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Study on thermal transport mechanism at nanoscale of SiGe alloys using variable temperature Raman spectroscopy

Research Project

Project/Area Number 21K14201
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research InstitutionMeiji University

Principal Investigator

Yokogawa Ryo  明治大学, 理工学部, 助教 (10880619)

Project Period (FY) 2021-04-01 – 2024-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2023: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000)
Fiscal Year 2021: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
Keywords温度可変ラマン分光法 / ラマンシフト / フォノン / シリコンゲルマニウム / ラマン分光法 / ナノ構造 / 非調和振動 / 局在振動モード / SiGe / 熱伝導率
Outline of Research at the Start

SiGe混晶は合金効果で熱伝導率が大きく低減することから、近年新たな熱電発電材料として注目されており、更なる低熱伝導率低減を達成すべく、様々な熱電発電デバイス構造が提案されているものの、熱輸送を考える上で重要なフォノンの振舞いは評価技術が未発達で、未だ理論的予測に留まっている。本研究ではフォノンエネルギーを直接観測することができる温度可変ラマン分光法により、SiGeの微視的な熱伝導機構を明らかにする。そして飛躍的な熱伝導率低減を可能とするSiGe混晶のフォノン散乱機構を実証することでSiGe熱電発電デバイスの性能を大幅に向上させ、混晶という複雑な系のフォノン物性の学理構築を目的とする。

Outline of Final Research Achievements

In this study, a method for evaluating thermal properties of silicon-germanium (SiGe) using Raman spectroscopy was established. In addition, reduction of thermal conductivity for SiGe fine structures was explored from the viewpoint of phonon scattering process.
By investigating the relationship between the Raman shift and temperature using variable temperature Raman spectroscopy and bulk SiGe crystals, it was revealed that the Si-Si, Si-Ge, and Ge-Ge vibrational modes have constant values regardless of the Ge fractions. In conclusion, it will be possible to measure the temperature of SiGe fine structures by Raman spectroscopy.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

本研究課題により、温度可変ラマン分光法と高品質無歪単結晶バルクシリコンゲルマニウム(SiGe)を組み合わせることで、これまで不明瞭であったシリコンゲルマニウム(SiGe)のラマンシフト(フォノンエネルギー)と温度の関係を明らかにした。これらの係数は各振動モードに対してGe組成によらずおおよそ一定であることが分かった。SiGeの各光学フォノンモードのラマンシフトと温度の関係式を用いることでSiGe混晶内で熱の伝搬を抑制、および促進しているか原子オーダーで把握することができ、これまでの熱特性評価技術に加え、熱伝導率をフォノン輸送的観点から予測できると考える。

Report

(4 results)
  • 2023 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2022 Research-status Report
  • 2021 Research-status Report
  • Research Products

    (18 results)

All 2024 2023 2022

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (15 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Invited: 3 results)

  • [Journal Article] Local thermal conductivity properties of a SiGe nanowire observed by laser power sweep Raman spectroscopy2024

    • Author(s)
      Sugawa Sho、Yokogawa Ryo、Ogura Atsushi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 63 Issue: 2 Pages: 02SP68-02SP68

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad1bc0

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Determination of Ge-fraction-shift coefficients for Raman spectroscopy in all vibration modes investigated by single-crystalline bulk SiGe and its application to strain evaluation in SiGe film grown on substrate2024

    • Author(s)
      Yokogawa Ryo、Sugawa Sho、Yonenaga Ichiro、Arai Yasutomo、Ogura Atsushi
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 63 Issue: 3 Pages: 035503-035503

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad29db

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Silicon-Germanium2023

    • Author(s)
      Sugawa Sho、Yokogawa Ryo、Yoshioka Kazutoshi、Arai Yasutomo、Yonenaga Ichiro、Ogura Atsushi
    • Journal Title

      ECS Journal of Solid State Science and Technology

      Volume: 12 Issue: 6 Pages: 064004-064004

    • DOI

      10.1149/2162-8777/acdffa

    • Related Report
      2023 Annual Research Report
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  • [Presentation] SiGeラマンスペクトルの非対称ブロードニングに関する考察2024

    • Author(s)
      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • Organizer
      第71回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] 液浸ラマン分光法による高Ge濃度SiGe薄膜のラマンスペクトルに現れるブロードピークの温度依存性評価2023

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      前田 唯葉, 横川 凌, 小椋 厚志
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      第7回フォノンエンジニアリング研究会
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      寿川 尚, 横川 凌, 小椋 厚志
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      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 伊藤 佑太, 山下 雄一郎, Wen Wei-Chen, 山本 裕司, 小椋 厚志
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      第7回フォノンエンジニアリング研究会
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      横川 凌, 寿川 尚, 前田 唯葉, 伊藤 佑太, 山下 雄一郎, Wen Wei-Chen, 山本 裕司, 小椋 厚志
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      第84回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] Local Thermal Conductivity Properties of SiGe Nanowire Observed by Laser Power Sweep Raman Spectroscopy2023

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      S. Sugawa, R. Yokogawa, A. Ogura
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      36th International Microprocess and Nanotechnology Conference 2023 (MNC2023)
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] バルクSiGeを用いた無歪ラマンシフト全振動モードの導出2023

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      横川 凌, 寿川 尚, 柴山 裕貴, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
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      第70回応用物理学会春季学術講演会
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      横川 凌, 寿川 尚, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
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      第70回応用物理学会春季学術講演会
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  • [Presentation] SiGe混晶のフォノン物性解明へ向けて2022

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      横川 凌
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      2022 Research-status Report
    • Invited
  • [Presentation] Ge-rich SiGeバルク単結晶におけるラマンピークの温度依存性2022

    • Author(s)
      寿川 尚, 横川 凌, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
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  • [Presentation] Evaluation of Strained Group IV Semiconductor Devices by Oil-Immersion Raman Spectroscopy2022

    • Author(s)
      Ryo Yokogawa, Chia-Tsong Chen, Kasidit Toprasertpong, Mitsuru Takenaka, Shinishi Takagi, Atsushi Ogura
    • Organizer
      242nd ECS Meeting
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Si-Rich SiGe2022

    • Author(s)
      Sho Sugawa, Ryo Yokogawa, Yasutomo Arai, Ishiro. Yonenaga, Atsushi Ogura
    • Organizer
      242nd ECS Meeting
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Phonon properties of bulk silicon-germanium analyzed by inelastic X-ray scattering2022

    • Author(s)
      Ryo Yokogawa
    • Organizer
      The 8th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
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      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Si-rich SiGeバルク単結晶におけるラマン散乱の温度依存性2022

    • Author(s)
      寿川 尚, 横川 凌, 荒井 康智, 米永 一郎, 小椋 厚志
    • Organizer
      第69回応用物理学会春季学術講演会
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      2021 Research-status Report

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Published: 2021-04-28   Modified: 2025-11-21  

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