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有機薄膜のミスト成膜法の開発

Research Project

Project/Area Number 19656192
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Material processing/treatments
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

藤田 静雄  Kyoto University, 工学研究科, 教授 (20135536)

Project Period (FY) 2007 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥3,000,000 (Direct Cost: ¥3,000,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,100,000 (Direct Cost: ¥1,100,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Keywords有機薄膜 / ミスト法 / 超音波霧化 / 成膜装置 / 超音波伝搬 / 有機デバイス
Research Abstract

本研究は、有機薄膜の成膜にミスト法を適用し、成膜の低コスト化を図ることで有機デバイスの広い応用を目指すものである。本年度に得られた成果を以下に示す。
1. 有機薄膜の例として導電性薄膜として知られているPEDOT-PSSをとりあげ、ミスト法による成膜を試みた。水を溶媒として用い、超音波の周波数を2.4MHzとすることで成膜が可能なことを実証した。成膜時間による膜厚の制御が可能で、およそ10nm/minでの成膜速度となった。PEDOT-PSSの導電率はスピンコートで得られたものとほぼ同等である。また成膜時にメタルマスクを用いて、リソグラフィーを用いることなくパターニングが可能なことを示した。これはデバイスプロセスの簡素化という点で重要な成果である。
2. PEDOT-PSSとZnMgOおよびInGaO薄膜の積層により良好なショットキ接触を得ることができた。これを用いる紫外検出器を作製して、10%程度の量子効率を持つ紫外検出器の作製に成功した。
3. ミスト法による水溶性有機蛍光物質の成膜を試み、発光を得ることができた。このことからも、ミスト法の有用性が確認できた。
4. アルコール等の有機溶媒を用いて高分子系有機薄膜の成膜を試みた。溶媒の種類や水との混合比により霧化に適切な条件があることがわかり、限定された条件でのみ霧化・成膜が可能であった。
以上、ミスト法によって有機薄膜の成膜が可能なことが明らかになり、成膜プロセスの低コスト化に寄与する成果が得られた。

Report

(2 results)
  • 2008 Annual Research Report
  • 2007 Annual Research Report
  • Research Products

    (4 results)

All 2009 2008

All Presentation (4 results)

  • [Presentation] ミストデポジション法による酸イヒ物薄膜・有機薄膜の成膜2009

    • Author(s)
      西中浩之
    • Organizer
      日本材料学会半導体エレクトロニクス部門第21回研究会
    • Place of Presentation
      大阪
    • Year and Date
      2009-03-17
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] PEDOT : PSSとミストCVD法で成膜したZnMgOによるショットキフォトディテクタの作製2009

    • Author(s)
      亀山直季
    • Organizer
      日本材料学会半導体エレクトロニクス部門第21回研究会
    • Place of Presentation
      大阪
    • Year and Date
      2009-03-17
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] ミストデポジション技術による深紫外線センサーの作製〜リソグラフィーレス有機ポリマーのパターニングとアモルファスIGO〜2008

    • Author(s)
      西中浩之
    • Organizer
      薄膜材料デバイス研究会第5回研究集会
    • Place of Presentation
      奈良
    • Year and Date
      2008-11-01
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] ミストCVD法による多元系酸化物薄膜の作製2008

    • Author(s)
      藤田静雄
    • Organizer
      2008年春季第55回応用物理学関係連合講演会
    • Place of Presentation
      船橋
    • Year and Date
      2008-03-27
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

URL: 

Published: 2007-04-01   Modified: 2016-04-21  

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