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特異構造を含む異種接合の界面制御と電子デバイス展開

計画研究

研究領域特異構造の結晶科学:完全性と不完全性の協奏で拓く新機能エレクトロニクス
研究課題/領域番号 16H06421
研究種目

新学術領域研究(研究領域提案型)

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関北海道大学

研究代表者

橋詰 保  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 特任教授 (80149898)

研究分担者 赤澤 正道  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 准教授 (30212400)
佐藤 威友  北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 准教授 (50343009)
研究期間 (年度) 2016-06-30 – 2021-03-31
研究課題ステータス 完了 (2020年度)
配分額 *注記
59,540千円 (直接経費: 45,800千円、間接経費: 13,740千円)
2020年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
2019年度: 12,740千円 (直接経費: 9,800千円、間接経費: 2,940千円)
2018年度: 16,510千円 (直接経費: 12,700千円、間接経費: 3,810千円)
2017年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
2016年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
キーワードGaN / AlGaN / 異種接合 / C-V / MOS / 界面準位 / 電気化学エッチング / 界面制御 / CV解析 / 電子準位 / 周期的ナノチャネル / 電子捕獲準位
研究成果の概要

プラズマエッチングされたGaN表面、イオン注入されたGaN表面、高温熱処理後のGaN表面、分極効果のないGaN表面にショットキー接合およびMOS接合を形成し、詳細な電気的評価によりGaN表面に生成する電子捕獲準位を同定した。また、高誘電率と化学的安定性を同時に期待できるハフニウムシリケート (HfSiOx)を絶縁ゲートとしたAlGaN/GaN高電子移動度トランジスタ(HEMT)を作製し、しきい値電圧変動が極めて小さな電流-電圧特性を観測した。さらに、通電電極不要の光電気化学エッチングプロセスを開発し、GaN-HEMTのゲート部に適用することにより、しきい値電圧の精密制御を実現した。

研究成果の学術的意義や社会的意義

種々のプロセスに曝されたGaN表面には、特有の電子捕獲準位が生成されることが明らかになり、実際のデバイス作製時に導入される電子準位を予見し、その制御指針を立てる上で本研究成果は重要な意味を持つ。また、MOSゲート構造はトランジスタの中枢部であるため、本研究で得られたMOS界面特性の解明、光電気化学プロセスによる精密ゲート制御、MOS型高電子移動度トランジスタの安定動作は、次世代の超高周波増幅システムおよび高効率電力変換システムに対応するGaNトランジスタの研究進展に貢献すると考えられる。

報告書

(6件)
  • 2020 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2019 実績報告書
  • 2018 実績報告書
  • 2017 実績報告書
  • 2016 実績報告書
  • 研究成果

    (93件)

すべて 2021 2020 2019 2018 2017 2016 その他

すべて 雑誌論文 (30件) (うち国際共著 9件、 査読あり 30件、 オープンアクセス 11件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (57件) (うち国際学会 31件、 招待講演 18件) 備考 (5件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] Interface characterization of Al2O3/m-plane GaN structure2021

    • 著者名/発表者名
      Kaneki Shota、Hashizume Tamotsu
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 11 号: 1 ページ: 015301-015301

    • DOI

      10.1063/5.0031232

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Controlling surface/interface states in GaN-based transistors: Surface model, insulated gate, and surface passivation2021

    • 著者名/発表者名
      Joel T. Asubar, Zenji Yatabe, Dagmar Gregusova, Tamotsu Hashizume
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 129 号: 12 ページ: 121102-121102

    • DOI

      10.1063/5.0039564

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Gate controllability of HfSiOx/AlGaN/GaN MOS high-electron-mobility transistor2020

    • 著者名/発表者名
      Ochi Ryota、Maeda Erika、Nabatame Toshihide、Shiozaki Koji、Sato Taketomo、Hashizume Tamotsu
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 10 号: 6 ページ: 065215-065215

