| Project/Area Number |
22KJ1317
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| Project/Area Number (Other) |
22J14842 (2022)
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| Research Category |
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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| Allocation Type | Multi-year Fund (2023)
Single-year Grants (2022) |
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| Section | 国内 |
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| Review Section |
Basic Section 28050:Nano/micro-systems-related
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
楊 銘悦 東京工業大学, 物質理工学院, 特別研究員(DC2)
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| Project Period (FY) |
2023-03-08 – 2024-03-31
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| Project Status |
Granted (Fiscal Year 2023)
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| Budget Amount *help |
¥1,700,000 (Direct Cost: ¥1,700,000)
Fiscal Year 2023: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2022: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
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| Outline of Research at the Start |
本研究の概要は、線幅10nmの金パラジウム合金ナノワイヤガスセンサを電子線リソグラフィと無電解金めっきにより作製し、0.005%の低い検出限界を保持しつつ、高速応答と高耐久性を実現することである。本研究では、Au/Pd合金ナノワイヤガスセンサを作製し、水素ガスに対する応答特性と耐久性を、Pdナノワイヤガスセンサと比較しつつ検討する研究である。
また、水素ガスに対し繰り返し耐久性10万サイクルを目標値とし、応答特性と耐久性について、ナノワイヤの線幅、膜厚、ELGP条件依存性を最適化することにより、目標値の達成を行う研究である。
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