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二硫化モリブデンを用いた超高感度ピエゾ抵抗型のカンチレバーバイオセンサの開発

Research Project

Project/Area Number 18J12689
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Research Field Nano/Microsystems
Research InstitutionTohoku University
Research Fellow 朱 敏杰  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(PD)
Project Period (FY) 2018-04-25 – 2020-03-31
Project Status Discontinued (Fiscal Year 2019)
Budget Amount *help
¥1,500,000 (Direct Cost: ¥1,500,000)
Fiscal Year 2019: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
Fiscal Year 2018: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Keywordsバナジウムドープ二硫化モリブデン / 圧力センサ / トランジスタ / ピエゾ抵抗素子 / 二硫化モリブデン / バナジウムドーピング / ひずみセンサ
Outline of Annual Research Achievements

本年度は昨年度に成長した優れた電特性を持つバナジウム(V)ドープした二硫化モリブデン(MoS2)薄膜を用いて、高感度なピエゾ抵抗型の圧力センサを開発している。圧力センサの製作プロセスを確立した。まず、シリコンの上に窒化物を感圧膜として化学気相成長(CVD)により成膜した。MoS2薄膜はCVD法に成膜し、微細加工でピエゾ抵抗素子を作成した。リフトオフで金属膜を成膜してから、反応性イオンエッチングにより、シリコンをエッチングした。世界初のVドープしたMoS2薄膜を用いた圧力センサを製作した。VドープしたMoS2薄膜の電気特性をさらに知るために、VドープしたMoS2薄膜に基づく、トランジスタの製作プロセスを確立した。Vのドーピング量により、各種のトランジスタを実際に制作した。

Research Progress Status

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和元年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2019 Annual Research Report
  • 2018 Annual Research Report

Research Products

(4 results)

All 2019

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (1 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Journal Article] Piezoresistive strain sensor based on monolayer molybdenum disulfide continuous film deposited by chemical vapor deposition2019

    • Author(s)
      Zhu Minjie、Sakamoto Kei、Li Jinhua、Inomata Naoki、Toda Masaya、Ono Takahito
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Microengineering

      Volume: 29 Pages: 055002-055002

    • DOI

      10.1088/1361-6439/ab0726

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Vanadium-doped molybdenum disulfide film-based strain sensors with high gauge factor2019

    • Author(s)
      Zhu Minjie、Li Jinhua、Inomata Naoki、Toda Masaya、Ono Takahito
    • Journal Title

      Appl. Phys. Express

      Volume: 12 Issue: 1 Pages: 015003-015003

    • DOI

      10.7567/1882-0786/aaf5c4

    • NAID

      210000135550

    • ISSN
      1882-0778, 1882-0786
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] High Gauge Factor Strain Sensors Based on Vanadium Doped Molybdenum Disulfide 2D Films2019

    • Author(s)
      Zhu Minjie、Inomata Naoki、Toda Masaya、Ono Takahito
    • Journal Title

      Proceedings of 2019 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

      Volume: 印刷中

    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] High Gauge Factor Strain Sensors Based on Vanadium Doped Molybdenum Disulfide 2D Films2019

    • Author(s)
      Zhu Minjie、Inomata Naoki、Toda Masaya、Ono Takahito
    • Organizer
      The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019)
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research

URL: 

Published: 2018-05-01   Modified: 2021-01-27  

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