    • DOI

      10.1063/5.0012687

    • NAID

      120006869887

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effects of surface treatment on Fermi level pinning at metal/GaN interfaces formed on homoepitaxial GaN layers2020

    • 著者名/発表者名
      Isobe Kazuki、Akazawa Masamichi
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 4 ページ: 046506-046506

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ab8024

    • NAID

      120007000858

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Depth profiling of surface damage in n-type GaN induced by inductively coupled plasma reactive ion etching using photo-electrochemical techniques2020

    • 著者名/発表者名
      Yamada Shinji、Takeda Kentaro、Toguchi Masachika、Sakurai Hideki、Nakamura Toshiyuki、Suda Jun、Kachi Tetsu、Sato Taketomo
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 13 号: 10 ページ: 106505-106505

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abb787

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Analysis of simultaneous occurrence of shallow surface Fermi level pinning and deep depletion in MOS diode with Mg-ion-implanted GaN before activation annealing2020

    • 著者名/発表者名
      Akazawa Masamichi、Kamoshida Ryo
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 59 号: 9 ページ: 096502-096502

    • DOI

      10.35848/1347-4065/abac41

    • NAID

      120007145358

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Reduction of plasma-induced damage in n-type GaN by multistep-bias etching in inductively coupled plasma reactive ion etching2020

    • 著者名/発表者名
      S. Yamada, M. Omori, H. Sakurai, Y. Osada, R. Kamimura, T. Hashizume, J. Suda, and T. Kachi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 13 号: 1 ページ: 016505-016505

    • DOI

      10.7567/1882-0786/ab5ffe

    • NAID

      210000157772

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved DC performance and current stability of ultrathin-Al2O3/InAlN/GaN MOS-HEMTs with post-metallization-annealing process2020

    • 著者名/発表者名
      S. Ozaki, K. Makiyama, T. Ohki, N. Okamoto, Y. Kumazaki, J. Kotani, S. Kaneki, K. Nishiguchi, N. Nakamura, N. Hara, and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Semicond. Sci. Technol.

      巻: 35 号: 3 ページ: 035027-035027

    • DOI

      10.1088/1361-6641/ab708c

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Self-termination of contactless photo-electrochemical (PEC) etching on aluminum gallium nitride/gallium nitride heterostructures2020

    • 著者名/発表者名
      2.K. Miwa, Y. Komatsu, M. Toguchi, F. Horikiri, N. Fukuhara, Y. Narita, O. Ichikawa, R. Isono, T. Tanaka, and T. Sato
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 13 号: 2 ページ: 026508-026508

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ab6f28

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effects of dosage increase on electrical properties of MOS diodes with Mg-ion-implanted GaN before activation annealin2020

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa, R. Kamoshida, S. Murai, T. Narita, M. Omori, J. Suda, and T. Kachi
    • 雑誌名

      Phys. Status Solidi B

      巻: 257 号: 2

    • DOI

      10.1002/pssb.201900367

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] A time-dependent Verilog-A compact model for MOS capacitors with interface traps2019

    • 著者名/発表者名
      K. Fukuda, H. Asai, J. Hattori, M. Shimizu, and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SB ページ: SBBD06-SBBD06

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aaffbe

    • NAID

      210000135419

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] InGaN/(GaN)/AlGaN/GaN normally-off metal-oxide-semiconductor high-electron mobility transistors with etched access region2019

    • 著者名/発表者名
      D. Gregusova, L. Toth, O. Pohorelec, S. Hasenohrl, S. Hascik, I. Cora, Z. Fogarassy, R. Stoklas, A. Seifertova, M. Blaho, A. Laurencikova, T. Oyobiki, B. Pecz, T. Hashizume, and J. Kuzmik
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SC ページ: SCCD21-SCCD21

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab06b8

    • NAID

      210000156114

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Anisotropic Electrochemical Etching of Porous Gallium Nitride by Sub-Bandgap Absorption Due to Franz-Keldysh Effect2019

