局所電流注入による窒化物半導体の発光効率分布可視化手法の開発

• Project/Area Number: 21K14545
• Research Category: Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
• Allocation Type: Multi-year Fund
• Review Section: Basic Section 30010:Crystal engineering-related
• Research Institution: Mie University
• Principal Investigator: 上杉 謙次郎 三重大学, 地域創生戦略企画室, 助教 (40867305)
• Project Period (FY): 2021-04-01 – 2024-03-31
• Project Status: Granted (Fiscal Year 2021)
• Budget Amount: ¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000); Fiscal Year 2023: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000); Fiscal Year 2022: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000); Fiscal Year 2021: ¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
• Keywords: 窒化物半導体 / 顕微分光 / 深紫外発光ダイオード

Outline of Research at the Start

III窒化物半導体を用いた発光素子は、結晶成長中の表面平坦性の揺らぎや貫通転位を主たる起源とした混晶組成や膜厚の不均一性を内包するため、発光効率に空間的な分布が生じる。高効率な発光素子の実現には、顕微分光測定を用いて発光効率分布を評価する必要がある。本研究では、発光素子の局所領域に限定して電流を注入することで、電流注入動作している素子の発光効率分布を、電流密度の不均一性に影響されることなく高空間分解能で可視化することを目的に行う。