Large-area formation of atomically flat diamond (111) surface and creation of the functions

• Project/Area Number: 20760455
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Inorganic materials/Physical properties
• Research Institution: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• Principal Investigator: TOKUDA Norio National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, 電子情報学系, 助教 (80462860)
• Project Period (FY): 2008 – 2009
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2009)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2009: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000); Fiscal Year 2008: ¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000)
• Keywords: ダイヤモンド / 半導体 / 結晶成長 / 表面制御 / 標準試料

Research Abstract

The control of diamond surface in atomic level has been studied by controlling the diamond crystal growth using plasma-enhanced CVD. As a result, 100×100μm2 step-free surface of diamond (111) was successfully formed. The diamond nano-structure, which was composed of equivalent triangular islands with single steps, was suggested as world's smallest nanometer-sized ruler.

Research Products

• [Journal Article] Growth of atomically step-free s urface on diamond {111} mesas (2010)
  • Author(s): Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yam asaki
  • Journal Title: Diamond and Related Materials 19 Pages: 288-290
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 正確に0. 2ナノメートルを測れますか?～ ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性～ (2010)
  • Author(s): 徳田規夫, 権太聡, 牧野俊晴, 山崎聡
  • Journal Title: MATERIAL STAGE 9 Pages: 1-3
• [Journal Article] Growth of atomically step-free surface on diamond {111} mesas (2010)
  • Author(s): Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
  • Journal Title: Diamond and Related Materials 19 Pages: 288-290
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 正確に0.2ナノメートルを測れますか?～ダイヤによるナノスケール標準試料の可能性～ (2010)
  • Author(s): 徳田規夫, 権太聡, 牧野俊晴, 山崎聡
  • Journal Title: MATERIAL STAGE 9 Pages: 1-3
  • NAID: 40017002371
• [Journal Article] ナノサイズを測るダイヤの"ものさし" (2009)
  • Author(s): 徳田規夫、山崎聡
  • Journal Title: Newton 8 Pages: 13-13
• [Journal Article] (2009)
  • Author(s): Norio Tokuda, Hitoshi Umezawa, Hirom itsu Kato, Masahiko Ogura, Satoshi Gond a, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
  • Journal Title: Applied Physics Express 2 Pages: 55001-55001
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] ナノサイズを測るダイヤの"ものさし" (2009)
  • Author(s): 徳田規夫, 山崎聡
  • Journal Title: Newton 8 Pages: 13-13
• [Journal Article] Nanometer Scale Height Standard Using Atomically Controlled Diamond Surface (2009)
  • Author(s): 徳田規夫、梅沢仁、加藤宙光、小倉政彦、権太聡、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • Journal Title: Applied Physics Express Vol.2, No.5 Pages: 55001-55001
  • NAID: 10025086166
  • Peer Reviewed
• [Presentation] 完全平坦ダイヤモンド表面の形成 (2010)
  • Author(s): 徳田規夫, 猪熊孝夫, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡
  • Organizer: 表面技術協会第120回講演大会
  • Place of Presentation: 幕張メッセ国際会議場(千葉県)
  • Year and Date: 2010-09-18
• [Presentation] 完全平坦ダイヤモンド表面の形成 (2009)
  • Author(s): 徳田規夫, 猪熊孝夫, 山部紀久夫, 大串秀世, 山崎聡
  • Organizer: 表面技術協会 第120回講演大会
  • Place of Presentation: 幕張メッセ国際会議場(千葉県)
  • Year and Date: 2009-09-18
• [Presentation] Atomically controlled diamond surfaces (2009)
  • Author(s): Norio Tokuda, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Hitoshi Umezawa, Kikuo Yamabe, Hideyo Okushi, Satoshi Yamasaki
  • Organizer: The second international symposium on interdisciplinary Materials Science (ISIMS-2009)
  • Place of Presentation: つくば国際会議場(茨城県)
  • Year and Date: 2009-03-10
• [Presentation] Atomically controlled diamond surfaces (2009)
  • Author(s): 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、加藤宙光、梅沢仁、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • Organizer: The second international symposium on interdisciplinary Materials Science (ISIMS-2009)
  • Place of Presentation: 茨城県つくば市つくば国際会議場
  • Year and Date: 2009-03-10
• [Presentation] マイクロ波プラズマCVDによるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成 (2008)
  • Author(s): 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • Organizer: 第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
  • Place of Presentation: 仙台市戦災復興記念館(宮城県)
  • Year and Date: 2008-11-06
• [Presentation] マイクロ波プラズマCVDによるステップフリーダイヤモンド(111)表面の形成 (2008)
  • Author(s): 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • Organizer: 第38回結晶成長国内会議(NCCG-38)
  • Place of Presentation: 宮城県仙台市仙台市戦災復興記念館
  • Year and Date: 2008-11-06
• [Presentation] マイクロ波プラズマ中のダイヤモンド(111)膜の成長とエッチング (2008)
  • Author(s): 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • Organizer: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演大会
  • Place of Presentation: 中部大学(愛知県)
  • Year and Date: 2008-09-02
• [Presentation] マイクロ波プラズマ中のダイヤモンド(111)膜の成長とエッチング (2008)
  • Author(s): 徳田規夫、牧野俊晴、小倉政彦、山部紀久夫、大串秀世、山崎聡
  • Organizer: 2008年秋季第69回応用物理学会学術講演大会
  • Place of Presentation: 愛知県春日井市中部大学
  • Year and Date: 2008-09-02
• [Remarks] プレスリリース
  • URL: http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2009/pr20090417/pr20090417.html
• [Patent(Industrial Property Rights)] 単結晶ダイヤモンド基板 (2009)
  • Inventor(s): 徳田規夫、小倉政彦、加藤宙光、竹内大輔、牧野俊晴、小山和博、大串秀 世、山崎聡
  • Industrial Property Rights Holder: 産業技術総合研究所
  • Industrial Property Number: 2009-100870
  • Filing Date: 2009-04-17
• [Patent(Industrial Property Rights)] 単結晶ダイヤモンド基板 (2009)
  • Inventor(s): 徳田規夫, 他7名
  • Industrial Property Rights Holder: (独)産業技術総合研究所
  • Industrial Property Number: 2009-100870
  • Filing Date: 2009-04-17
• [Patent(Industrial Property Rights)] ナノメートルスケールの計測標準試料およびナノメートルスケールの計測標準試料を用いた走査型顕微鏡の校正方法 (2009)
  • Inventor(s): 徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
  • Industrial Property Rights Holder: (独)産業技術総合研究所
  • Industrial Property Number: 2009-037517
  • Filing Date: 2009-02-20
• [Patent(Industrial Property Rights)] ナノメートルスケールの計測標準試料及びナノメートルスケールの計測標準試料を使用した走査型顕微鏡の校正方法体 (2008)
  • Inventor(s): 徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
  • Industrial Property Rights Holder: 産業技術総合研究所
  • Industrial Property Number: 2008-222042
  • Filing Date: 2008-08-29
• [Patent(Industrial Property Rights)] ナノメートルスケールの計測標準試料及びナノメートルスケールの計測標準試料を使用した走査型顕微鏡の校正方法 (2008)
  • Inventor(s): 徳田規夫、山崎聡、栗原健一、権太聡、太田敏隆
  • Industrial Property Rights Holder: (独)産業技術総合研究所
  • Industrial Property Number: 2008-222042
  • Filing Date: 2008-08-29