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ベイズ最適化を活用した物理蒸着法によるMOF薄膜合成

Research Project

Project/Area Number 22K14692
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 34010:Inorganic/coordination chemistry-related
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

中山 亮  東京大学, 大学院理学系研究科(理学部), 特任助教 (20833974)

Project Period (FY) 2022-04-01 – 2025-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2023)
Budget Amount *help
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2024: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2023: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2022: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Keywordsベイズ最適化 / 金属有機構造体(MOF) / 薄膜 / 物理蒸着法 / 金属有機構造体 / 物理蒸着 / MOF
Outline of Research at the Start

金属有機構造体(Metal-Organic Framework, MOF)は、1) 細孔内への分子導入、2) 化学修飾による電子物性の制御、といった従来の電子材料にはない性質を持つ。MOFのデバイス応用に向けて、溶媒を使用しない物理蒸着法(PVD)による薄膜合成が望まれているが、PVDによるMOF薄膜合成の条件最適化は困難である。
そこで本研究では、機械学習の一種であるベイズ最適化を活用して、物理蒸着法によるMOF薄膜合成を行う。ベイズ最適化を活用することで、複数の合成パラメータ(基板温度やH2O分圧、金属塩層と架橋配位子層の膜厚など)を人間が行うよりも効率よく最適化することが可能となる。

Outline of Annual Research Achievements

金属有機構造体(Metal-Organic Framework, MOF)は金属イオンと架橋配位子の自己集合によって得られる多孔性物質である。MOFは、1) 細孔内への分子導入、2) 化学修飾による電子物性の制御、といった従来の電子材料にはない性質を持つ。MOFのデバイス応用に向けて、溶媒を使用しない物理蒸着法(PVD)による薄膜合成が望まれているが、PVDによるMOF薄膜合成は困難である。本研究は、ベイズ最適化を活用したPVDによるMOF薄膜合成を目的としている。R4年度は、1) 物理蒸着法による金属塩と有機配位子の交互積層、2) 溶媒蒸気雰囲気でのアニール処理という二段階の成膜プロセスにより、ガラス基板上に(111)配向したHKUST-1薄膜を合成することに成功した。R5年度は、HKUST-1と同様の二段階の成膜プロセスで、ピリジン蒸気アニールを行うことで、電気伝導性MOFであるCu3(HHTP)2 (HHTP = 2,3,6,7,10,11-hexahydroxytriphenylene)の配向膜合成に成功した。また、水と酢酸の混合溶媒を用いた蒸気アニールにより、熱的・化学的安定性の高いZr系MOFであるUiO-66の多結晶薄膜の合成にも成功した。以上より、開発した成膜手法により、多彩なMOF薄膜が合成可能であることを見出した。これまでに行ったMOF薄膜合成及びベイズ最適化のシミュレーションに関して、現在論文執筆を進めている状況である。

Current Status of Research Progress
Current Status of Research Progress

1: Research has progressed more than it was originally planned.

Reason

R4年度は1) 金属塩と有機配位子の交互積層、2) 溶媒蒸気雰囲気でのアニール処理という気相法によるMOF成膜プロセスを開発し、MOFの一種であるHKUST-1の配向膜合成を行った。
R5年度は開発した成膜手法を用いて、電気伝導性MOFであるCu3(HHTP)2及びZr系MOFであるUiO-66の薄膜合成を行った。その結果、サファイア基板上にCu3(HHTP)2 (001)配向膜、ガラス基板上にUiO-66の多結晶薄膜を得ることに成功した。これらのプロセスにおいては、溶媒蒸気アニールに用いる溶媒の種類の選択が重要であるが、ベイズ最適化はそのようなカテゴリ変数の最適化にはあまり向いていない最適化手法である。一方で、薄膜の表面平坦性の向上は今後の課題の一つであり、そのためにはアニール温度やアニール時間の最適化が不可欠であり、ベイズ最適化はその効率化に有効だと期待される。以上の理由より、これまでの研究はおおむね順調に進展しているといえる。

Strategy for Future Research Activity

R5年度は、これまでに開発した成膜手法を用いて、電気伝導性MOFであるCu3(HHTP)2の配向膜合成やZr系MOFであるUiO-66の薄膜合成を行った。つまり、開発した成膜手法は多彩なMOF薄膜の合成に適用であることを示した。以上より、本研究は当初の計画以上に進展していると考えており、R6年度にはベイズ最適化を用いた薄膜の表面平坦性の向上、単結晶基板を用いたMOFエピタキシャル薄膜の合成、作製したMOF薄膜のデバイス応用に取り組む予定である。

Report

(2 results)
  • 2023 Research-status Report
  • 2022 Research-status Report
  • Research Products

    (16 results)

All 2024 2023 2022

All Journal Article (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 4 results,  Open Access: 2 results) Presentation (11 results) (of which Int'l Joint Research: 2 results,  Invited: 1 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results) (of which Overseas: 1 results)

  • [Journal Article] Tuning Bayesian optimization for materials synthesis: simulating two- and three-dimensional cases2023

    • Author(s)
      Han Xu, Ryo Nakayama, Takefumi Kimura, Ryota Shimizu, Yasunobu Ando, Shigeru Kobayashi, Nobuaki Yasuo, Masakazu Sekijima, Taro Hitosugi
    • Journal Title

      Science and Technology of Advanced Materials: Methods

      Volume: 3 Issue: 1 Pages: 2210251-2210251

    • DOI

      10.1080/27660400.2023.2210251

    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Orientation Control of a Two-Dimensional Conductive Metal-Organic Framework Thin Film by a Pyridine Vapor-Assisted Dry Process2023

