Development of light element analysis technique using TOF-ERDA withnuclear nanoprobes

• Project/Area Number: 19760217
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Electronic materials/Electric materials
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: ABO Satoshi Osaka University, 極限量子科学研究センター, 助教 (60379310)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥2,930,000 (Direct Cost: ¥2,600,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2008: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2007: ¥1,500,000 (Direct Cost: ¥1,500,000)
• Keywords: 組成分析 / 飛行時間計測 / 弾性反跳粒子検出法 / Time-of-Flight(TOF) / Elastic Recoil Detection Analysis(ERDA) / TOF-ERDA / ナノイオンビーム / 軽元素分析

Research Abstract

150keV集束イオンビームと大口径の検出器を組み合わせた弾性反跳粒子飛行時間計測系の構築を行った。Si基板へのB注入試料の計測を行い、それぞれの元素の検出に成功した。この計測結果より、Bの深さ分布への変換を試みたが、本研究で用いた計測系では二次電子飛行距離の違いによる時間分解能の悪化が発生しBの濃度分布への変換は難しかった。