• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

Ⅲ族窒化物ナノラミネート特異構造を用いたダイヤモンド電子デバイスの開発

計画研究

研究領域特異構造の結晶科学:完全性と不完全性の協奏で拓く新機能エレクトロニクス
研究課題/領域番号 16H06419
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関国立研究開発法人物質・材料研究機構

研究代表者

小出 康夫  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, グループリーダー (70195650)

研究分担者 劉 江偉  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 独立研究者 (30732119)
廖 梅勇  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主幹研究員 (70528950)
井村 将隆  国立研究開発法人物質・材料研究機構, 機能性材料研究拠点, 主任研究員 (80465971)
研究期間 (年度) 2016-06-30 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
80,340千円 (直接経費: 61,800千円、間接経費: 18,540千円)
2020年度: 9,620千円 (直接経費: 7,400千円、間接経費: 2,220千円)
2019年度: 9,620千円 (直接経費: 7,400千円、間接経費: 2,220千円)
2018年度: 9,490千円 (直接経費: 7,300千円、間接経費: 2,190千円)
2017年度: 14,040千円 (直接経費: 10,800千円、間接経費: 3,240千円)
2016年度: 37,570千円 (直接経費: 28,900千円、間接経費: 8,670千円)
キーワードダイヤモンド / Ⅲ族窒化物 / ヘテロ接合 / ナノラミネート構造 / 電界効果トランジスタ / III族窒化物 / ナノラミネート薄膜 / II族窒化物 / トランジスタ / III族窒化物
研究成果の概要

原子層堆積型MOVPE法を整備し、有機金属化合物およびアンモニアをパルス供給することによるⅢ族窒化物半導体の原子層堆積法を確立した。[AlN(0.2nm)/GaN(0.04nm)](250対)のナノラミネート膜を成長させ、同程度膜厚のAlN単層膜に比べて3.6倍の誘電率増加を観測し、Ⅲ族窒化物半導体のナノラミネート膜における誘電率の増大効果を世界で初めて実証した。ダイヤモンドFETへの応用は達成できなかったが、海外共同研究成果としてTiOx[xnm]/AlOx[y nm](x, y = 1~2 nm)ナノラミネート膜をゲート構造に応用したダイヤモンドMOSFETを初めて試作し動作に成功した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

次世代省エネルギーパワー半導体の候補材料として、熱放散性や熱安定性の高いダイヤモンド電界効果トランジスタを開発することを目的とした。AlN/GaNナノラミネート膜を作製し、同程度膜厚のAlN単層膜に比べて3.6倍の誘電率増加を観測し、III族窒化物半導体のナノラミネート膜における誘電率の増大効果を世界で初めて実証するとともに、高誘電率TiOx/AlOxナノラミネート膜をゲート構造に応用したダイヤモンドMOSFETを初めて試作し動作に成功した。誘電率増大化の学術的メカニズムは今後のパワー半導体デバイスに展開する基礎となることが示唆された。

報告書

(6件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (60件)

すべて 2021 2020 2019 2018 2017 2016 その他

すべて 国際共同研究 (2件) 雑誌論文 (30件) (うち国際共著 18件、 査読あり 30件、 オープンアクセス 2件、 謝辞記載あり 5件) 学会発表 (22件) (うち国際学会 15件、 招待講演 17件) 図書 (3件) 備考 (3件)

  • [国際共同研究] Department of MSE/University of Texas, Dallas(米国)

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [国際共同研究] Orlando Auciello教授/テキサス大学ダラス校(米国)

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [雑誌論文] Fixed charges investigation in Al2O3/hydrogenated-diamond metal-oxide-semiconductor capacitors2020

    • 著者名/発表者名
      J. W. Liu, H. Oosato, B. Da, Y. Koide
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 117 号: 16 ページ: 163502-163502

    • DOI

      10.1063/5.0023086

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Science and Technology of Integrated Super-High Dielectric Constant AlOx/TiOy Nanolaminates / Diamond for MOS Capacitors and MOSFETs2020

    • 著者名/発表者名
      Jiangwei Liu, Orlando Auciello, Elida de Obaldia, Bo Da, Yasuo Koide
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 172 ページ: 112-121

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2020.10.031

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Enhanced magnetic sensing performance of diamond MEMS magnetic sensor with boron-doped FeGa film2020

    • 著者名/発表者名
      Zilong Zhang, Liwen Sang, Jian Huang, Waiyan Chen, Linjun Wang, Yukiko Takahashi, Seiji Mitani, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao
    • 雑誌名

