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Development of a novel 2D MEMS mirror combining different materials

Research Project

Project/Area Number 26289067
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypePartial Multi-year Fund
Section一般
Research Field Intelligent mechanics/Mechanical systems
Research InstitutionGunma University (2015-2016)
Kagawa University (2014)

Principal Investigator

Suzuki Takaaki  群馬大学, 理工学研究科, 准教授 (10378797)

Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) OOHIRA Fumikazu  香川大学, 社会連携・知的財産センター, 教授 (80325315)
SHIMOKAWA Fusao  香川大学, 工学部, 教授 (90580598)
NAMAZU Takahiro  愛知工業大学, 工学部, 教授 (90347526)
Project Period (FY) 2014-04-01 – 2017-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2016)
Budget Amount *help
¥16,640,000 (Direct Cost: ¥12,800,000、Indirect Cost: ¥3,840,000)
Fiscal Year 2016: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2015: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2014: ¥7,280,000 (Direct Cost: ¥5,600,000、Indirect Cost: ¥1,680,000)
Keywordsナノマイクロメカトロニクス / MEMS / ミラー / 異種材料 / マイクロ・ナノデバイス / マイクロファブリケーション / フォトリソグラフィ
Outline of Final Research Achievements

Raster scan type MEMS mirrors are expected to be applied to various fields. For the purpose of large deflection angle drive, miniaturization, low power consumption, and high impact resistance of the MEMS mirror, we proposed a novel MEMS mirror configuration combining heterogeneous materials of silicon / polymer on hinges. Specifically, we fabricated and evaluated two types of MEMS mirrors; 1) a Lorentz driven MEMS mirror with a hybrid configuration combining different materials, and 2) a MEMS mirror integrated with a magnetically induced electromotive force type sensor coil.

Report

(4 results)
  • 2016 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2015 Annual Research Report
  • 2014 Annual Research Report
  • Research Products

    (45 results)

All 2016 2015 2014 Other

All Journal Article (7 results) (of which Peer Reviewed: 6 results,  Acknowledgement Compliant: 5 results,  Open Access: 1 results) Presentation (35 results) (of which Int'l Joint Research: 8 results,  Invited: 10 results) Remarks (3 results)

  • [Journal Article] Development of Magnetically Driven Microvalve Using Photosensitive SU-8/Fe Composite2016

    • Author(s)
      J. Suzuki, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, H. Miyagawa and T. Suzuki
    • Journal Title

      International Journal of Applied Electromagnetics and Mechanics

      Volume: 52 Issue: 3-4 Pages: 1585-1590

    • DOI

      10.3233/jae-162186

    • Related Report
      2016 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Development of a local light stimulation device integrated with micro electrode array2016

    • Author(s)
      Hidetaka Ueno, Shoji Komai, Kyohei Terao, Hidekuni Takao, Fusao Shimokawa, Hidetoshi Kotera, and Takaaki Suzuki
    • Journal Title

      Mechanical Engineering Journal

      Volume: 3 Issue: 4 Pages: 15-00570-15-00570

    • DOI

      10.1299/mej.15-00570

    • NAID

      130005169834

    • ISSN
      2187-9745
    • Related Report
      2016 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Development of a two-dimensional scanning micro-mirror utilizing magnetic polymer composite2016

    • Author(s)
      Junya Suzuki, Yoshiyuki Onishi, Kyohei Terao, Hidekuni Takao, Fusao Shimokawa, Fumikazu Oohira, Hayato Miyagawa, Takahiro Namazu, and Takaaki Suzuki
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics

      Volume: 55 Issue: 6S1 Pages: 06GP01-06GP01

    • DOI

      10.7567/jjap.55.06gp01

    • NAID

      210000146681

    • Related Report
      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Development of magnetically driven micro valve using SU-8/Fe composite2015

    • Author(s)
      鈴木淳也,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,大平文和,鈴木孝明
    • Journal Title

      Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics

      Volume: 23 Issue: 2 Pages: 407-413

    • DOI

      10.14243/jsaem.23.407

    • NAID

      130005098688

    • ISSN
      0919-4452, 2187-9257
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      2015 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Development of low-fluorescence thick photoresist for high-aspect-ratio microstructure in bio-application2015

