革新的な高機能・高信頼ダイヤンモンド MEMSの基盤構築と磁気センサの応用

Research Project

Project/Area Number	20H02212
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Review Section	Basic Section 21060:Electron device and electronic equipment-related
Research Institution	National Institute for Materials Science
Principal Investigator	廖梅勇国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (70528950)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	戸田雅也東北大学, 工学研究科, 准教授 (40509890)
Project Period (FY)	2020-04-01 – 2023-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2020)
Budget Amount *help	¥17,810,000 (Direct Cost: ¥13,700,000、Indirect Cost: ¥4,110,000) Fiscal Year 2021: ¥5,850,000 (Direct Cost: ¥4,500,000、Indirect Cost: ¥1,350,000) Fiscal Year 2020: ¥7,930,000 (Direct Cost: ¥6,100,000、Indirect Cost: ¥1,830,000)
Keywords	磁気センサ / ダイヤモンド / MEMS
Outline of Research at the Start	超高温(>773K)での磁気センシングは挑戦的な課題である。本研究には我々は開発したダイヤモンドMEMSに基づいて、773K以上高温で高信頼性、高感度のダイヤモンドMEMS磁気センサーを提案する。この目標を達成するために、（i）ダイヤモンドMEMS共振子の上に磁歪材料のヘテロ成長と最適化、（ii）オンチップでセルフセンシング・アクチュエーションの革新的なトランスデューサー物理概念の提案、および（iii）これまでにない力感度をもつダイヤモンドMEMS共振子を簡単に製造する方法を行う。提案されたダイヤモンドMEMS磁気センサーは、従来の磁気センシングの信頼性の問題を克服する。