Development of a new type common path interferometer for soft X-ray using a grazing angle beam splitter of a free standing membrane

Research Project

Project/Area Number	19860006
Research Category	Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
Allocation Type	Single-year Grants
Research Field	Thin film/Surface and interfacial physical properties
Research Institution	University of Hyogo (2008) Tohoku University (2007)
Principal Investigator	HARADA Tetsuo University of Hyogo, 高度産業科学技術研究所, 助教 (30451636)
Project Period (FY)	2007 – 2008
Project Status	Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help	¥3,013,000 (Direct Cost: ¥2,620,000、Indirect Cost: ¥393,000) Fiscal Year 2008: ¥1,703,000 (Direct Cost: ¥1,310,000、Indirect Cost: ¥393,000) Fiscal Year 2007: ¥1,310,000 (Direct Cost: ¥1,310,000)
Keywords	応用光学 / 干渉計測 / 超薄膜 / X線 / 超精密計測
Research Abstract	低コヒーレンスな軟X線光源に適用可能な新型コモンパス干渉計を提案した.大きな特徴は斜入射ビームスプリッターを縦配置し,等倍共心光学系と組み合わせているため干渉縞生成が非常に容易になることである.シミュレーションより0.1mmと大きな光源でも縞生成が可能で,実験室光源への適用を示した.光学素子の移動精度も10nm程度で縞生成可能である.また,可視光干渉計において干渉縞を生成し収差測定した.