大口径・高出力青緑色面発光レーザーの開発

• Project/Area Number: 20H00353
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Medium-sized Section 30:Applied physics and engineering and related fields
• Research Institution: Meijo University
• Principal Investigator: 竹内 哲也 名城大学, 理工学部, 教授 (10583817)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 亀井 利浩 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 上級主任研究員 (90356824)
• Project Period (FY): 2020-04-01 – 2023-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2021)
• Budget Amount: ¥46,670,000 (Direct Cost: ¥35,900,000、Indirect Cost: ¥10,770,000); Fiscal Year 2022: ¥7,150,000 (Direct Cost: ¥5,500,000、Indirect Cost: ¥1,650,000); Fiscal Year 2021: ¥7,280,000 (Direct Cost: ¥5,600,000、Indirect Cost: ¥1,680,000); Fiscal Year 2020: ¥32,240,000 (Direct Cost: ¥24,800,000、Indirect Cost: ¥7,440,000)
• Keywords: GaN / 面発光レーザー / 多層膜反射鏡 / 酸化狭窄 / その場観察

Outline of Research at the Start

本研究では、大口径・高出力青緑色面発光レーザーの開発を遂行する。具体的には、高出力化（30 mW）とビーム形状制御（放射角3°）を可能にする発光径大口径化（30 um）、発振波長の長波長化（500 nm）を高い再現性で実現する。導電性DBR、AlInN酸化層、GaN基板上高InNモル分率GaInN量子井戸、その場反射スペクトルによる共振波長制御を確立して、上記新規GaN系面発光レーザーを実現する。