    • 著者名/発表者名
      M. Toguchi, K. Miwa, T. Sato
    • 雑誌名

      Journal of The Electrochemical Society

      巻: 166 号: 12 ページ: H510-H512

    • DOI

      10.1149/2.0551912jes

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Low-Damage Etching for AlGaN/GaN HEMTs Using Photo-Electrochemical Reactions2019

    • 著者名/発表者名
      T. Sato, M. Toguchi, Y. Komatsu, and K. Uemur
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing

      巻: 32 号: 4 ページ: 483-488

    • DOI

      10.1109/tsm.2019.2934727

    • NAID

      120006783672

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact of Low-Temperature Annealing on Defect Levels Generated by Mg-Ion-Implanted GaN2019

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa and K. Uetake
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: SC ページ: SCCB10-SCCB10

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab09d5

    • NAID

      120006841057

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Control of plasma-CVD SiO2/InAlN interface by N2O plasma oxidation2019

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa, S. Kitajima, and Y. Kitawaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: 10 ページ: 106504-106504

    • DOI

      10.7567/1347-4065/ab3c49

    • NAID

      120006887714

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Impact of oxide/barrier charge on threshold voltage instabilities in AlGaN/GaN metal-oxide-semiconductor heterostructures2019

    • 著者名/発表者名
      M. Tapajna, J. Drobny, F. Gucmann, K. Husekova, D. Gregussova, T. Hashizume, and J. Kuzmik
    • 雑誌名

      Mat. Sci. Semicond. Process.

      巻: 91 ページ: 356-361

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2018.12.012

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effects of post-deposition annealing in O2 on threshold voltage of Al2O3/AlGaN/GaN MOS heterojunction field-effect transistors2019

    • 著者名/発表者名
      S. Nakazawa, H.-A. Shih, N. Tsurumi, Y. Anda, T. Hatsuda, T. Ueda, T. Kimoto, and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 58 号: 3 ページ: 030902-030902

    • DOI

      10.7567/1347-4065/aafd17

    • NAID

      210000135371

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Improved operation stability of Al2O3/AlGaN/GaN MOS high-electron-mobility transistors grown on GaN substrates2019

    • 著者名/発表者名
      Y. Ando, S. Kaneki and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 12 号: 2 ページ: 024002-024002

    • DOI

      10.7567/1882-0786/aafded

    • NAID

      210000135597

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] A transient simulation approach to obtaining capacitance-voltage characteristics of GaN MOS capacitors with deep-level traps2018

    • 著者名/発表者名
      K. Fukuda, H. Asai, J. Hattori, M. Shimizu and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57 号: 4S ページ: 04FG04-04FG04

    • DOI

      10.7567/jjap.57.04fg04

    • NAID

      210000148929

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] State of the art on gate insulation and surface passivation for GaN-based power HEMTs2018

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume, K. Nishiguch, S. Kaneki, J. Kuzmik, Z. Yatabe
    • 雑誌名

      Materials Science in Semiconductor Processing

      巻: 78 ページ: 85-95

    • DOI

      10.1016/j.mssp.2017.09.028

    • NAID

      120006456416

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Effects of postmetallization annealing on interface properties of Al2O3/GaN structures2018

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume, S. Kaneki, T. Oyobiki, Y. Ando, S. Sasaki and K. Nishiguchi
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 11 号: 12 ページ: 124102-124102

    • DOI

      10.7567/apex.11.124102

    • NAID

      120006543298

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhancement of channel electric field in AlGaN/GaN multi-nanochannel high electron mobility transistors2018

    • 著者名/発表者名
      M. Matys, K. Nishiguchi, B. Adamowicz, J. Kuzmik and T. Hashizume
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 124 号: 22

    • DOI

      10.1063/1.5056194

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Effects of a photo-assisted electrochemical etching process removing dry-etching damage in GaN2018

    • 著者名/発表者名
      S. Matsumoto, M. Toguchi, K. Takeda, T. Narita, T. Kachi, and T. Sato
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57 号: 12 ページ: 121001-121001

