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アークプラズマコンビ法による新しい薄膜金属ガラスの超効率的創成とその加工

Research Project

Project/Area Number 16686010
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (A)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Production engineering/Processing studies
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

秦 誠一  東京工業大学, フロンティア創造共同研究センター, 助教授 (50293056)

Project Period (FY) 2004 – 2005
Project Status Completed (Fiscal Year 2005)
Budget Amount *help
¥30,290,000 (Direct Cost: ¥23,300,000、Indirect Cost: ¥6,990,000)
Fiscal Year 2005: ¥14,690,000 (Direct Cost: ¥11,300,000、Indirect Cost: ¥3,390,000)
Fiscal Year 2004: ¥15,600,000 (Direct Cost: ¥12,000,000、Indirect Cost: ¥3,600,000)
Keywordsコンビナトリアルマテリアル法 / 微細加工 / 薄膜 / アモルファス / 金属ガラス / 薄膜ライブラリ / 物性 / アークプラズマ / 集積化ライブラリ
Research Abstract

(1)過冷却液体域評価用機能化評価基板の作成
シリコン基板上に窒化シリコンで製作したカンチレバーを多数有する機能化評価基板を製作し,そのカンチレバー上にコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法で組成の異なる多数のサンプル群を製作することで,サンプル薄膜と窒化シリコンとのバイメタルのカンチレバーを作製した.このカンチレバーの変位をCCDによる画像処理により測定しながら加熱し,サンプル薄膜のガラス転移温度,結晶化開始温度,熱膨張係数を測定する方法を考案し,実証実験に成功した.
(2)超厚膜金属ガラス,高強度薄膜金属ガラスのコンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置による超効率探査
高強度薄膜金属ガラスとして,Mo,Ir,Ru系の薄膜金属ガラスの探索を,コンビナトリアルアークプラズマ蒸着法を用いて行った.Mo,Ir系では,十分な強度を有する薄膜金属ガラスを見出すことは出来なかったが,Ru系においては,引張強度1.89GPa,ヤング率98GPaの高強度薄膜金属ガラスを発見した.
(3)新しい金属ガラスの加工法開発
薄膜金属ガラスの新しい加工法として,窒化銅,窒化アルミを用いたマイクロブロー成形による微細三次元構造体の製作を検討し,直径100μmのマイクロドームを100個集積した微細構造や,段付きメンブレン構造を有するマイクロ流体アクチュエータなどを試作した.また,シリコン金型や精密研磨球を金型とした転写加工による精密成形などを検討し,精密金型への応用が可能であることを示した.

Report

(2 results)
  • 2005 Annual Research Report
  • 2004 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All 2006 2005 2004

All Journal Article (9 results) Patent(Industrial Property Rights) (3 results)

  • [Journal Article] Combinatorial Arc Plasma Deposition of Thin Films2006

    • Author(s)
      Seiichi HATA, Ryusuke YAMAUCHI, Junpei SAKURAI, Akira SHIMOKOHBE
    • Journal Title

      Jpn.J.Appl.Phys. 45・4A

    • NAID

      40007227498

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      Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • Journal Title

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    • Author(s)
      Junpei Sakurai, Seiichi Hata, Ryusuke Yamauchi, Akira Shimokohbe
    • Journal Title

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

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      Ryusuke Yamauchi, Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
    • Journal Title

      Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

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      2005 Annual Research Report
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    • Author(s)
      秦 誠一, 山内隆介, 桜井淳平, 下河邉 明
    • Journal Title

      2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

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  • [Journal Article] カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成II2005

    • Author(s)
      山内隆介, 秦 誠一, 桜井淳平, 下河邉 明
    • Journal Title

      2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

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    • Author(s)
      秦 誠一, 桜井淳平, 下河辺明
    • Journal Title

      日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集

      Pages: 18-19

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      Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe
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      Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005

      Pages: 479-482

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    • Journal Title

      Proc. Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems (CD-ROM)

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    • Inventor(s)
      秦 誠一, 桜井淳平, 山内隆介, 下河辺明
    • Industrial Property Rights Holder
      理工学振興会
    • Industrial Property Number
      2005-157876
    • Filing Date
      2005-05-30
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    • Industrial Property Rights Holder
      理工学振興会
    • Industrial Property Number
      2005-157869
    • Filing Date
      2005-04-28
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    • Inventor(s)
      秦 誠一, 桜井淳平, 山内隆介, 下河辺明
    • Industrial Property Rights Holder
      東京工大学
    • Industrial Property Number
      2005-131915
    • Filing Date
      2005-04-28
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      2005 Annual Research Report

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Published: 2004-04-01   Modified: 2016-04-21  

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