SEM/スピンSEM/EB描画装置のためのリアルタイム多機能画像処理システムに関する研究

• Project/Area Number: 20H00932
• Research Category: Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
• Allocation Type: Single-year Grants
• Review Section: 2150:Electrical and electronic engineering and related fields
• Research Institution: Hokkaido University
• Principal Investigator: 纐纈 ゆかり 北海道大学, 技術職員
• Project Period (FY): 2020-04-01 – 2021-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2020)
• Budget Amount: ¥480,000 (Direct Cost: ¥480,000); Fiscal Year 2020: ¥480,000 (Direct Cost: ¥480,000)

Outline of Research at the Start

本研究では, SEM/スピンSEM/電子線描画装置に搭載の残光ディスプレイを代替し, さらに畳み込みニューラルネットワーク等を活用した画像認識・処理機能を搭載するFPGAを利用し, 廉価な汎用リアルタイム・インテリジェント画像表示・処理システムを開発し, これらの装置および類似の装置のサステナブルな活用を可能とする研究を行う。