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Fast deposition of hydrogenated amorphous carbon films with high density and low stress

Research Project

Project/Area Number 24KJ1810
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeMulti-year Fund
Section国内
Review Section Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

小野 晋次郎  九州大学, システム情報科学府, 特別研究員(DC1)

Project Period (FY) 2024-04-23 – 2027-03-31
Project Status Granted (Fiscal Year 2024)
Budget Amount *help
¥2,300,000 (Direct Cost: ¥2,300,000)
Fiscal Year 2026: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2025: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2024: ¥600,000 (Direct Cost: ¥600,000)
Outline of Research at the Start

水素化アモルファスカーボン(a-C:H)は、ドライエッチングほか様々な用途の保護膜の重要な材料である。薄膜堆積では、材料分子の選択幅の広さや大面積化の容易さなどからプラズマ化学気相堆積法は主要な堆積法のひとつとして産業的に用いられている。高速製膜では、一分子あたりの炭素数が多い高次炭化水素分子が有利であるが、検討された例は少なく、材料選択の指導原理は確立していない。本研究では、安価に入手可能で1分子中炭素原子数の多いクメン(C9H12)に焦点を当てその堆積機構を解明するとともに、他の材料分子との比較から、材料分子選択の指導原理を明らかにする。

URL: 

Published: 2024-04-24   Modified: 2024-07-03  

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