      Carbon

      巻: 170 ページ: 294-301

    • DOI

      10.1016/j.carbon.2020.08.049

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Precise characterization of atomic-scale corrosion of single crystal diamond in H2 plasma based on MEMS/NEMS2020

    • 著者名/発表者名
      Wu Haihua、Zhang Zilong、Sang Liwen、Li Tiefu、You Jianqiang、Imura Masataka、Koide Yasuo、Liao Meiyong
    • 雑誌名

      Corrosion Science

      巻: 170 ページ: 108651-108651

    • DOI

      10.1016/j.corsci.2020.108651

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Thermal stability investigation for Ohmic contact properties of Pt, Au, and Pd electrodes on the same hydrogen-terminated diamond2020

    • 著者名/発表者名
      Xiaolu Yuan, Jiangwei Liu, Siwu Shao, Jinlong Liu, Junjun Wei, Bo Da, Chengming Li, Yasuo Koide
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 10 号: 5 ページ: 55114-55114

    • DOI

      10.1063/5.0008167

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Enhancing Delta E Effect at High Temperatures of Galfenol/Ti/Single-Crystal Diamond Resonators for Magnetic Sensing2020

    • 著者名/発表者名
      Zilong Zhang, Haihua Wu, Liwen Sang, Yukiko Takahashi, Jian Huang, Linjun Wang, Masaya Toda, Indianto Mohammad Akita, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials & Interfaces

      巻: 12 号: 20 ページ: 23155-23164

    • DOI

      10.1021/acsami.0c06593

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Coupling of magneto-strictive FeGa film with single-crystal diamond MEMS resonator for high-reliability magnetic sensing at high temperatures2020

    • 著者名/発表者名
      Zhang Zilong、Wu Yuanzhao、Sang Liwen、Wu Haihua、Huang Jian、Wang Linjun、Takahashi Yukiko、Li Runwei、Koizumi Satoshi、Toda Masaya、Akita Indianto Mohammad、Koide Yasuo、Liao Meiyong
    • 雑誌名

      Materials Research Letters

      巻: 8 号: 5 ページ: 180-186

    • DOI

      10.1080/21663831.2020.1734680

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effect of Annealing Temperature on Performances of Boron-Doped Diamond Metal-Semiconductor Field-Effect Transistors2020

    • 著者名/発表者名
      Liu Jiangwei、Teraji Tokuyuki、Da Bo、Ohsato Hirotaka、Koide Yasuo
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Electron Devices

      巻: 67 号: 4 ページ: 1680-1685

    • DOI

      10.1109/ted.2020.2972979

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electrical readout/characterization of single crystal diamond (SCD) cantilever resonators2020

    • 著者名/発表者名
      Wu Haihua、Zhang Zilong、Sang Liwen、Li Tiefu、You Jianqiang、Lu Yingjie、Koide Yasuo、Liao Meiyong
    • 雑誌名

      Diamond and Related Materials

      巻: 103 ページ: 107711-107711

    • DOI

      10.1016/j.diamond.2020.107711

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Operations of hydrogenated diamond metal-oxide-semiconductor field-effect transistors after annealing at 500 C2019

    • 著者名/発表者名
      J-W Liu, H Oosato, B Da, T Teraji, A Kobayashi, H Fujioka, Y Koide
    • 雑誌名

      J. Physics D: Applied Physics

      巻: 52 号: 31 ページ: 315104-315104

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ab1e31

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Current Output Hydrogenated Diamond Triple-Gate MOSFETs2019

    • 著者名/発表者名
      Liu Jiangwei、Ohsato Hirotaka、Da Bo、Koide Yasuo
    • 雑誌名

      IEEE Journal of the Electron Devices Society

      巻: 7 ページ: 561-565

    • DOI

      10.1109/jeds.2019.2915250

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High Output Current Boron-Doped Diamond Metal-Semiconductor Field-Effect Transistors2019

    • 著者名/発表者名
      Liu Jiangwei、Teraji Tokuyuki、Da Bo、Koide Yasuo
    • 雑誌名

      IEEE Electron Device Letters

      巻: 40 号: 11 ページ: 1748-1751

    • DOI

      10.1109/led.2019.2942967

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-k oxides on hydrogenated-diamond for metal-oxide-semiconductor field-effect transistors2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 雑誌名

      IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures

      巻: March ページ: 40-46

    • DOI

      10.1109/icmts.2019.8730974

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Threshold Voltage Instability of Diamond Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors Based on 2D Hole Gas2019

    • 著者名/発表者名
      M. Yang, L. Sang, M. Y. Liao, M. Imura, H. Li, Y. Koide
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

