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単分子膜リソグラフィによる微細加工・微細組立

計画研究

研究領域光―分子強結合反応場の創成
研究課題/領域番号 19049010
研究種目

特定領域研究

配分区分補助金
審査区分 理工系
研究機関京都大学

研究代表者

杉村 博之  京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (10293656)

研究分担者 邑瀬 邦明  京都大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30283633)
一井 崇  京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30447908)
佐藤 宣夫  京都大学, 大学院・工学研究科, 助教 (70397602)
研究期間 (年度) 2007 – 2010
研究課題ステータス 完了 (2010年度)
配分額 *注記
72,000千円 (直接経費: 72,000千円)
2010年度: 14,900千円 (直接経費: 14,900千円)
2009年度: 20,200千円 (直接経費: 20,200千円)
2008年度: 21,100千円 (直接経費: 21,100千円)
2007年度: 15,800千円 (直接経費: 15,800千円)
キーワード微細加工 / リソグラフィ / ナノ粒子 / 自己集積化単分子膜 / 微細組立 / 真空紫外 / 走査型プローブ顕微鏡 / ナノ加工 / ナノ材料
研究概要

本研究では、
○光-分子強結合反応場の構成要素となるナノオブジェクト(金属・誘電体等)を、
○リソグラフィ技術に基づくトップダウン微細加工プロセスによって
○μm~nm の精度で自在なパターン形状に成形した反応サイト上へ、
○反応サイトの化学的相互作用を推進力としてナノオブジェクトを精密配置する、
意図的な設計に基づく自在な形状を有する光-分子強結合反応場を構築する微細加工・微細組立技術の研究をおこなった。

報告書

(6件)
  • 2010 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2009 実績報告書   自己評価報告書 ( PDF )
  • 2008 実績報告書
  • 2007 実績報告書
  • 研究成果

    (46件)

すべて 2011 2010 2009 2008 2007 その他

すべて 雑誌論文 (24件) (うち査読あり 19件) 学会発表 (16件) 図書 (2件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] Self-Aligned Nucleation of Gold onto Templates with a Nano-scale Precision Fabricated by Scanning Probe Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      H. Sugimura, M. Kanda, T. Ichii and K. Murase
    • 雑誌名

      J. Photochem. Photobiol., A : Chem

      巻: 221 ページ: 209-213

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Aligned Nucleation of Gold onto Templates with a Nano-scale Precision Fabricated by Scanning Probe Lithography2011

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimura, et al
    • 雑誌名

      Journal of Photochemistry & Photobiology, A

      巻: 221 ページ: 209-213

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Molecular packing density of self-assembled monolayer formed from N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane by a vapor phase process2011

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimura, et al
    • 雑誌名

      Chemical Communication

      巻: 47 ページ: 8841-8843

    • NAID

      120004225658

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Degradation behavior of release layers for nanoimprint lithography formed on atomically flat Si(111) terraces2010

    • 著者名/発表者名
      K.Kuwabara, el al
    • 雑誌名

      Journal of Vacuum Science & Technology B

      巻: 28 ページ: 968-972

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Resin Elongation Phenomenon of Polystwene Nanopillars in Nanoimprint Lithography2010

    • 著者名/発表者名
      K.Kuwabara, el al
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys

      巻: 49 ページ: 106505-106505

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gold nanoparticle arrays fabricated on a silicon substrate covered with a covalently bonded alkyl monolayer by electroless plating combined with scanning probe anodization lithography2009

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Sugimura, Sin-ichiro Nanjo, Hikaru Sano and Kuniaki Murase
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. C

      巻: 113(27) ページ: 11643-11646

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Alkyl and alkoxyl monolayers directly attached to silicon: chemical durability in aqueous solutions2009

    • 著者名/発表者名
      Hikaru Sano, Maeda Hajime, Takashi Ichii, Kuniaki Murase, Kei Noda, Kazumi Matsushige and Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 25(10) ページ: 5516-5525

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum Pressure: Alkyl Monolayer Lithography2009

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, Hikaru Sano, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 24(20) ページ: 5516-5525

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gold nanoparticle arrays fabricated on a silicon substrate covered with a covalently bonded alkyl monolayer by electroless plating combined with scanning probe anodization lithography2009

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Sugimura, Sin-ichiro Nanjo, Hikaru Sano, Kuniaki Murase
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. C Vol.113No.27

      ページ: 11643-11646

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [雑誌論文] Scanning Probe Anodization Patterning of Si Substrates Covered with a Self-Assembled Monolayer Dependent on Surface Hydrophilicity2009

    • 著者名/発表者名
      Jiwon HAN, et al.
    • 雑誌名

      J.Vac.Sci.Technol.B 27

      ページ: 928-933

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Gold nanoparticle arrays fabricated on a silicon substrate covered with a covalently bonded alkyl monolayer by electroless plating combined with scanning probe anodization lithography2009

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimura, et al.
    • 雑誌名

      J.Phys.Chem.C 113

      ページ: 11643-11646

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Probing the diffusion of vacuum ultraviolet (λ=172 nm) induced oxid ants by nanoparticles immobilization2009

    • 著者名/発表者名
      O.Khatri
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 256

      ページ: 1507-1513

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum Pressure : Alkyl Monolayer Lithography2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, Hikaru Sano, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      Langmuir

      巻: 24(20) ページ: 12077-12084

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Assembly Guided One-Dimensional Arrangement of Gold Nanoparticles: A Facile Approach2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, Jiwon Han, Takashi Ichii, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem.

