2017-03-14
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  • [Presentation] 分子動力学法を用いた2元系IV-IV族混晶半導体のフォノン物性の再現と予測2017

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      富田 基裕, 小椋 厚志, 渡邉 孝信
    • Organizer
      電子デバイス研究会/シリコン材料・デバイス研究会
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      北海道
    • Year and Date
      2017-02-24
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  • [Presentation] 分子動力学法および分子軌道法を用いたGeSn混晶内のフォノン再現に関する考察2017

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      富田 基裕, 小椋 厚志, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第22回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • Place of Presentation
      静岡
    • Year and Date
      2017-01-20
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  • [Presentation] 分子動力学法を用いたGeSiSn三元混晶内のフォノン物性予測と評価2017

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      富田 基裕, 小笠原 成崇, 渡邉 孝信
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  • [Presentation] 分子動力学計算によるAlOxNy/SiO2界面におけるダイポール形成の駆動力の調査2017

    • Author(s)
      高橋 憶人, 中川 宣託, 富田 基裕, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] 分子動力学法を用いたIV-IV族結晶(SiGe, GeSn, SiSn)の熱伝導率評価2017

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      小笠原 成崇, 寺田 拓也, 富田 基裕, 渡邉 孝信
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      第78回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] ニューラルネットワークを用いた多元酸化物界面のダイポールモーメントの予測2017

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      中根 滉稀, 富田 基裕, 渡邉 孝信
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      横川 凌, 橋本 修一郎, 富田 基裕, 渡邉 孝信, 小椋 厚志
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  • [Presentation] Nano-scale Evaluation of Electrical Tree Initiation in Silica/Epoxy Nano-Composite Thin Film2017

    • Author(s)
      Takuya Onishi, Genki Obana, Shuichiro Hashimoto, Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe, Kotaro Mura, Toshihiro Tsuda, Tetsuo Yoshimitsu
    • Organizer
      8th International Symposium on Electrical Insulating Materials
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    • Author(s)
      Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe
    • Organizer
      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
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  • [Presentation] Possibility of Thermoelectric Property Improvement by Non-uniformly Doped Si2017

    • Author(s)
      Keisuke Shima, Motohiro Tomita, Yoshinari Kamakura, Takanobu Watanabe
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      2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017)
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  • [Presentation] 分子動力学計算によるⅣ族混晶系の熱伝導シミュレーション2017

    • Author(s)
      富田 基裕
    • Organizer
      電気学会ナノエレクトロニクス新機能創出・集積化技術専門員会「半導体シミュレーション技術」
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    • Invited
  • [Presentation] Machine Learning of Interfacial Dipole Moments Between Multicomponent Oxide Films by Neural Network Model2017

    • Author(s)
      Koki Nakane, Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe
    • Organizer
      2017 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY(IWDTF 2017)
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  • [Presentation] Investigation of Dipole Formation at AlOxNy/SiO2 interface by MD simulation2017

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      Okuto Takahashi, Nobuhiro Nakagawa, Motohiro Tomita, Takanobu Watanabe
    • Organizer
      2017 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY(IWDTF 2017)
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Development and Verification of Interatomic Potential of Group IV Binary Alloy Semiconductors for Lattice Dynamics2016

    • Author(s)
      M. Tomita, A. Ogura, and T. Watanabe
    • Organizer
      7th Int. Symp. on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
    • Place of Presentation
      コナ, ハワイ
    • Year and Date
      2016-11-21
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      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Development of Interatomic Potential of Group IV Alloy Semiconductors for Lattice Dynamics Simulation2016

    • Author(s)
      M. Tomita, A. Ogura, and T. Watanabe
    • Organizer
      Pacific Rim Meeting (PRiME) 2016 / 230th Electrochemical Society (ECS) Meeting
    • Place of Presentation
      ホノルル, ハワイ
    • Year and Date
      2016-10-02
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 分子動力学法および分子軌道法を用いたGeSn混晶内のフォノン再現に関する考察2016

    • Author(s)
      富田 基裕, 小椋 厚志, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13
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  • [Presentation] 分子動力学法によるSiナノワイヤの熱伝導シミュレーション-波付き構造と酸化被膜の影響の比較-2016

    • Author(s)
      小出 隆太, 富田 基裕, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13
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      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] ニューラルネットによるHigh-k/SiO2界面分極の予測能力2016

    • Author(s)
      中根 滉稀, 功刀 遼太, 富田 基裕, 渡邉 孝信
    • Organizer
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
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      新潟
    • Year and Date
      2016-09-13
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  • [Presentation] Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化反応の高精度制御”2016

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      大場 俊輔、橋本 修一郎、武井 康平、ソン セイ、張 旭、徐 泰宇、麻田 修平、臼田 稔宏、遠藤 清、富田 基裕、徳武 寛紀、今井 亮佑、小椋 厚志、松川 貴、昌原 明植、渡邉 孝信
    • Organizer
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • Place of Presentation
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • Year and Date
      2016-03-19
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  • [Presentation] 分子動力学法および分子軌道法を用いたSiGe混晶内のフォノン再現に関する考察2016

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      富田 基裕、小椋 厚志、渡邉 孝信
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      第63回応用物理学会春季学術講演会
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      東京工業大学大岡山キャンパス
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      2016-03-19
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Ar+イオン照射によるSiナノワイヤのNi合金化プロセスの制御性向上2016

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      麻田 修平, 橋本 修一郎, 武井 康平, ソン セイ, 張 旭, 徐 泰宇, 臼田 稔宏, 遠藤 清, 大場 俊輔, 富田 基裕, 今井 亮佑, 小椋 厚志, 松川 貴, 昌原 明植, 渡邉 孝信
    • Organizer
      電子デバイス界面テクノロジー研究会 ―材料・プロセス・デバイス特性の物理― (第21回研究会)
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      東レ研修センター(静岡県三島市
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      2016-01-22
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      S. Asada, S. Hashimoto, K. Takei, J. Sun, X. Zhang, T. Xu, T.Usuda, M. Tomita, R. Imai, A. Ogura, T. Matsukawa, M. Masahara, and T. Watanabe
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      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015)
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      富山国際会議場
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      S. Hashimoto, K. Takei, J. Sun, S. Asada, X. Zhang, T. Xu, T. Usuda, M. Tomita, R. Imai, A. Ogura, T. Matsukawa, M. Masahara, and T. Watanabe
    • Organizer
      28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2015)
    • Place of Presentation
      富山国際会議場
    • Year and Date
      2015-11-10
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Ar+イオン照射によるSi ナノワイヤのNi 合金化プロセスの制御2015

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      張 旭、橋本 修一郎、武井 康平、ソン セイ、徐 泰宇、麻田 修平、臼田 稔宏、富田 基裕、今井 亮佑、小椋 厚志、松川 貴、昌原 明植、渡邉 孝信
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-13
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      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-13
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      富田 基裕、小椋 厚志、渡邉 孝信
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-13
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    • Author(s)
      小出 隆太、志村 昴亮、橋本 修一郎、富田 基裕、渡邉 孝信
    • Organizer
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • Place of Presentation
      名古屋国際会議場
    • Year and Date
      2015-09-13
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Published: 2015-11-26   Modified: 2024-03-26  

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