    • Author(s)
      H. Tamai, K. Maruo, H. Ueno, K. Terao, H. Kotera, and T. Suzuki
    • Journal Title

      Biomicrofluidics

      Volume: 9 Issue: 2

    • DOI

      10.1063/1.4917511

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      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Acknowledgement Compliant
  • [Journal Article] Development of an electromagnetic micropump with photosensitive magnetic nanocomposite2014

    • Author(s)
      植田勇作,中原佐,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,大平文和,小寺秀俊,鈴木孝明
    • Journal Title

      Journal of the Japan Society of Applied Electromagnetics and Mechanics

      Volume: 22 Issue: 2 Pages: 202-207

    • DOI

      10.14243/jsaem.22.202

    • NAID

      130004698695

    • ISSN
      0919-4452, 2187-9257
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      2014 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 感光性磁気ナノコンポジットを用いた磁気駆動MEMSデバイス2014

    • Author(s)
      鈴木孝明,大平文和
    • Journal Title

      まぐね(日本磁気学会)

      Volume: 9 Pages: 217-222

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      2014 Annual Research Report
    • Acknowledgement Compliant
  • [Presentation] Development of Portable Microfluidic Systems for Trapping Floting Cells2016

    • Author(s)
      N. Furuya, T. Shimagami, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, K. Akimitsu, and T. Suzuki
    • Organizer
      International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016
    • Place of Presentation
      Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-12-16
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      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Simple Process Design for Polymer MEMS2016

    • Author(s)
      Takaaki Suzuki
    • Organizer
      International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016
    • Place of Presentation
      Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan
    • Year and Date
      2016-12-16
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      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 単一細胞マイクロアレイの孔形状が固定効率に及ぼす影響2016

    • Author(s)
      古谷尚輝, 島上卓也, 佐藤竜偉, 寺尾京平, 高尾 英邦, 下川 房男, 秋光和也, 鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      平戸文化センター(長崎県平戸市)
    • Year and Date
      2016-10-24
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      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] Fabrication Method for Three-Dimensional Polymer Microstructures Using Inclined Exposure and Oxygen Plasma Ashing2016

    • Author(s)
      H. Ueno, and T. Suzuki
    • Organizer
      International Conference on Advanced Engineering and Its Education in 2016
    • Place of Presentation
      Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan
    • Year and Date
      2016-10-13
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      2016 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 円形マイクロメッシュ構造を用いた高速染色体伸張解析デバイスの開発2016

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会
    • Place of Presentation
      東北大学川内北キャンパス(宮城県仙台市)
    • Year and Date
      2016-03-16
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      2015 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 流体操作機構を集積化した小型細胞固定デバイスの開発2016

    • Author(s)
      古谷尚輝、島上卓也、寺尾京平、高尾英邦、下川房男、秋光和也、鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会IIP2016 情報・知能・精密機器部門(IIP 部門)講演会
    • Place of Presentation
      東洋大学 白山キャンパス(東京都文京区)
    • Year and Date
      2016-03-14
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 神経細胞ネットワーク解析に向けた局所光刺激・多点電位計測デバイスの開発2016

    • Author(s)
      上野秀貴、駒井章治、寺尾京平、高尾英邦、下川房男、小寺秀俊、鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会IIP2016 情報・知能・精密機器部門(IIP 部門)講演会
    • Place of Presentation
      東洋大学 白山キャンパス(東京都文京区)
    • Year and Date
      2016-03-14
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 3次元UV リソグラフィとそのバイオ応用2016

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      第22回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム
    • Place of Presentation
      パシフィコ横浜(横浜市)
    • Year and Date
      2016-02-02
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    • Invited
  • [Presentation] 3次元リソグラフィ技術とそのマイクロデバイス応用2016

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      次世代産業研究シーズカンファレンス2016
    • Place of Presentation
      ビエント高崎(群馬県高崎市)
    • Year and Date
      2016-01-19
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      2015 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] ポリマーMEMSのプロセス設計2016

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      平戸文化センター(長崎県平戸市)
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    • Invited
  • [Presentation] バイオ及び医療向けマイクロ/ナノデバイスに関する研究2016

