Development of High Performance Thin Film Encapsulation by VUV Photochemical Gel Conversion

Research Project

Project/Area Number	20K05317
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 29020:Thin film/surface and interfacial physical properties-related
Research Institution	Yamagata University
Principal Investigator	吉田麗娜 (孫麗娜) 山形大学, 有機材料システム研究推進本部, 研究員 (30813555)
Project Period (FY)	2020-04-01 – 2023-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2020)
Budget Amount *help	¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000) Fiscal Year 2022: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000) Fiscal Year 2021: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000) Fiscal Year 2020: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Keywords	VUV光照射 / 低温溶液プロセス / 塗布製膜 / 薄膜封止層 / ゲルコンバージョン
Outline of Research at the Start	軽く柔軟で、R2R製造による大幅な低コスト化が可能なフィルムデバイスを実用するための、高性能薄膜封止(Thin Film Encapsulation = TFE) の低温高速溶液プロセスとして、Vacuum Ultra Violet (VUV)光ゲルコンバージョン法を開発する。溶液中の有機金属原料の重合度、塗布条件制御によって前駆体ゲル膜を得、種々のセラミクス緻密連続薄膜に変換する手法を確立、さらに界面密着、VUV光照射条件による傾斜構造導入、柔軟な有機ポリマーとの交互積層による応力緩和で、多層TFEを有機デバイス上に直接形成し、その耐久性を実証する。