    • DOI

      10.7567/jjap.57.121001

    • NAID

      120006764183

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effects of Air-annealing on DC Characteristics of InAlN/GaN MOS-HEMTs Using ALD-Al2O32017

    • 著者名/発表者名
      S. Ozaki, K, Makiyama, T, Ohki, N, Okamoto, S, Kaneki, K, Nishiguchi, N, Hara and T, Hashizume
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Express

      巻: 10 号: 6 ページ: 061001-061001

    • DOI

      10.7567/apex.10.061001

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Precise thickness control in recess etching of AlGaN/GaN hetero-structure using photocarrier-regulated electrochemical process2017

    • 著者名/発表者名
      Kumazaki Yusuke、Uemura Keisuke、Sato Taketomo、Hashizume Tamotsu
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 121 号: 18 ページ: 184501-184501

    • DOI

      10.1063/1.4983013

    • NAID

      120006463556

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Influence of oxygen-plasma treatment on AlGaN/GaN metal-oxide-semiconductor heterostructure field-effect transistors with HfO2 by atomic layer deposition: leakage current and density of states reduction2017

    • 著者名/発表者名
      R. Stoklas, D. Gregusova, M. Blaho, K. Frohlich, J. Novak, M. Matys, Z. Yatabe, P. Kordos, T. Hashizume
    • 雑誌名

      Semiconductor Science and Technology

      巻: 32 号: 4 ページ: 045018-045018

    • DOI

      10.1088/1361-6641/aa5fcb

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Current linearity and operation stability in Al2O3-gate AlGaN/GaN MOS-HEMTs2017

    • 著者名/発表者名
      K. Nishiguchi, S. Kaneki, S. Ozaki and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 56 号: 10 ページ: 101001-101001

    • DOI

      10.7567/jjap.56.101001

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Disorder induced gap states as a cause of threshold voltage instabilities in Al2O3/AlGaN/GaN metal-oxide-semiconductor high-electron-mobility transistors2017

    • 著者名/発表者名
      Matys M.、Kaneki S.、Nishiguchi K.、Adamowicz B.、Hashizume T.
    • 雑誌名

      J. Appl. Phys.

      巻: 122 号: 22 ページ: 224504-224504

    • DOI

      10.1063/1.5000497

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Highly-stable and low-state-density Al2O3/GaN interfaces using epitaxial n-GaN layers grown on free-standing GaN substrates2016

    • 著者名/発表者名
      S. Kaneki, J. Ohira, S. Toiya, Z. Yatabe, J. T. Asubar and T. Hashizume
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 109 号: 16

    • DOI

      10.1063/1.4965296

    • NAID

      120006360059

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著 / 謝辞記載あり
  • [学会発表] HfSiOx-gate GaN MOS-HEMTs for RF power transistor2021

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume, R. Ochi, E. Maeda, T. Nabatame, K. Shiozaki and T. Sato
    • 学会等名
      Society of Photographic Instrumentation Engineers (SPIE), Photonics West 2021, Gallium Nitride Materials and Devices XVI
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Interface properties of Al2O3-based MOS structures on m-plane GaN2021

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume and S. Kaneki
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Precise control in threshold voltage of AlGaN/GaN HEMTs utilizing a photoelectrochemical (PEC) etching2021

    • 著者名/発表者名
      T. Sato, M. Toguchi, K. Itoh, T. Hashizume
    • 学会等名
      The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] A Defect Level Generated in GaN by High-Temperature Annealing with AlN Encapsulation2021

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa, Y. Tamamura and S. Murai
    • 学会等名
      13th International Symposium on Advanced Science and its Appliaction for Nitrides and Nanomaterials/14th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasam2021/IC-PLANTS2021)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] HfSiOxゲート AlGaN/GaN HEMTsのDC特性とMOS界面評価2021