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会第4回量子ビームを用いた高次ナノ階層構造創成とバイオメディカル応用技術調査専門委員会
    • Place of Presentation
      岡山理科大学(岡山県岡山市)
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      2016 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] Three-Dimensional UV Photolithography Using Thick Photoresist for Microsystems2016

    • Author(s)
      Takaaki Suzuki
    • Organizer
      The 11th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
    • Place of Presentation
      Matsushima bay, Sendai, Japan
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    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Design and Control of a Large Deflection Polymer-MEMS Mirror2016

    • Author(s)
      F. Ueno, T. Tsukamoto, Y. Umino, H. Yamashita, H. Kawai, F. Shimokawa, S. Shiomi, K. Yamada and T. Suzuki
    • Organizer
      8th International Conference on Advanced Micro-Device Engineering
    • Place of Presentation
      Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 感光性磁気ナノコンポジットを用いた磁気駆動メンブレンのオンチップ集積化2016

    • Author(s)
      鈴木孝明,鈴木淳也,植田勇作,下川房男,潮見幸江,山田 功
    • Organizer
      日本機械学会 2016年度年次大会
    • Place of Presentation
      九州大学伊都キャンパス(福岡県福岡市)
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      2016 Annual Research Report
  • [Presentation] 細胞接着技術を用いた細胞配列マイクロアレイ2016

    • Author(s)
      鈴木孝明,寺村裕治,北濵若奈,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,上野秀貴
    • Organizer
      電気学会バイオ・マイクロシステム研究会
    • Place of Presentation
      東京大学生産技術研究所(東京都目黒区)
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  • [Presentation] Development of a two-dimensional scanning micro-mirror utilizing magnetic polymer composite2015

    • Author(s)
      Junya Suzuki, Yoshiyuki Onishi, Kyohei Terao, Hidekuni Takao, Fusao Shimokawa, Fumikazu Oohira, Hayato Miyagawa, Takahiro Namazu, and Takaaki Suzuki
    • Organizer
      The 28th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • Place of Presentation
      Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
    • Year and Date
      2015-11-10
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      2015 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 周波数変調された可動板を用いたマイクロ流体制御技術2015

    • Author(s)
      河合駿,山下紘史,寺尾京平,高尾英邦,山田功,下川房男,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 回転傾斜露光法とPDMS モールディングを用いたDNAファイバ解析チップの作製2015

    • Author(s)
      北野広大,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,大平文和,鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Si/polymer/glass チップを用いた神経細胞組織内局所光刺激デバイスの開発2015

    • Author(s)
      上野秀貴,駒井章治,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,小寺秀俊,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 植物細胞向けμ EP チップにおける印加電圧の最適化2015

    • Author(s)
      古谷尚輝,島上卓也,下川房男,寺尾京平,高尾英邦,秋光和也,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 結晶異方性プラズマエッチング法によるSP 共鳴波長変調アクチュエータの作製2015

    • Author(s)
      香川大地,鏡原照正,下川房男,高尾英邦,寺尾京平,山口堅三,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 厚膜スプレーコート法のモデル化による高精度膜厚制御2015

    • Author(s)
      藤原清,赤松幹夫,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] 環境負荷を考慮した不活性ガスによるメタルドライエッチング法とその応用2015

    • Author(s)
      濱治慶,藤原哲嗣,下川房男,小寺秀俊,迚野泰一,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • Year and Date
      2015-10-28
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Development of Magnetically Driven Microvalve Using Photosensitive Magnetic SU-8/Fe Composite2015

    • Author(s)
      J. Suzuki, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, T. Suzuki
    • Organizer
      The 17th International Symposium on Applied Electromagnetics and Mechanics (ISEM)
    • Place of Presentation
      Awaji Yumebutai International Conference Center, Kobe, Japan
    • Year and Date
      2015-09-15
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] BioMEMS向け厚膜フォトレジストの開発2015

    • Author(s)
      鈴木孝明, 圓尾且也, 上野秀貴, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 小寺秀俊
    • Organizer
      電気学会フィジカルセンサ/バイオ・マイクロシステム合同研究会
    • Place of Presentation
      機械振興会館(東京都港区)
    • Year and Date
      2015-08-03
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      2015 Annual Research Report
  • [Presentation] Development of a local light stimulation device integrated with micro electrode array2015

