Study on selective molecular captured nano-micro scale filter
Project/Area Number |
19760613
|
Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
|
Allocation Type | Single-year Grants |
Research Field |
Nuclear engineering
|
Research Institution | Osaka University (2008) Waseda University (2007) |
Principal Investigator |
OSHIMA Akihiro Osaka University, 産業科学研究所, 特任研究員 (80398924)
|
Project Period (FY) |
2007 – 2008
|
Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
|
Budget Amount *help |
¥3,620,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
|
Keywords | ナノ加工 / 量子ビーム / フッ素樹脂 / 放射光 / イオンビーム / 電子線グラフト / ナノ多機能材料 / ナノ構造形成・制御 / 加速器・ビーム工学 / 新機能材料 |
Research Abstract |
微細加工に当たっては、PTFE分散液(XAD-911、旭硝子フロロポリマーズ社製)をSiウェハ上にスピンコートしたPTFEを用いた。早大理工研設置のEB装置等を用い、各試料に対して窒素中335±3℃で600kGyの電子線照射を行い、架橋処理を施した。得られた試料を放射光やFIB装置を用いて直接加工することで、マイクロ・ナノサイズのフィルター加工を行った。加工後、EBグラフト法によりスルホン酸基を付与し機能化した。FE-SEMで試料を観察し、グラフト後の加工形状を評価した。その結果、10μm程度の孔径であれば問題ないが、600nm程度の孔径では表面が膨潤し平滑性が失われることが明らかになった。そこで、予め機能化した試料について微細加工を試みた結果、エッチング速度は遅くなるものの、面平滑性のある1μm以下のナノスケール加工が可能であることがわかった。
|
Report
(4 results)
Research Products
(17 results)
-
-
[Journal Article] Nano-and Micro-Fabrication of Perfluorinated Polymers Using Quantum Beam Technology2011
Author(s)
Nozomi Miyoshi, Akihiro Oshima, Tatsuya Urakawa, Naoyuki Fukutake, Hiroyuki Nagai, Tomoko Gowa, Yuya Takasawa, Tomohiro Takahashi, Yukari Numata, Takanori Katoh, Etsuko Katoh, Seiichi Tagawa, Masakazu Washio
-
Journal Title
Radiation Physics and Chemistry
Volume: 80
Pages: 230-235
Related Report
Peer Reviewed
-
-
-
-
[Presentation] Nano-fabrication of Fluoropolymers using Focused Ion Beam2008
Author(s)
N. Fukutake, T. Urakawa, Y. Takasawa, T. Gowa, T. Takahashi, Y. Hirano, M. Washio, A. Oshima, K. Okamoto, S. Tagawa
Organizer
FLUOROPOLYMER-2008
Place of Presentation
South Carolina, USA
Year and Date
2008-10-21
Related Report
-
[Presentation] Nano-fabrication of Fluoropolymers using Focused Ion Beam2008
Author(s)
N. Fukutake, T. Urakawa, Y. Takasawa, T. Gowa, T. Takahashi, Y. Hirano, M. Washio, A. Oshima, K. Okamoto, S. Tagawa
Organizer
FLUOROPOLYMER2008
Place of Presentation
South Carolina, USA
Year and Date
2008-10-20
Related Report
-
-
-
-
-
-
-
-
-
-