| 研究領域 | プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成 |
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| 研究課題/領域番号 |
21110005
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| 研究種目 |
新学術領域研究(研究領域提案型)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 九州大学 |
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研究代表者 |
白谷 正治 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (90206293)
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| 研究分担者 |
古閑 一憲 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 准教授 (90315127)
内田 儀一郎 大阪大学, 接合科学研究所, 准教授 (90422435)
鎌滝 晋礼 九州大学, 基幹教育院, 助教 (60582658)
徐 鉉雄 (SEO Hyunwoong / SEO HYUNWOONG) 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 助教 (00618499)
板垣 奈穂 九州大学, 大学院システム情報科学研究院, 准教授 (60579100)
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| 研究期間 (年度) |
2009-07-23 – 2014-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2013年度)
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| 配分額 *注記 |
127,660千円 (直接経費: 98,200千円、間接経費: 29,460千円)
2013年度: 28,470千円 (直接経費: 21,900千円、間接経費: 6,570千円)
2012年度: 28,860千円 (直接経費: 22,200千円、間接経費: 6,660千円)
2011年度: 27,820千円 (直接経費: 21,400千円、間接経費: 6,420千円)
2010年度: 27,430千円 (直接経費: 21,100千円、間接経費: 6,330千円)
2009年度: 15,080千円 (直接経費: 11,600千円、間接経費: 3,480千円)
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| キーワード | プラズマ局所反応場 / ナノ粒子 / ナノ界面制御 / 相互作用 / ボンドエンジニアリング / コンビナトリアル摂動解析 / トップダウンプロセス / ボトムアッププロセス / 揺らぎ |
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| 研究概要 |
プラズマとナノ界面の相互作用ゆらぎを解明するため、反応性プラズマ中のナノ粒子をナノ界面のモデルとして、プラズマがナノ粒子成長機構に与える影響について調べた。
振幅変調放電により、ナノ粒子成長が抑制され、そのサイズ分散が狭分散化した。またナノ粒子量の揺動をスペクトル解析した結果は、ナノ粒子成長がラジカルと非線形結合していることを示している。これらの結果を基に、振幅変調放電におけるナノ粒子成長モデルを検討し、ナノ粒子の成長が3つの成長モードに分類出来ることや非線形結合によるサイズ分散の抑制を明らかにした。 プラズマ中の微粒子をレーザー捕捉して、プラズマと微粒子の相互作用のその場計測にも成功した。
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