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MnTe薄膜の結晶間相変化メカニズムの解明およびその次世代不揮発性メモリへの応用

Research Project

Project/Area Number 19J21117
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 26040:Structural materials and functional materials-related
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

森 竣祐  東北大学, 工学研究科, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2019-04-25 – 2022-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2021)
Budget Amount *help
¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
Fiscal Year 2021: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2020: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2019: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
KeywordsMnTe / 多形変化 / 不揮発性メモリ / 熱応力 / MnTe薄膜 / 多形転移 / 変位型相転移 / 耐熱性 / 多形体 / 半導体
Outline of Research at the Start

Mn-Te系化合物は、複数の結晶構造を呈することが知られており、これらの構造変化に伴い光学および電気的特性に大きな変化が生じる。その物性変化を用いることで、次世代型メモリの情報記録材料に実用できることが示唆され、融解を必要としない極めて低動作電力で高速なメモリ特性の発現が期待される。本研究では、Mn-Te薄膜およびメモリデバイスについて、その光学および電気的なスイッチング特性を調査し、従来材料と比較検討する。

Outline of Annual Research Achievements

これまでに、NiAs/ウルツ鉱型構造間でのMnTe薄膜の多形変化による電気および光学特性変化、それを用いたメモリ動作性能や相変化メカニズム、そして多形変化の進行がキャップ層から受ける機械的拘束の影響を受けることが明らかとなっていた。この機械的拘束は、MnTeとキャップ層との間に生じる熱膨脹差に由来する熱応力であると考えられる。そこで、MnTe薄膜に生じる熱応力を変化させるために、熱膨張係数の異なる材料をキャップ層に用いて、ウルツ鉱型→NiAs型構造への相変化挙動をX線回折により調査したところ、キャップ層によって相変化の温度が異なることが分かった。実際に生じている熱応力の解析を行うために、MnTeの熱膨張係数およびヤング率を測定した。これらの結果を用いて、有限要素法により相変化におけるMnTe薄膜の熱応力分布をシミュレーションしたところ、面内圧縮方向への熱応力が大きいほど相変化温度が低くなることが明らかとなった。この結果は、圧縮応力が大きいほどNiAs型構造が安定化することを示しており、多形変化に伴う体積変化に由来していると考えられる。したがって、MnTeの結晶構造の安定性を応力により制御できることを実証した。このような結果は、基板や電極に用いる材料の選定など、メモリデバイスの設計指針において重要なだけではなく、ひずみ(応力)により材料の物性を変化させる“ストレイントロニクス(歪み電子工学)”への展開も期待される成果である。

Research Progress Status

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和3年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(3 results)
  • 2021 Annual Research Report
  • 2020 Annual Research Report
  • 2019 Annual Research Report
  • Research Products

    (43 results)

All 2022 2021 2020 2019

All Journal Article (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 2 results) Presentation (39 results) (of which Int'l Joint Research: 7 results,  Invited: 4 results)

  • [Journal Article] Electrical Conduction Mechanism of β-MnTe Thin Film with Wurtzite-Type Structure Using Radiofrequency Magnetron Sputtering2022

    • Author(s)
      Mihyeon Kim, Shunsuke Mori, Yi Shuang, Shogo Hatayama, Daisuke Ando, Yuji Sutou
    • Journal Title

      Physica status solidi rapid research letters

      Volume: 16 Issue: 9 Pages: 2100641-2100641

    • DOI

      10.1002/pssr.202100641

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    • Author(s)
      S.Mori, S. Hatayama, D. Ando, Y. Sutou
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 60 Issue: 4 Pages: 045504-045504

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abee03

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    • Author(s)
      S. Mori, D. Andi, Y. Sutou
    • Journal Title

      Materials and Design

      Volume: 196 Pages: 109141-109141

    • DOI

      10.1016/j.matdes.2020.109141

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      S. Mori, S. Hatayama, Y. Shuang, D. Ando, Y. Sutou
    • Journal Title

      Nature Communications

      Volume: 11 Issue: 1 Pages: 85-85

    • DOI

      10.1038/s41467-019-13747-5

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Published: 2019-05-29   Modified: 2024-03-26  

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