    • Author(s)
      Seoungmin Chon, Ryo Nakayama, Shunta Iwamoto, Shigeru Kobayashi, Ryota Shimizu, Taro Hitosugi
    • Journal Title

      ACS Appl. Mater. Interfaces

      Volume: 15 Issue: 48 Pages: 56057-56063

    • DOI

      10.1021/acsami.3c14401

    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Tuning of Bayesian optimization for materials synthesis: simulation of the one-dimensional case2022

    • Author(s)
      Nakayama Ryo、Shimizu Ryota、Haga Taishi、Kimura Takefumi、Ando Yasunobu、Kobayashi Shigeru、Yasuo Nobuaki、Sekijima Masakazu、Hitosugi Taro
    • Journal Title

      Science and Technology of Advanced Materials: Methods

      Volume: 2 Issue: 1 Pages: 119-128

    • DOI

      10.1080/27660400.2022.2066489

    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Fabrication and Growth Orientation Control of NaBH<sub>4</sub> Epitaxial Thin Films Using Infrared Pulsed-Laser Deposition2022

    • Author(s)
      Nakayama Ryo、Kawaguchi Yuto、Shimizu Ryota、Nishio Kazunori、Oguchi Hiroyuki、Kim Sangryun、Orimo Shin-ichi、Hitosugi Taro
    • Journal Title

      Crystal Growth &amp; Design

      Volume: 22 Issue: 11 Pages: 6616-6621

    • DOI

      10.1021/acs.cgd.2c00813

    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] Solvent vapor annealing effects on thin film synthesis of conductive metal&-organic framework using physical vapor deposition2024

    • Author(s)
      Ryo NAKAYAMA, Seoungmin CHON, Shunta IWAMOTO, Shigeru KOBAYASHI, Ryota SHIMIZU, Taro HITOSUGI
    • Organizer
      104th CSJ Annual Meeting
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] α-Al2O3 (0001)基板上での金属有機構造体のエピタキシャル成長2024

    • Author(s)
      岩本 俊太、中山 亮、Seoungmin CHON、清水 亮太、一杉 太郎
    • Organizer
      日本化学会 第104春季年会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] 物理蒸着と溶媒蒸気加熱による金属有機構造体HKUST-1の配向膜合成2024

    • Author(s)
      岩本 俊太、中山 亮、Seoungmin CHON、清水 亮太、一杉 太郎
    • Organizer
      第6回固体化学フォーラム研究会
    • Related Report
      2023 Research-status Report
  • [Presentation] (111)-Oriented Thin Film Fabrication of Metal&-Organic Framework HKUST-1 on Insulating Glass Substrates by Combining Vacuum Deposition and Solvent Vapor Annealing2023

    • Author(s)
      Shunta Iwamoto, Ryo Nakayama, Seoungmin Chon, Ryota Shimizu, and Taro Hitosugi
    • Organizer
      2023 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] ミスト化学気相成長法による金属有機構造体の薄膜合成2023

    • Author(s)
      野島 槙人、中山 亮、岩本 俊太、Chon Seoungmin、簾 智仁、清水 亮太、一杉 太郎
    • Organizer
      日本化学会第103春季年会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Fabrication of oriented conductive metal-organic framework thin film by dry process2023

    • Author(s)
      Seoungmin Chon, Ryo Nakayama, Shunta Iwamoto, Shigeru Kobayashi, Ryota Shimizu, Taro Hitosugi
    • Organizer
      日本化学会第103春季年会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] スパース推定を用いたベイズ最適化による実験計画アルゴリズムと 添加剤最適化に向けた展望2022

    • Author(s)
      増井 隆治、Lee Unseo、中山 亮、一杉 太郎
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Invited
  • [Presentation] NaBH4エピタキシャル薄膜の合成と成長方位制御2022

    • Author(s)
      中山 亮、河口 祐飛、清水 亮太、西尾 和記、大口 裕之、金 相侖、折茂 慎一、一杉 太郎
    • Organizer
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] 物理蒸着法と酢酸雰囲気での加熱処理によるMOF配向膜の合成2022

    • Author(s)
      岩本 俊太、中山 亮、Chon Seoungmin、清水 亮太、一杉 太郎
    • Organizer
      第12回CSJ化学フェスタ
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Fabrication of conductive metal-organic framework thin film on insulating substrate by physical vapor deposition2022

    • Author(s)
      CHON Seoungmin、中山 亮、岩本 俊太、小林 成、清水 亮太、一杉 太郎
    • Organizer
      第12回CSJ化学フェスタ
    • Related Report
      2022 Research-status Report
  • [Presentation] Physical vapor deposition of conductive two-dimensional metal-organic framework thin film2022

    • Author(s)
      Seoungmin Chon, Ryo Nakayama, Shunta Iwamoto, Shigeru Kobayashi, Ryota Shimizu, and Taro Hitosugi
    • Organizer
      2022 MRS Fall Meeting
    • Related Report
      2022 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Patent(Industrial Property Rights)] MOF EPITAXIAL THIN FILMS ON SINGLE CRYSTAL SAPPHIRE SUBSTRATE2024

    • Inventor(s)
      中山亮、岩本俊太、一杉太郎
    • Industrial Property Rights Holder
      中山亮、岩本俊太、一杉太郎
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Filing Date
      2024
    • Related Report
      2023 Research-status Report
    • Overseas

URL: 

Published: 2022-04-19   Modified: 2024-12-25  

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