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MEMS技術を用いた低雑音・高空間分解能なガス飛跡検出器に向けた基礎開発

Publicly Offered Research

Project AreaRevealing the history of the universe with underground particle and nuclear research
Project/Area Number 17H05199
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research on Innovative Areas (Research in a proposed research area)

Allocation TypeSingle-year Grants
Review Section Science and Engineering
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

高田 淳史  京都大学, 理学研究科, 助教 (90531468)

Project Period (FY) 2017-04-01 – 2019-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2018)
Budget Amount *help
¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
Fiscal Year 2018: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Fiscal Year 2017: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000)
Keywordsガス検出器 / MEMS技術 / 放射線検出器 / 暗黒物質探索実験 / 素粒子実験
Outline of Annual Research Achievements

低放射線雑音化を目指して開発を進めたThrough Silicon Via(TSV) μ-PICであったが、基板が半導体であるために基板内での電荷移動が起き、得られるガス利得の時間安定性に大きな不定性を生じてしまった。この為、絶縁体であるガラス基板を用いたThrough Glass Via(TGV) μ-PICを400 μmピッチと215 μmピッチの2つ製作し、その評価を行った。400 μmピッチの物は低雑音化前のポリイミド基板によるμ-PICと同程度のガス利得が得られた。215 μmピッチも良好に動作し、中性子ビームを用いた画像化では100 μmを切る高解像度の透過イメージも確認された。一方で、400 μmのガス利得はシミュレーションから予想されていた値よりも数倍低かった。検証を進めたところ、シミュレーションで使用するガラスの誘電率に仕様書記載の1 MHzでの値(~3)を用いていたが、実際に影響するDC成分に対する誘電率は~30とそれよりも大きく、またガラス表面に塗布していたポリイミドとの誘電率の違いが陽極への電場集中を妨げている、という事が見えてきた。この為、ポリイミドが無いTGV μ-PICも作成した所、ガス利得は1.6倍程に、エネルギー分解能も5.9 keVで18%(FWHM)と大きな改善が見られた。更に表面のポリイミドが無くなった為、放電に対する耐性も強くなり、TGV μ-PIC単独で15,000のガス利得を連続して1日以上得ることができるようになった。今後、ガラス基板の低雑音化の為、人工石英ガラス基板の導入を検討する。
荷電粒子飛跡の高精度化に向けては、現行のμ-PICのX軸とY軸の2方向へストリップ読み出しに対して、3軸目を新たに導入すべく陰極を上下2段にした新しい電極構造を検討した。シミュレーションから良好な結果が得られた為、実際の製作検討を開始した。

Research Progress Status

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

平成30年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2018 Annual Research Report
  • 2017 Annual Research Report
  • Research Products

    (8 results)

All 2019 2018 2017

All Journal Article (1 results) (of which Peer Reviewed: 1 results,  Open Access: 1 results) Presentation (7 results)

  • [Journal Article] Development of the micro pixel chamber based on MEMS technology2018

    • Author(s)
      Takemura T.、Takada A.、Kishimoto T.、Komura S.、Kubo H.、Matsuoka Y.、Miuchi K.、Miyamoto S.、Mizumoto T.、Mizumura Y.、Motomura T.、Nakamasu Y.、Nakamura K.、Oda M.、Ohta K.、Parker J. D.、Sawano T.、Sonoda S.、Tanimori T.、Tomono D.、Yoshikawa K.
    • Journal Title

      EPJ Web of Conferences

      Volume: 174 Pages: 02010-02010

    • DOI

      10.1051/epjconf/201817402010

    • Related Report
      2017 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Presentation] ガラス基板を用いたμ-PICの開発2019

    • Author(s)
      阿部 光
    • Organizer
      アクティブ媒質TPC開発座談会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MEMS技術を用いた低雑音・高空間分解能なガス飛跡検出器に向けた基礎開発2019

    • Author(s)
      高田 淳史
    • Organizer
      第五回極低放射能技術研究会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 電子飛跡決定精度向上に向けた 3軸μ-PICのシミュレーションでの性能評価2018

    • Author(s)
      阿部 光
    • Organizer
      日本物理学会2018年秋季大会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] 低電圧高ガスゲインを目指したガラスμ-PICの開発2018

    • Author(s)
      阿部 光
    • Organizer
      第15回Micro-Pattern Gas Detector研究会
    • Related Report
      2018 Annual Research Report
  • [Presentation] MEMS技術を用いた低雑音・高空間分解能なガス飛跡検出器に向けた基礎開発2018

    • Author(s)
      谷口 幹幸
    • Organizer
      宇宙の歴史をひもとく地下素粒子原子核研究 極低放射技術研究会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] MEMS技術を用いた低雑音・高空間分解能なガス飛跡検出器に向けた基礎開発2017

    • Author(s)
      高田 淳史
    • Organizer
      宇宙の歴史をひもとく地下素粒子原子核研究 2017年領域研究会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report
  • [Presentation] MEMS技術による5cm角μ-PICの性能評価2017

    • Author(s)
      谷口 幹幸
    • Organizer
      日本物理学会 2017年秋季大会
    • Related Report
      2017 Annual Research Report

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Published: 2017-04-28   Modified: 2019-12-27  

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