Effects of potential modulation by piezoelectric polarization on doping properties of zinc oxide

Research Project

Project/Area Number	24K07579
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Multi-year Fund
Section	一般
Review Section	Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research Institution	Kochi University of Technology
Principal Investigator	牧野久雄高知工科大学, システム工学群, 教授 (40302210)
Project Period (FY)	2024-04-01 – 2027-03-31
Project Status	Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2026: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000) Fiscal Year 2025: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000) Fiscal Year 2024: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Keywords	酸化亜鉛 / ピエゾ効果 / ZnO / 多結晶薄膜 / 欠陥
Outline of Research at the Start	本研究課題では、光センサや化学センサなどに応用される機能性材料として期待されるワイドギャップ半導体酸化亜鉛の多結晶薄膜において、構成原子の積層構造が異なる結晶極性と結晶格子の歪によって引き起こされるピエゾ分極効果を制御し、ピエゾ効果による変調がドーピング特性に与える影響を解明しようとするものである。ナノレベルの金属薄膜による多結晶薄膜結晶構造の制御、硬X線光電子分光法による埋もれた界面の化学状態評価といった特徴ある技術を駆使しながら、高濃度ドープ透明導電膜の成膜における電気特性を決定する支配因子を明らかにするとともに、基板の曲げ応力による新しい物性発現も探索する。