    • Author(s)
      H. Ueno, S. Komai, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, H. Kotera, and T. Suzuki
    • Organizer
      2015 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE2015)
    • Place of Presentation
      Kobe International Conference Center, Kobe, Japan
    • Year and Date
      2015-06-14
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    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] SU-8/Feコンポジットを用いた磁気駆動型マイクロバルブの製作2014

    • Author(s)
      鈴木淳也,寺尾京平,高尾英邦,下川房男,大平文和,鈴木孝明
    • Organizer
      第23回MAGDAコンファレンス in 高松
    • Place of Presentation
      サンポートホール高松(香川県高松市)
    • Year and Date
      2014-12-04 – 2014-12-05
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      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 感光性磁気ナノ複合材料を用いた電磁マイクロポンプの送液特性に関する研究2014

    • Author(s)
      植田勇作、中原佐、寺尾京平、高尾英邦、下川房男、 大平文和、小寺秀俊、鈴木孝明
    • Organizer
      第23回MAGDAコンファレンス in 高松
    • Place of Presentation
      サンポートホール高松(香川県高松市)
    • Year and Date
      2014-12-04 – 2014-12-05
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  • [Presentation] 3次元UVリソグラフィとそのバイオ応用2014

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      新化学技術推進協会 電子情報技術部会 マイクロナノシステムと材料・加工分科会講演会
    • Place of Presentation
      新化学技術推進協会
    • Year and Date
      2014-11-20
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    • Invited
  • [Presentation] Development of Low Fluorescence Thick Photoresist for High Aspect Ratio Microstructures in Bio Application2014

    • Author(s)
      H. Tamai, K. Maruo, H. Kotera and T. Suzuki
    • Organizer
      IEEE the 8th International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering
    • Place of Presentation
      Kaohsiung, Taiwan
    • Year and Date
      2014-11-09 – 2014-11-12
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      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 低自家蛍光な厚膜フォトレジストの特性評価と染色体分析デバイスへの応用2014

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      玉井秀隆,圓尾且也,寺尾京平,小寺秀俊,鈴木孝明
    • Organizer
      電気学会 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • Place of Presentation
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • Year and Date
      2014-10-20 – 2014-10-22
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      2014 Annual Research Report
  • [Presentation] 回転傾斜露光法によるデバイス一括製造とそのバイオ応用2014

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」事業 微細加工プラットフォームコンソーシアム 3次元造形&薄膜実践セミナー
    • Place of Presentation
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • Year and Date
      2014-09-26
    • Related Report
      2014 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 低粘度厚膜フォトレジストを用いた高精度スプレー塗布法の開発2014

    • Author(s)
      藤原清, 赤松幹夫, 幸田尚子, 寺尾京平, 高尾英邦, 下川房男, 鈴木孝明
    • Organizer
      日本機械学会 2014年度年次大会
    • Place of Presentation
      東京電機大学(東京都)
    • Year and Date
      2014-09-09
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    • Author(s)
      H. Yamashita, K. Terao, H. Takao, F. Shimokawa, F. Oohira, and T. Suzuki
    • Organizer
      IEEE Optical MEMS & Nanophotonics Conference
    • Place of Presentation
      Glasgow, Scotland
    • Year and Date
      2014-08-17 – 2014-08-21
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  • [Presentation] 3次元UVリソグラフィを用いたバイオデバイス開発2014

    • Author(s)
      鈴木孝明
    • Organizer
      第44回国際電子回路産業展(JPCAshow2014) 最先端実装技術シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京ビッグサイト
    • Year and Date
      2014-06-04
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    • Invited
  • [Remarks] 群馬大学 鈴木孝明研究室ホームページ

    • URL

      http://mems.mst.st.gunma-u.ac.jp/

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  • [Remarks] 群馬大学 鈴木孝明研究室

    • URL

      http://mems.mst.st.gunma-u.ac.jp/

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  • [Remarks] 香川大学 鈴木孝明研究室

    • URL

      http://www.eng.kagawa-u.ac.jp/~suzuki/

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Published: 2014-04-04   Modified: 2018-03-22  

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