新原理計測プローブによる光学的基板上ナノ異物高感度検出に関する研究
Project/Area Number |
17J05447
|
Research Category |
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
|
Allocation Type | Single-year Grants |
Section | 国内 |
Research Field |
Production engineering/Processing studies
|
Research Institution | The University of Tokyo |
Principal Investigator |
橘 一輝 東京大学, 工学系研究科, 特別研究員(DC1)
|
Project Period (FY) |
2017-04-26 – 2020-03-31
|
Project Status |
Completed (Fiscal Year 2018)
|
Budget Amount *help |
¥2,800,000 (Direct Cost: ¥2,800,000)
Fiscal Year 2018: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
|
Keywords | 位相差顕微鏡 / 空間光位相変調素子 / 欠陥検出 |
Outline of Annual Research Achievements |
昨年度判明した、落射照明型位相差顕微法に特有の性質による問題を解決するために、位相板に替わり、入射光の空間的な位相分布を任意の分布に変調することが可能な空間位相変調素子を用いた光学系を設計し、実験装置の構築を進めた。これにより、空間的な変調範囲のずれによる観察特性の変化を抑制し、理論的に予測される観察特性が得られる落射照明型の位相差顕微法に必要とされる高精度な位相変調制御が可能となった。この成果をまとめ、国内会議(2018年度精密工学会秋季大会学術講演会)で発信した。
|
Research Progress Status |
翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。
|
Strategy for Future Research Activity |
翌年度、交付申請を辞退するため、記入しない。
|
Report
(2 results)
Research Products
(5 results)