X線シングルショット顕微分光イメージングの実証

Research Project

Project/Area Number	20H04451
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Review Section	Basic Section 80040:Quantum beam science-related
Research Institution	The University of Tokyo
Principal Investigator	木村隆志東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任助教 (50531472)
Project Period (FY)	2020-04-01 – 2023-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2020)
Budget Amount *help	¥17,680,000 (Direct Cost: ¥13,600,000、Indirect Cost: ¥4,080,000) Fiscal Year 2021: ¥5,330,000 (Direct Cost: ¥4,100,000、Indirect Cost: ¥1,230,000) Fiscal Year 2020: ¥6,890,000 (Direct Cost: ¥5,300,000、Indirect Cost: ¥1,590,000)
Keywords	X線 / X線ミラー / X線顕微鏡 / 微細加工 / 回折格子
Outline of Research at the Start	本研究提案では、X線自由電子レーザーなどの超短パルスX線光源での利用を想定した、X線シングルショット二次元顕微分光イメージングの実現を目指す。上記事項を達成するために、拡大結像した二次元試料イメージを分光するための、新規分光光学素子を新たに開発、色収差の無い全反射X線ミラー結像光学系と組み合わせた新規X線イメージング光学系を構築する。本研究の実現により、従来困難であった二次元での超短時間X線分光分析の実現という、新たな物性分析技術を確立する。