    • 著者名/発表者名
      越智 亮太、前田 瑛里香、生田目 俊秀、塩崎 宏司、橋詰 保
    • 学会等名
      電子情報通信学会電子デバイス研究会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 無極性面に形成したGaN MOS界面の特性2021

    • 著者名/発表者名
      橋詰 保
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] コンタクトレス光電気化学エッチングによるリセスゲートAlGaN/GaN HEMT の作製2021

    • 著者名/発表者名
      渡久地政周,三輪和希,堀切文正,福原昇,成田好伸,吉田丈洋,佐藤威友
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] 光電気化学エッチング法を用いたAlGaInN/AlGaNリセスゲートHFETの作製2021

    • 著者名/発表者名
      伊藤滉朔,小松裕斗,渡久地政周,井上暁喜,三好実人,佐藤威友
    • 学会等名
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Photo-Electrochemical Etching and Porosification of III-Nitride Semiconductors2020

    • 著者名/発表者名
      T. Sato, and M. Toguchi
    • 学会等名
      2020 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (PRiME 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Impact of Cap-Layer Materials Used in Long-Term Low-Temperature Annealing on Electrical Properties of Mg-Ion Implanted GaN2020

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa, S. Murai, R. Kamoshida, E. Wu, and T. Kachi
    • 学会等名
      62nd Electronic Materials Conference (EMC2020)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fabrication of Recessed-Gate AlGaN/GaN HEMTs Utilizing Contactless Photo-Electrochemical (CLPEC) Etching2020

    • 著者名/発表者名
      M. Toguchi, K. Miwa, F. Horikiri, N. Fukuhara, Y. Narita, O. Ichikawa, R. Isono, T. Tanaka, and T. Sato
    • 学会等名
      2020 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science (PRiME 2020)
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] HfSiOxゲート AlGaN/GaN MOS-HEMTのゲート制御性2020

    • 著者名/発表者名
      越智 亮太、前田 瑛里香、生田目 俊秀、塩崎 宏司、橋詰 保
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] Mgイオン注入GaNに対する低温熱処理の効果における表面保護膜材料依存性2020

    • 著者名/発表者名
      村井駿太、呉 恩誠,赤澤 正道, 加地 徹
    • 学会等名
      第81回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [学会発表] MOS interface control for GaN power transistor2019

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week (CSW2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Interface control of Al2O3-based MOS structures for advanced GaN transistors2019

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume and T. Sato
    • 学会等名
      13th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-13)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Improved Al2O3 gate technology for high-power and high-frequency GaN transistors2019

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume
    • 学会等名
      International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Stable C-V characteristics of Al2O3/m-plane GaN structures at high temperatures2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kaneki and T. Hashizume
    • 学会等名
      13th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-13)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improved gate controllability of Al2O3-gate AlGaN/GaN HEMTs grown on GaN substrates2019

    • 著者名/発表者名
      R. Ochi, Y. Ando, S. Kaneki and T. Hashizume
    • 学会等名
      13th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics (TWHM-2019)
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Damage-less Wet Etching for Normally-off AlGaN/GaN HEMTs using Photo-electrochemical Reactions2019

    • 著者名/発表者名
      T. Sato, K. Uemura, and M. Toguchi
    • 学会等名
      2019 International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GaN Wet Etching Process for Power and RF Devices2019

    • 著者名/発表者名
      F. Horikiri, N. Fukuhara, H. Ohta, N. Asai, Y. Narita, T. Yoshida, T. Mishima, M. Toguchi, K. Miwa, and T. Sato
    • 学会等名
      2019 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Insulated gate technologies for advanced GaN MOS transistors2019

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume
    • 学会等名
      11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma-2019)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GaN MOSFETの絶縁ゲート技術2019

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      応用物理学会第24回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GaN自立基板上に作製したAl2O3/AlGaN/GaN HEMTの評価2019

    • 著者名/発表者名
      金木 奨太、安藤 祐次、橋詰 保
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] Control of SiO2/InAlN Interface by Plasma Surface Oxidation2019

