| Project/Area Number |
18560353
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Meijo University |
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Principal Investigator |
KAMIYAMA Satoshi Meijo University, 理工学部, 教授 (10340291)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
天野 浩 名城大学, 理工学部, 教授 (60202694)
岩谷 素顕 名城大学, 理工学部, 准教授 (40367735)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
AMANO Hiroshi 名城大学, 理工学部, 教授 (60202694)
IWAYA Motoaki 名城大学, 理工学部, 准教授 (40367735)
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| Project Period (FY) |
2006 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,930,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥630,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2006: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
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| Keywords | LED / 半導体 / 光取出し効率 / 電子線露光 / モスアイ構造 / 光取り出し効率 / 光制御 / 窒化物 / SiC / ナノ構造 / moth-eye / Moth-Eye / 発光ダイオード / リソグラフィー / エッチング |
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| Research Abstract |
周期300nmの三角格子配置を有するモスアイ構造の作製方法を検討し、テーパー角度制御のためのエッチングマスク材構成を最適化することができた。また、理論計算によって予測された光透過率の角度依存性、光取出し効率の周期依存性は、実験値と定性的に一致することが確認できた。さらに、周期が500nm-600nmの範囲においては、モスアイ構造において反射される光が周期によって決定されるブラッグの回折条件を満たす反射角に変化することを見出し、SiC基板上青色LEDにこれを適用すると240%の光出力向上を得ることができた。
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