      巻: 216 号: 24 ページ: 1900538-1900538

    • DOI

      10.1002/pssa.201900538

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Energy‐Efficient Metal-Insulator-Metal‐Semiconductor Field‐Effect Transistors Based on 2D Carrier Gases2019

    • 著者名/発表者名
      Liao Meiyong、Sang Liwen、Shimaoka Takehiro、Imura Masataka、Koizumi Satoshi、Koide Yasuo
    • 雑誌名

      Advanced Electronic Materials

      巻: 1 号: 5 ページ: 1800832-1800832

    • DOI

      10.1002/aelm.201800832

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Annealing effects on hydrogenated diamond NOR logic circuits2018

    • 著者名/発表者名
      Jiangwei Liu, Hirotaka, Oosato, Meiyong Liao, Masataka Imura, Eiichiro Watanabe, Yasuo Koide
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 112 号: 15 ページ: 153501-153501

    • DOI

      10.1063/1.5022590

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] A density functional study of the effect of hydrogen on electronic properties and band discontinuity at anatase TiO2/diamond interface2018

    • 著者名/発表者名
      Kongping Wu, Meiyong Liao, Liwen Sang, Jiangwei Liu, Masataka Imura, Haitao Ye, Yasuo Koide
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 123 号: 16 ページ: 161599-161599

    • DOI

      10.1063/1.5002176

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Surface and Bulk Electronic Structures of Unintentionally and Mg Doped In0.7Ga0.3N Epilayer by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy2018

    • 著者名/発表者名
      M. Imura, S. Tsuda, H. Takeda, T. Nagata, R. G. Banal, H. Yoshikawa, A. Yang, Y. Yamashita, K. Kobayashi, Y. Koide, T. Yamaguchi, M. Kaneko, N. Uematsu, K. Wang, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 123 号: 9 ページ: 095701-1

    • DOI

      10.1063/1.5016574

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] An overview of high-k oxides on hydrogenated-diamond for metal-oxide-semiconductor capacitors and field-effect transistors2018

    • 著者名/発表者名
      J. Liu and Y. Koide
    • 雑誌名

      SENSORS

      巻: 18

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] 窒化アルミニウム/ダイヤモンドヘテロ構造形成技術の開発と界面特異構造評価2018

    • 著者名/発表者名
      井村将隆,バナルライアン,廖梅勇,松本隆夫,熊本明仁,柴田直哉,幾原雄一,小出康夫
    • 雑誌名

      日本結晶成長学会誌

      巻: 45 号: 1 ページ: n/a

    • DOI

      10.19009/jjacg.3-45-1-05

    • NAID

      130006727551

    • ISSN
      0385-6275, 2187-8366
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Logic Circuits With Hydrogenated Diamond Field-Effect Transistors2017

    • 著者名/発表者名
      J. Liu, H. Ohsato, M. Liao, M. Imura, E. Watanabe, and Y. Koide
    • 雑誌名

      Ieee Electron Device Letters

      巻: 38 号: 7 ページ: 922-925

    • DOI

      10.1109/led.2017.2702744

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Enhancement-mode hydrogenated diamond metal-oxide-semiconductor field-effect transistors with Y2O3 oxide insulator grown by electron beam evaporator2017

    • 著者名/発表者名
      Liu J. W.、Oosato H.、Liao M. Y.、Koide Y.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 110 号: 20 ページ: 203502-203502

    • DOI

      10.1063/1.4983091

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Deposition of TiO 2/Al 2O 3bilayer on hydrogenated diamond for electronic devices: Capacitors, field-effect transistors, and logic inverters2017

    • 著者名/発表者名
      J.W. Liu, M.Y. Liao, M. Imura, R.G. Banal, and Y. Koide
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 121 号: 22 ページ: 224502-11

    • DOI

      10.1063/1.4985066

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Surface and Bulk Electronic Structures of Heavily Mg-doped InN Epilayer by Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy2017

    • 著者名/発表者名
      M. Imura, S. Tsuda, T. Nagata, R. G. Banal, H. Yoshikawa, A. Yang, Y. Yamashita, K. Kobayashi, Y. Koide, T. Yamaguchi, M. Kaneko, N. Uematsu, K. Wang, T. Araki, and Y. Nanishi
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 121 号: 9 ページ: 095703-095703

    • DOI

      10.1063/1.4977201

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Effect of Sputter Deposition Atmosphere of AlN on the Electrical Properties of Hydrogen-Terminated Diamond Field Effect Transistor with AlN/Al2O3 Stack Gate2017

