X線シングルショット顕微分光イメージングの実証

• Project/Area Number: 20H04451
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Review Section: Basic Section 80040:Quantum beam science-related
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: 木村 隆志 東京大学, 物性研究所, 准教授 (50531472)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 三村 秀和 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (30362651)
• Project Period (FY): 2020-04-01 – 2023-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2021)
• Budget Amount: ¥17,680,000 (Direct Cost: ¥13,600,000、Indirect Cost: ¥4,080,000); Fiscal Year 2022: ¥5,460,000 (Direct Cost: ¥4,200,000、Indirect Cost: ¥1,260,000); Fiscal Year 2021: ¥5,330,000 (Direct Cost: ¥4,100,000、Indirect Cost: ¥1,230,000); Fiscal Year 2020: ¥6,890,000 (Direct Cost: ¥5,300,000、Indirect Cost: ¥1,590,000)
• Keywords: X線光学 / X線ミラー / X線顕微鏡 / 電子ビーム露光 / 回折格子 / X線 / 微細加工

Outline of Research at the Start

本研究提案では、X線自由電子レーザーなどの超短パルスX線光源での利用を想定した、X線シングルショット二次元顕微分光イメージングの実現を目指す。上記事項を達成するために、拡大結像した二次元試料イメージを分光するための、新規分光光学素子を新たに開発、色収差の無い全反射X線ミラー結像光学系と組み合わせた新規X線イメージング光学系を構築する。本研究の実現により、従来困難であった二次元での超短時間X線分光分析の実現という、新たな物性分析技術を確立する。