    • 著者名/発表者名
      S. Kitajima and M. Akazawa
    • 学会等名
      11th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma-2019)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] p-GaNに形成したショットキーおよびMOS接合の評価2018

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      応用物理学会第149回結晶工学分科会研究会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GaN系トランジスタにおける界面制御2018

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      応用物理学会先進パワー半導体分科会第4回個別討論会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Nature of oxide/III-N defects: Disorder induced gap state continuum vs. border traps2018

    • 著者名/発表者名
      M. Matys, K. Nishiguchi, B. Adamowicz and T. Hashizume
    • 学会等名
      34th International Conference on the Semiconductor Physics (ICPS-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Control of Al2O3 MOS Interfaces Fabricated on m-plane GaN Surfaces2018

    • 著者名/発表者名
      S. Kaneki and T. Hashizume
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Gate controllability in Al2O3-gate AlGaN/GaN HEMTs grown on GaN substrates2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ando, S. Kaneki, and T. Hashizume
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Characterization of Al2O3 MOS structures fabricated on high-temperature annealed GaN surfaces2018

    • 著者名/発表者名
      T. Oyobiki and T. Hashizume
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Investigation of Effect of Low-Temperature Annealing and Dosage on Mg-Ion- Implanted GaN Using MOS Structure2018

    • 著者名/発表者名
      K. Uetake, R. Kamoshida, and M. Akazawa
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Enhancement of channel electric field in AlGaN/GaN multi-nanochannel high electron mobility transistors2018

    • 著者名/発表者名
      M. Matys, K. Nishiguchi, B. Adamowicz, J. Kuzmik, and T. Hashizume
    • 学会等名
      International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN-2018)
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高温アニール後のGaN表面に形成したAl2O3 MOS構造の評価2018

    • 著者名/発表者名
      及木 達矢、橋詰 保
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] m面GaNに形成したAl2O3 MOS構造の評価2018

    • 著者名/発表者名
      金木 奨太、橋詰 保
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] GaN基板上に作製したAl2O3/AlGaN/GaN MOS HEMT のゲート制御性2018

    • 著者名/発表者名
      安藤 祐次、金木 奨太、橋詰 保
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [学会発表] 高温アニールがAl2O3/GaN 界面特性に及ぼす影響2018

    • 著者名/発表者名
      及木 達矢、橋詰 保
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Al2O3-gate AlGaN/GaN MOS HEMTの動作安定性2018

    • 著者名/発表者名
      安藤 祐次、金木 奨太、西口 賢弥、橋詰 保
    • 学会等名
      第65回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] GaN MOS-HEMTの制御性および安定性の向上2017

    • 著者名/発表者名
      金木将太、西口賢弥、橋詰保
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] GaNキャップ層がAlGaN/GaN MOS構造のC-V特性に与える影響2017

    • 著者名/発表者名
      西口賢弥、橋詰保
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [学会発表] Improved wet-etching processes for GaN-based electron devices2017

    • 著者名/発表者名
      T. Sato, K. Uemura and T. Hashizume
    • 学会等名
      2017 Materials Research Society Fall Meeting
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] GaN系半導体のMOS界面制御2017

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      日本学術振興会第162委員会第103回研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GaN系トランジスタにおける界面制御2017

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      応用物理学会応用電子物性分科会研究会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] GaN MIS界面とトランジスタ応用~これまでのⅢ-V MIS界面と違いはあるのか~2017

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      日本結晶成長学会・ナノ構造・エピタキシャル成長分科会・第9回講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Improved MOS gate control in Al2O3/AlGaN/GaN HEMTs with reverse-bias annealing2017

    • 著者名/発表者名
      Kenya Nishiguchi, Syota Kaneki, Tamotsu Hashizume
    • 学会等名
      12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Precise thickness control in recess-etching for normally-off AlGaN/GaN HEMTs using a low damage photo-electrochemical reaction2017

