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Formation of thin-film multilayer vertical thermoelectric devices and analysis of potential distribution by scanning probe microscopy

Research Project

Project/Area Number 21K04629
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeMulti-year Fund
Section一般
Review Section Basic Section 26010:Metallic material properties-related
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

Arita Makoto  九州大学, 工学研究院, 准教授 (30284540)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 宗藤 伸治  九州大学, 工学研究院, 教授 (20380587)
Project Period (FY) 2021-04-01 – 2024-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2023: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2021: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Keywords熱電発電 / 薄膜 / 半導体 / 熱電材料
Outline of Research at the Start

本研究では、多数のバルク熱電材料の集合体で構成される従来型の熱電発電π型モジュールに代わる、熱電発電素子を熱勾配と垂直方向に薄膜化・積層化することにより体積圧縮した新規発電モジュール構造を提案する。この薄膜積層モデルの特徴は、熱勾配と垂直方向、且つ、薄膜の面直方向に電力を取り出す点にある。n型,p型-Siによる積層構造をスパッタリング法により作製し、温度勾配付与時の発電特性を調査する。また積層構造内における局所領域の電位分布をケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM)により観察し、有限要素法による電位分布シミュレーションと合わせて発電状況の解析と適切な構造設計について検討を行う。

Outline of Final Research Achievements

In this study, experiments were conducted to investigate and verify the characteristics of a prototype thin-film stacked vertical thermoelectric generation device to improve the volume density of thermoelectric power generation modules. First, thin-film p/n junction structures consisting of p-Si/n-Si were manufactured and its thermoelectric power generation characteristics were investigated. Then, a prototype module with a two-layer p/n structure stacked via an insulating layer was fabricated, and the effectiveness of the stacked structure in improving electromotive force was confirmed.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

本研究では、熱電発電モジュールの体積密度の大幅な向上の可能性を持つ薄膜積層型垂直熱電発電デバイスを試作し、熱電材料の薄膜化と熱勾配に垂直方向への電力の取り出しと積層化による電圧の向上を確認した。また、薄膜構造における電位分布の可視化を試み、発電特性との関係を調査した。この研究により得られた知見は、熱電発電モジュールの体積圧縮の新しい手法の手がかりとなり、昨今のエネルギー問題を解決するブレークスルーとして社会に貢献できると考えられる。

Report

(4 results)
  • 2023 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2022 Research-status Report
  • 2021 Research-status Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2024 2023 2022 2021

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (8 results)

  • [Journal Article] Thermoelectric Properties of Ba8CuxSiyGe46-x-y Clathrates Synthesized by the Czochralski Method2024

    • Author(s)
      Kentaro Takagi, Yuko Matsukawa*, Shuto Araki, Ryusei Saeki, Shigeto Yamasaki, Makoto Arita, and Shinji Munetoh
    • Journal Title

      ACS Appl. Energy Mater

      Volume: 7 Issue: 7 Pages: 2665-2670

    • DOI

      10.1021/acsaem.3c02961

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Improvement of the thermoelectric performance of boron-doped silicon by blocking minority carrier diffusion on the p+/p interface2023

    • Author(s)
      Momoka Sakamoto, Yuko Matsukawa, Rikuto Sasaoka, Kohei Minoshima, Eisuke Nakamura, Makoto Arita, Shinji Munetoh
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 62 Issue: 7 Pages: 075505-075505

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ace4af

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Czochralski法で作製したBa8Cu6Ge40-xSixクラスレートの熱電性能2023

    • Author(s)
      高木健太郎 荒木脩斗 佐伯龍聖 松川祐子 有田誠 宗藤伸治
    • Organizer
      第32回傾斜機能材料シンポジウム
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] p+/p-Si界面におけるキャリア拡散の制御を用いた熱起電力の向上2023

    • Author(s)
      行事明 青木航介 佐伯龍聖 松川祐子 有田誠 宗藤伸治
    • Organizer
      第32回傾斜機能材料シンポジウム
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] 共沈降法による組成傾斜化Alドープβ-FeSi2の熱電発電特性2023

    • Author(s)
      青木航介 佐伯龍聖 松川祐子 有田誠 宗藤伸治
    • Organizer
      第32回傾斜機能材料シンポジウム
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] Czochralski 法による組成傾斜が Co ドープ β-FeSi2 の熱起電力に与える影響2023

    • Author(s)
      香月 佑斗 松川 祐子 森元 翔也 佐伯 龍聖 有田 誠 宗藤 伸治
    • Organizer
      日本金属学会九州支部 2023 年 合同学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] 薄膜 Si 熱電発電素子の発電特性に及ぼす温度条件の影響2023

    • Author(s)
      濱砂 敦志 岡坂 達也 佐伯 龍聖 松川 祐子 有田 誠 宗藤 伸治
    • Organizer
      日本金属学会九州支部 2023 年 合同学術講演会
    • Related Report
      2023 Annual Research Report
  • [Presentation] p/n-Si薄膜接合素子の試作と熱電発電特性2022

    • Author(s)
      岡坂達也 宮本悠希 松川祐子 有田誠 宗藤伸治
    • Organizer
      第31回傾斜機能材料シンポジウム
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] p-Si/p+-Si及びn-Si/n+-Siの温度勾配垂直方向熱電発電特性2022

    • Author(s)
      隈河拓斗 木瀬浩輝 松川祐子 有田誠 宗藤伸治
    • Organizer
      第31回傾斜機能材料シンポジウム
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] n-Si薄膜/p-Si構造の形成と温度勾配付与時の電位分布観察2021

    • Author(s)
      岡坂達也 木瀬浩輝 松川祐子 有田誠 宗藤伸治
    • Organizer
      日本金属学会九州支部 2021 年 合同学術講演会
    • Related Report
      2021 Research-status Report

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Published: 2021-04-28   Modified: 2025-01-30  

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