      巻: C112(42) ページ: 16182-16185

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural Organization of Gold Nanoparticles onto the ITO Surface and Its Optical Properties as a Function of Ensemble Size2008

    • 著者名/発表者名
      Kuniaki Murase, Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      Langmuir Vol.24No.8

      ページ: 3787-3793

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [雑誌論文] Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum Pressure: Alkyl Monolayer Lithography Om P. Khatri2008

    • 著者名/発表者名
      Hikaru Sano, Kuniaki Murase, Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      Langmuir 24(20)

      ページ: 12077-12084

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [雑誌論文] Self-Assembly Guided One-Dimensional Arrangement of Gold Nanoparticles: A Facile Approach Om2008

    • 著者名/発表者名
      P. Khatri, Jiwon Han, Takashi Ichii, Kuniaki Murase, Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. C 112(42)

      ページ: 16182-16185

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [雑誌論文] Structural Organization of Gold Nanoparticles onto the ITO Surface and Its Optical Properties as a Function of Ensemble Size2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, et.al.
    • 雑誌名

      Langmuir 24

      ページ: 3787-3793

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Regulation of Pattern Dimension as a Function of Vacuum Pressure : Alkyl Monolayer Lithography2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, et.al.
    • 雑誌名

      Langmuir 24

      ページ: 12077-12084

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Self-Assembly Guided One-Dimensional Arrangement of Gold Nanoparticles : A Facile Approach2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, et.al.
    • 雑誌名

      J. Phys. Chem. C 1121

      ページ: 16182-16185

    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Surface Chemical Conversion of Organosilane Self-Assembled Monolayers with Active Oxygen Species Generated by Vacuum Ultraviolet Irradiation of Atmospheric Oxygen Molecules2008

    • 著者名/発表者名
      Young-Jong Kim, 他
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      ページ: 307-312

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Structural Organization of Gold Nanoparticles onto the ITO Surface and Its Optical Properties as a Function of Ensemble Size2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • 雑誌名

      Langmuir 24

      ページ: 3787-3793

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Patterning of Self-assembled Thin Films Using Vacuum Ultraviolet Irradiation Through Anodic Porous Alumina Mask2007

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Harada, Sunao Murata, Takashi Yanagishita, Hiroyuki Sugimura, Kazuyuki Nishio, Hideki Masuda
    • 雑誌名

      Chem. Lett. Vol.36No.10

      ページ: 1266-1267

    • NAID

      10019961919

    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [雑誌論文] Patterning of Self-assembled Thin Films Using Vacuum Ultraviolet Irradiation Through Anodic Porous Alumina Mask2007

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Harada, 他
    • 雑誌名

      Chemistry Letters 36

      ページ: 1266-1267

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] Immobilization of Gold Nanoparticles on Silicon Substrates by Visible Light Irradiation2011

    • 著者名/発表者名
      T.Ichii
    • 学会等名
      6th International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics (M&BE6)
    • 発表場所
      Sendai, Japan(震災のため)(実際の発表は無い)
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Chemical Manipulation of Metal Nanoparticles via Self-Assembled Monolayer Lithography2010

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimura
    • 学会等名
      The 3rd Taiwan-Japan Joint Symposium on Organized Nanomaterials and Nanostructures Related to Photoscience
    • 発表場所
      台湾花蓮
    • 年月日
      2010-03-22
    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [学会発表] Gold nanoparticle arrays formed on amino-functional microtemplates fabricated by vacuum ultra-violet lithography2010

    • 著者名/発表者名
      J. Yang, Y.-J. Kim, T. Ichii, K. Murase and H. Sugimura
    • 学会等名
      Pacifichem 2010
    • 発表場所
      Honolulu, Hawai
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書 2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Immobilization of Gold Nanoparticles on Silicon Substrates by Visible Light Irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      T. Ichii, K. Yamashiro, K. Murase and H. Sugimura
    • 学会等名
      13th International Conference on Organized Molecular Films (LB13)
    • 発表場所
      Quebec City, Canada
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Chemical Manipulation of Metal Nanoparticles via Self-Assembled Monolayer Lithography2010

    • 著者名/発表者名
      H. Sugimura, O. P. Khatri, J. Han, H. Sano, M. Kanda, J. Yang, T. Ichii and K. Murase
    • 学会等名
      The 3rd Taiwan-Japan Joint Symposium on Organized Nanomaterials and Nanostructures Related to Photoscience
    • 発表場所
      Hualien, Taiwan
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書 2009 自己評価報告書
  • [学会発表] Electrostatic Adhesion of Gold Nanoparticles Spatially Defined by Micro/Nano-Patterned Self-Assembled Monolayers2010