    • 著者名/発表者名
      Taketomo Sato, Keisuke Uemura, Yusuke Kumazaki, Tamotsu Hashizume
    • 学会等名
      12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Correlation between VTH instability and interface states in Al2O3/AlGaN/GaN Structures2017

    • 著者名/発表者名
      Shota Kaneki, Zenji Yatabe, Tamotsu Hashizume
    • 学会等名
      12th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics (TWHM-2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Analysis of temperature dependent frequency dispersion in C-V curves of Al2O3/AlGaN/GaN structures based on the disorder-induced gap-state model2017

    • 著者名/発表者名
      M. Matys, S.Kaneki, B. Adamowicz, J. Kuzmik and T. Hashizume
    • 学会等名
      12th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics (TWHM-2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Transient-mode simulation of MOS C-V characteristics for GaN2017

    • 著者名/発表者名
      Koichi Fukuda, Hidehiro Asai, Junichi Hattori, Mitsuaki Shimizu and Tamotsu Hashizume
    • 学会等名
      2017 International Conference on Solid-State Devices and Materials (SSDM2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Fast Switching Performance by 20 A/730 V AlGaN/GaN MIS-HFET Using AlON Gate Insulator2017

    • 著者名/発表者名
      S. Nakazawa, H.-A. Shih, N. Tsurumi, Y. Anda, T. Hatsuda, T. Ueda, M. Nozaki, T. Yamada, T. Hosoi, T. Shimura, H. Watanabe, and T. Hashizume
    • 学会等名
      63rd. International Electron devices Meeting (IEDM-2017)
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Al2O3/GaN 構造の界面制御プロセス2017

    • 著者名/発表者名
      金木 奨太、西口 賢弥、橋詰 保
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] MOS構造によるGaN表面のICPエッチング誘起欠陥の評価2017

    • 著者名/発表者名
      及木 達矢、西口 賢弥、山田 真嗣、桜井 秀樹、上村 隆一郎、長田 大和、加地 徹、橋詰 保
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 光電気化学反応を利用したn-GaN表面層の低損傷エッチング2017

    • 著者名/発表者名
      松本 悟、佐藤 威友、成田 哲生、加地 徹、橋詰 保
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] 光電気化学(PEC)反応を利用したリセスゲートAlGaN/GaN HEMTの作製2017

    • 著者名/発表者名
      植村 圭佑、佐藤 威友、橋詰 保
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [学会発表] Surface passivation structures for GaN power transistors2016

    • 著者名/発表者名
      T. Hashizume
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2016 (ADMETA-2016)
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2016-10-20
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Effects of Electronic States at Insulator/AlGaN Interfaces on Threshold Voltage Instability of Al2O3/AlGaN/GaN Structures2016

    • 著者名/発表者名
      Z. Yatabe, J.T. Asubar, Y. Nakamura, T. Hashizume
    • 学会等名
      2016 International Conference on Solid-State Devices and Materials (SSDM2016)
    • 発表場所
      Tsukuba International Congress Center
    • 年月日
      2016-09-26
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] GaN系トランジスタにおける界面制御2016

    • 著者名/発表者名
      橋詰保
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会シンポジウム
    • 発表場所
      新潟朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Al2O3/AlGaN/GaN MOSHEMT の界面制御プロセス2016

    • 著者名/発表者名
      金木将太、西口賢弥、橋詰保
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [備考] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
  • [備考] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

    • 関連する報告書
      2019 実績報告書
  • [備考] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

    • 関連する報告書
      2018 実績報告書
  • [備考] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

    • 関連する報告書
      2017 実績報告書
  • [備考] 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター

    • 関連する報告書
      2016 実績報告書
  • [産業財産権] 構造体の製造方法と製造装置および中間構造体2019

    • 発明者名
      堀切文正,福原昇,佐藤威友,渡久地政周
    • 権利者名
      堀切文正,福原昇,佐藤威友,渡久地政周
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2019
    • 取得年月日
      2020
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書

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公開日: 2016-07-04   更新日: 2022-01-27  

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