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新原理計測プローブによる光学的基板上ナノ異物高感度検出に関する研究

Research Project

Project/Area Number 17J05447
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Production engineering/Processing studies
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

橘 一輝  東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2017-04-26 – 2020-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2018)
Budget Amount *help
¥2,800,000 (Direct Cost: ¥2,800,000)
Fiscal Year 2018: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Keywords位相差顕微鏡 / 空間光位相変調素子 / 欠陥検出
Outline of Annual Research Achievements

昨年度判明した、落射照明型位相差顕微法に特有の性質による問題を解決するために、位相板に替わり、入射光の空間的な位相分布を任意の分布に変調することが可能な空間位相変調素子を用いた光学系を設計し、実験装置の構築を進めた。これにより、空間的な変調範囲のずれによる観察特性の変化を抑制し、理論的に予測される観察特性が得られる落射照明型の位相差顕微法に必要とされる高精度な位相変調制御が可能となった。この成果をまとめ、国内会議(2018年度精密工学会秋季大会学術講演会)で発信した。

Research Progress Status

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2018 Annual Research Report
  • 2017 Annual Research Report
  • Research Products

    (5 results)

All 2018 2017

All Presentation (5 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results)

  • [Presentation] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第6報)-空間位相変調素子を用いた高感度検出装置の構築と検出特性の検証-2018

    • Author(s)
      橘 一輝,道畑 正岐,高増 潔,高橋 哲
    • Organizer
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第5報)-位相利用高感度観察装置による検出-2017

    • Author(s)
      橘 一輝・浅井祥平・道畑正岐・高増 潔・高橋 哲
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第6報)-数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析-2017

    • Author(s)
      浅井 祥平・橘 一輝・道畑 正岐・高増 潔・高橋 哲
    • Organizer
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] Development of nanoparticle detection method based on a new principle combining volatile liquid and optical observation method: Study of highly sensitive optical detection system2017

    • Author(s)
      Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • Organizer
      13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments(ISMTII 2017)
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Characteristic analysis of phase contrast microscopy in liquid probe type surface inspection method2017

    • Author(s)
      Kazuki TACHIBANA , Masaki MICHIHATA, Kiyoshi TAKAMASU, Satoru TAKAHASHI
    • Organizer
      The 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2017-05-25   Modified: 2024-03-26  

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