    • 著者名/発表者名
      R.G. Banal, M. Imura, H. Ohata, M. Liao, J. Liu, and Y. Koide
    • 雑誌名

      Physica Status Solidi A

      巻: 214 号: 11 ページ: 1700463-1700463

    • DOI

      10.1002/pssa.201700463

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effect of off-cut angle of hydrogen-terminated diamond(111) substrate on the quality of AlN towards high-density AlN/diamond(111) interface hole channel2017

    • 著者名/発表者名
      Masataka Imura, Ryan G. Banal, Meiyong Liao, Jiangwei Liu, Takashi Aizawa, Akihiro Tanaka, Hideo Iwai, Takaaki Mano, and Yasuo Koide
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 121 号: 2 ページ: 025702-025702

    • DOI

      10.1063/1.4972979

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Design and fabrication of highperformance diamond triple-gate field-effect transistors2016

    • 著者名/発表者名
      Jiangwei Liu, Hirotaka Ohsato, Xi Wang, Meiyong Liao, and Yasuo Koide
    • 雑誌名

      Sci. Reprots

      巻: 6 号: 1 ページ: 34757-34757

    • DOI

      10.1038/srep34757

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Structural properties and transfer characteristics of sputter deposition AlN and atomic layer deposition Al2O3 bilayer gate materials for H-terminated diamond field effect transistors2016

    • 著者名/発表者名
      Ryan G. Banal, Masataka Imura, Jiangwei Liu, and Yasuo Koide,
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 120 号: 11 ページ: 115307-115307

    • DOI

      10.1063/1.4962854

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] High-k ZrO2/Al2O3 bilayer on hydrogenated diamond: Band configuration, breakdown field, and electrical properties of field-effect transistors2016

    • 著者名/発表者名
      J. W. Liu, M. Y. Liao, M. Imura, and Y.Koide
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 120 号: 12 ページ: 124504-124504

    • DOI

      10.1063/1.4962851

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Nanometer-thin ALD-Al2O3 for the improvement of structural quality of AlN grown on sapphire substrate by MOVPE2016

    • 著者名/発表者名
      Ryan G. Banal, Masataka Imura,1, Daiju Tsuya, Hideo Iwai, and Yasuo Koide
    • 雑誌名

      Phys. Status Solidi A

      巻: 217 号: 2 ページ: 1600727-1600727

    • DOI

      10.1002/pssa.201600727

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [学会発表] Diamond MOSFETs with a super-high dielectric constant AlOx/TiOx nanolaminate insulator2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide, J. Liu, B. Da, O. Auciello, E. Obaldia
    • 学会等名
      CGCT-8, Category 10. Singularity Project,
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Ⅲ族窒化物ナノラミネート特異構造を用いたいたダイヤモンド電子デバイスの開発2021

    • 著者名/発表者名
      小出 康夫、劉 江偉、井村 将隆、廖 梅勇
    • 学会等名
      2021第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Science/Technology of Interface-Engineered Super High-K Dielectric TiOx/AlOy Nanolaminate/Crystal Diamond for New Generation High Power Electronics. Second Workshop on Diamond Electronics2020

    • 著者名/発表者名
      Orlando Auciello, LIU, Jiangwei, KOIDE, Yasuo, Elida de Obaldia, DA, Bo.
    • 学会等名
      Second Workshop on Diamond Electronics 2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Diamond Nano-/Micro-Fin Channels for Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors.2020

    • 著者名/発表者名
      LIU, Jiangwei, OOSATO, Hirotaka, DA, Bo, KOIDE, Yasuo.
    • 学会等名
      The 13th MANA International Symposium 2020 jointly with ICYS. 2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] ワイドギャップ半導体異種接合とデバイス応用2020

    • 著者名/発表者名
      小出康夫,井村将隆,劉 江偉,廖 梅勇
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Advanced diamond FET and MEMS devices2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      2020 Virtual MRS Spring/Fall Meeting & Exhibit
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Challenge to development of III-nitride Nanolaminates/Diamond Heterojunciton devices2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide, M. Imura, J. Liu, and M. Liao
    • 学会等名
      Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Science and Technology of Interface-Engineered High-K Dielectric Nanolaminate-Based Oxides / Diamond Films for New Generation High Power Electronics2019

