Imaging of threading dislocations by hyper-Raman scattering

• Project/Area Number: 19K22043
• Research Category: Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Review Section: Medium-sized Section 26:Materials engineering and related fields
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: 谷川 智之 大阪大学, 工学研究科, 准教授 (90633537)
• Project Period (FY): 2019-06-28 – 2021-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2019)
• Budget Amount: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000); Fiscal Year 2020: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2019: ¥5,200,000 (Direct Cost: ¥4,000,000、Indirect Cost: ¥1,200,000)
• Keywords: 多光子顕微鏡 / GaN / ラマン散乱

Outline of Research at the Start

GaNの深部に伝搬する貫通転位を非破壊で解析するための手法としてハイパーラマン散乱測定を提案し、深部の歪場を検出することを目的とします。多光子励起フォトルミネッセンス測定により転位の三次元座標を特定し、転位近傍の歪場をハイパーラマン散乱測定により計測します。転位による歪場を計算により求め、マッピング測定結果と一致するような結果が得られれば、転位の種類を含めた三次元・非破壊分析が可能となります。