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Visualization of flow dynamics of gas and excited species generated by small thermal non-equilibrium plasmas

Research Project

Project/Area Number 18H05849
Research Category

Grant-in-Aid for Research Activity Start-up

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section 0202:Condensed matter physics, plasma science, nuclear engineering, earth resources engineering, energy engineering, and related fields
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

占部 継一郎  京都大学, 工学研究科, 助教 (80725250)

Project Period (FY) 2018-08-24 – 2020-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2018)
Budget Amount *help
¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
Fiscal Year 2018: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Keywordsプラズマ / 分光診断 / 分光計測 / 流れの可視化
Outline of Annual Research Achievements

本研究の研究対象と計画していた,誘電体管内に発生させたプラズマを真空チャンバー中に噴き出す形式のプラズマ発生システムを構築した.研究室に既存のロータリーポンプ,ターボ分子ポンプの接続,真空チャンバーの改造,ガス導入系の構築,などを科研費補助金により実施した.設備備品費により,レーザー分光システムを立ち上げるための光学定盤架台を購入した.その他,実験研究をスタートしていくにあたって必要な工具などを購入し,スムーズな実験立ち上げを行うことができた.また,研究室に保管されていた大型分光器を整備し,分子スペクトルを詳細に観測する発光分光・吸収分光計測を実現するために用いる予定である.
研究課題に関連する内容として,電気推進器中でのイオン流れが内部金属部品に及ぼす影響や,非平衡プラズマを用いたプラズマ加工(基板へのイオン流れ)が及ぼす半導体,絶縁体材料への影響に関する基礎研究を進めている.これらの内容については,論文・学会発表を2018年度後半から継続的に行っている.
また,オリジナルな研究をスタートしていくために必要な情報収集を,応用物理学会(9月,名古屋),宇宙科学連合講演会(11月,久留米),プラズマエレクトロニクス新領域研究会(11月,札幌)にて行った.それぞれの研究集会において,これまでに研究代表者が行ってきた研究内容(大気圧プラズマの電子密度診断)や,研究スタート支援により部分的に補助されている研究(低圧プラズマと固体材料の相互作用)の発表を行った.

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(1 results)
  • 2018 Annual Research Report
  • Research Products

    (9 results)

All 2019 2018 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (5 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Invited: 1 results) Remarks (2 results)

  • [Journal Article] Characterization of the distribution of defects introduced by plasma exposure in Si substrate2019

    • Author(s)
      Sato Yoshihiro、Shibata Satoshi、Uedono Akira、Urabe Keiichiro、Eriguchi Koji
    • Journal Title

      Journal of Vacuum Science & Technology A

      Volume: 37 Issue: 1 Pages: 011304-011304

    • DOI

      10.1116/1.5048027

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 先端CMOS/メモリデバイスにおけるプラズマ加工技術の現状と課題2018

    • Author(s)
      江利口 浩二,占部 継一郎
    • Journal Title

      応用物理

      Volume: 87 Pages: 895-901

    • NAID

      130007715671

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Current and future outlook of laser interferometer for high-pressure plasma density diagnostics2018

    • Author(s)
      Keiichiro URABE
    • Organizer
      RUB Japan Science Days 2018
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 電気特性解析を用いた高エネルギーイオン照射による電極腐食過程の研究2018

    • Author(s)
      中村浩大,占部継一郎, 江利口浩二
    • Organizer
      ,第62回宇宙科学技術連合講演会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] First-principles study on electronic structure modifications of Si substrtae with the Cl-terminated surface2018

    • Author(s)
      Y. Yoshikawa, K. Urabe, and K. Eriguch
    • Organizer
      40th International Symposium on Dry Process
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Comparative characterization of gas species dependence of transient behaviors in plasma-induced Si damage2018

    • Author(s)
      T. Hamano, K. Urabe, and K. Eriguchi
    • Organizer
      40th International Symposium on Dry Process
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Effects of Microwave Annealing on the Recovery of Microscopic Defects in Silicon Nitride Films2018

    • Author(s)
      T. Kuyama, Y. Sato, K. Urabe, and K. Eriguchi
    • Organizer
      40th International Symposium on Dry Process (DPS)
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Remarks] 京都大学 航空宇宙工学専攻 推進工学研究室

    • URL

      http://www.propulsion.kuaero.kyoto-u.ac.jp/

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Remarks] 研究代表者の個人Webページ

    • URL

      https://sites.google.com/site/keiurabe0907/

    • Related Report
      2018 Annual Research Report

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Published: 2018-08-27   Modified: 2019-12-27  

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