Project/Area Number |
19H00255
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Research Category |
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
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Allocation Type | Single-year Grants |
Review Section |
2150:Electrical and electronic engineering and related fields
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Research Institution | Kumamoto University |
Principal Investigator |
MATSUDA Mikiya 熊本大学, 技術部, 技術専門職員
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Research Collaborator |
浪平 隆男 熊本大学, 産業ナノマテリアル研究所, 准教授
原田 康生 熊本大学, 大学院自然科学教育部 材料・応用科学専攻
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Project Period (FY) |
2019
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Project Status |
Completed (Fiscal Year 2019)
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Budget Amount *help |
¥540,000 (Direct Cost: ¥540,000)
Fiscal Year 2019: ¥540,000 (Direct Cost: ¥540,000)
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Keywords | 放電加工 / パルスパワー / 微細加工 |
Outline of Final Research Achievements |
本研究では, パルス放電による微細穴加工機を開発し, 現有のキャパシタ自己放電型の放電加工機との比較により, 新しく開発したパルス放電型の優位性を明らかにした. 水中放電加工では, 自己放電型では放電加工が困難な条件において, パルス放電型では放電加工を実現できた. 加工油中での放電加工は, 自己放電型で加工ができない低い印加電圧の時においても, パルス放電型では放電が発生し加工が進展できる. また, パルス放電型は, 低いエネルギーでも放電加工が進展できることが本研究にて明らかとなった.
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Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
近年の微細精密加工技術は, 半導体分野をはじめ電気電子部品, 医療用機器, 情報通信機器, 自動車, 環境などの様々な分野にて多大な需要がある. この微細化が進まれている現状にて, マイクロからナノオーダーでの微細加工技術の発展は, 増大する一方である. 材料の加工や観察において集束イオンビーム(FIB)装置が用いられるが, 加工時間が数10時間かかる工程を, 微細放電加工機を使用することで数時間という加工時間の大幅な短縮が実現できている. 研究時間の短縮を実現するこの放電加工機の性能向上の効果は, 極めて大きい.
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