計画研究
特定領域研究
波長250nm-350nm帯の深紫外発光ダイオード(LED)は、殺菌、浄水、医療分野、白色照明、生物分野などの幅広い分野での応用が期待されている。本研究では、パルス供給結晶成長法を用いた窒化アルミニウム(AlN)の低貫通転位密度の低減、InAlGaN窒化物4元混晶を用いた高内部量子効率発光層の実現、多重量子障壁を用いた電子リーク抑制による注入効率の改善など行うことにより、高効率深紫外LEDを実現した。
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