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimura
    • 学会等名
      4th World Congress on Adhesion and Related Phenomena (WCARP-IV)
    • 発表場所
      Arcachon, France
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Self-aligned deposition and nucleation of gold nanoparticles onto templates with a nanoscale precision fabricated by scanning probe lithography2010

    • 著者名/発表者名
      H.Sugimura
    • 学会等名
      Pacifichem 2010
    • 発表場所
      Honolulu, Hawai
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Immobilization of gold nanoparticles on silicon substrates by visible light irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      K.Yamashiro
    • 学会等名
      Pacifichem 2010
    • 発表場所
      Honolulu, Hawai
    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [学会発表] Gold Nanodot Array on Silicon Fabricated by Scanning Probe Lithography2009

    • 著者名/発表者名
      M. Kanda, T. Ichii, K. Murase, H. Sugimura
    • 学会等名
      AVS 56th International Symposium
    • 発表場所
      San Jose, California, USA, AS-TuP4
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Gold Nanodot Array on Silicon Fabricated by Scanning Probe Lithography2009

    • 著者名/発表者名
      M. Kanda, T. Ichii, K. Murase, H. Sugimura
    • 学会等名
      AVS 56th International Symposium
    • 発表場所
      San Jose, California, USA
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [学会発表] Kelvin probe force microscopy on locally modified self-assembled monolayers on Si substrates2008

    • 著者名/発表者名
      J. Han, et.al.
    • 学会等名
      1th International Conference on Non-contact Atomic Force Microscopy : NCAFM-2008
    • 発表場所
      Madrid, Spain
    • 年月日
      2008-09-16
    • 関連する報告書
      2008 実績報告書
  • [学会発表] Fabrication and Photopatterning of Nitrophenyl Terminated Organisilane Self-Assembled Monolayer2008

    • 著者名/発表者名
      H. Sugimura, K. Adachi, T. Ichii, and K. Murase
    • 学会等名
      XXIInd IUPAC Symposium on Photochemistry
    • 発表場所
      Gothenburg, Sweden
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [学会発表] Fabrication and Photopatterning of Nitrophenyl Terminated Organisilane Self-Assembled Monolayer2008

    • 著者名/発表者名
      H. Sugimura, K. Adachi, T. Ichii, K. Murase
    • 学会等名
      XXIInd IUPAC Symposium on Photochemistry, Gothenburg, Sweden
    • 発表場所
      Gothenburg, Sweden
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [学会発表] Gold Naonparticles Anchoring on Predefined Sites in Linear Fashion by Combined Approach of Self-Assembly and Scanning Probe Anodization2008

    • 著者名/発表者名
      Om P. Khatri, J. Han, T. Ichii, K. Murase, H. Sugimura
    • 学会等名
      Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME 2008): 214th Meeting of the Electrochemical Society and 2008 Fall Meeting of the Electrochemical Society of Japan
    • 発表場所
      Honolulu, Hawaii(MEETING ABSTRACTS, CD)
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [学会発表] Spatially Controlled Functionalization and Chemical Manipulation to Fabricate 2D Arrays of Gold Nanoparticles onto ITO2007

    • 著者名/発表者名
      Om Parakash Khatri, Kuniaki Murase, and Hiroyuki Sugimura
    • 学会等名
      20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2007)
    • 発表場所
      京都国際会議場
    • 年月日
      2007-11-08
    • 関連する報告書
      2007 実績報告書
  • [学会発表] Modification and electrical characterization of self-assembled monolayer/silicon samples with and without an interfacial oxide layer by the use of scanning probe microscopes2007

    • 著者名/発表者名
      J. Han, H. Sano, T. Ichii, K. Murase, H. Sugimura
    • 学会等名
      International Conference on Nanoscience and Technology (ICN+T2007)
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • 関連する報告書
      2009 自己評価報告書
  • [図書] プラズモンナノ材料の最新技術(監修・山田淳) 第6章 パターン形成・加工技術 1.単分子膜リソグラフィによる微細加工 : 金ナノ粒子の選択配置2009

    • 著者名/発表者名
      杉村博之
    • 出版者
      シーエムシー出版
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [図書] Applied Scanning Probe Methods X, Biomimetics and Industrial Applications(Eds. Bharat Bhushan, Harald Fuchs, Masahiko Tomitori)Chapter 33 Scanning Probe Anodization for Nanopatterning2008

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki Sugimura
    • 出版者
      Springer
    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mtl.kyoto-u.ac.jp/groups/sugimura-g/

    • 関連する報告書
      2010 研究成果報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mtl.kyoto-u.ac.jp/groups/sugimura-g/

    • 関連する報告書
      2010 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mtl.kyoto-u.ac.jp/groups/sugimura-g/

    • 関連する報告書
      2009 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.mtl.kyoto-u.ac.jp/groups/sugimura-g/

    • 関連する報告書
      2007 実績報告書

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公開日: 2007-04-01   更新日: 2018-03-28  

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