    • 著者名/発表者名
      O. Auciello, Elida de Obaldi, Jiangwei Liu, Y. Koide
    • 学会等名
      The 13th International Conference on New Diamond and Nano Carbon (NDNC 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Advanced diamond FET and MEMS devices2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      2017 International Symposium on Single Crystal Diamond and Electronics (SCDE2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Future prospect of diamond materials for semiconductor industry in 5G era2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      4th International Carbon Materials Conference & Exposition (CarbonTech 2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] High-quality diamond epitaxial layer growth and electron devices application2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide, J.W. Liu, M. Imura, and M.Y. Liao
    • 学会等名
      SSDM2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Enhancement-mode hydrogenated diamond MOSFETs,“29th International Conference on Diamond and Carbon Materials2018

    • 著者名/発表者名
      J. Liu, M. Liao, M. Imura, Y. Koide
    • 学会等名
      ICDCM 2018
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Depletion-/enhancement-mode hydrogenated-diamond MOSFETs and MOSFET logic circuits2018

    • 著者名/発表者名
      J.W. Liu, Y. Koide
    • 学会等名
      4th E-MRS & MRS-J ;Symposium
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Electrical properties of H-terminated diamond FETs with AlN gate2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide, R. G. Banal, M. Imura, J.W. Liu, and M.Y. Liao
    • 学会等名
      4th E-MRS & MRS-J, Symposium
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Wide Bandgap III-Nitride and Diamond Devices and Characterization2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      32nd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, (ICMTS Conference)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] D/E-mode control of diamond FETs and logic circuit demonstration2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      2017 International Symposium on Single Crystal Diamond and Electronics (2017 SCDE), June 11-12, 2017, Xi'an Jiantong University, (Xi'an, Chaina)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Development of normally-on/off diamond MOSFETs and logic circuits2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      Schulich Symposium, Diamond: From fundamental properties to quantum technologies, Schulich faculty of Chemistry, Technion - Israel Institute of Technology.
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Normally-on/off control of diamond FETs and logic circuit demonstration2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide, J.W. Liu, M. Imura, and M.Y. Liao
    • 学会等名
      E-MRS, Symposium O, Diamond for electron devices II, (Warsaw, Poland)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] High-current triple-gate H-diamond MOSFET2017

    • 著者名/発表者名
      KOIDE, Yasuo, LIU, Jiangwei, LIAO, Meiyong, IMURA, Masataka.
    • 学会等名
      New Diamond and Nano Carbon Conference, (NDNC2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Microstructure and hole accumulation mechanism of AlN/Diamond(111) heterojunctions prepared by MOVPE2016

    • 著者名/発表者名
      M. Imura, R.G. Banal, M.Y. Liao, J. Liu, Y.Koide , T. Matsumoto, N. Shibata, Y. Ikuhara
    • 学会等名
      10th International International Conference on Diamond and Carbon Materials 2016 (ICDCM 2016)
    • 発表場所
      Xi'an, China
    • 年月日
      2016-09-04
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Sputter deposition AlN and atomic layer deposition Al2O3 as bilayer gate materials for Hterminated diamond field effect transistors2016

    • 著者名/発表者名
      R.G. Banal, M. Imura, J. Liu, M. Liao, and Y.Koide
    • 学会等名
      International Conference on Diamond and Carbon Materials 2016 (ICDCM 2016)
    • 発表場所
      Montpelier, France
    • 年月日
      2016-09-04
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Wide Bandgap III-Nitride and Diamond Materials and Devices2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Koide
    • 学会等名
      9th Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing (PRICM9)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan
    • 年月日
      2016-08-01
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [図書] Study of Grain Boundary Character, Chapter 32017

    • 著者名/発表者名
      Banal Ryan G.、Imura Masataka、Koide Yasuo
    • 総ページ数
      15
    • 出版者
      IntechOpen
    • ISBN
      9789535128625
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [図書] Biosensors and Biodetection, Fabrication of Hydrogenated Diamond Metal-Insulator-Semiconductor Field-Effect Transistors2017

    • 著者名/発表者名
      Liu Jiangwei、Koide Yasuo
    • 総ページ数
      15
    • 出版者
      Springer
    • ISBN
      9781493969104
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [図書] Study of Grain Boundary Character, Chapter 32016

    • 著者名/発表者名
      Ryan G. Banal, Masataka Imura and Yasuo Koide
    • 出版者
      INTECH open science/open minds
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [備考] SUMURAI 「小出康夫」

    • URL

      https://samurai.nims.go.jp/profiles/KOIDE_Yasuo/publications?locale=ja#Paper

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考] 小出康夫

    • URL

      http://yankoide.blue.coocan.jp/

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考] 小出康夫|NIMS

    • URL

      http://samurai.nims.go.jp/KOIDE_Yasuo-j.html

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書

URL: 

公開日: 2016-07-04   更新日: 2022-01-27  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi