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MEMS展開のためのマイクロスケール熱流動科学の構築

研究課題

研究課題/領域番号 00F00287
研究種目

特別研究員奨励費

配分区分補助金
応募区分外国
研究分野 熱工学
研究機関京都大学

研究代表者

鈴木 健二郎  京都大学, 工学研究科, 教授

研究分担者 DU Dongxing  京都大学, 工学研究科, 外国人特別研究員
DU D.-X.  
研究期間 (年度) 2000 – 2002
研究課題ステータス 完了 (2002年度)
配分額 *注記
1,300千円 (直接経費: 1,300千円)
2002年度: 500千円 (直接経費: 500千円)
2001年度: 800千円 (直接経費: 800千円)
キーワードマイクロスケール流れ / 希薄流 / 圧縮性 / 単相流 / 数値解析 / 実験
研究概要

マイクロスケールにおいては,流体が連続体であると仮定して展開されてきた既存のマクロスケール伝熱技術をそのままで適用することはできない.本研究は,マイクロ流路を対象とし,代表寸法が小さくなることに伴う流体の希薄化とそのような条件下での複雑流れ場を理論的・数値解析的および実験的に検討し,その熱流動特性を明らかにすることを目的としている.
実験的には,管径に比して流路長さが長いマイクロチャネルをシリコン基板をエッチングすることにより,また,流路長さが比較的短いマイクロスケールノズルを放電加工により作成し,それらを通過する流れの圧力損失と流量を測定する事により流動特性について検討した.特に本年度はマイクロチャネルにドライエッチングを複数回行うことにより,チャネル底面に規則的な凹凸面を作成し,これが流動場に与える影響について検討した.これは,凹凸面でチャネル表面粗さを模擬することを試みるものである.その結果,凹凸の高さが増すほど摩擦定数の値が大きくなる一方で,凹凸の流れ方向の幅が摩擦定数に与える影響は小さいことなどが明らかになった.
数値解析的には,既存の有限体積法によって支配方程式を数値的に解く計算プログラムを利用した検討を昨年度に引き続いて行うと共に,本年度は新たにDSMCによる計算プログラムを作成し,これを上記の実験に対応する凹凸壁面を有するチャネルについて適応した.計算資源の制約から計算は現象の二次元性を仮定して行ったが,摩擦定数に対する凹凸部高さと幅の影響に関しては,実験結果と定性的に一致する結果が得られた.またこれとは別に差分による直接数値解析(DNS)プログラムを作成し,壁面にすべり境界条件を課したチャネル乱流の計算を昨年度に引き続き行った.クヌッセン数の増大に伴い壁面でのすべり速度が大きくなると壁面近傍における主流方向とスパン方向の乱れ強さはともに大きくなるが,その影響が大きい領域は壁面近くに限定されることなどがわかった.

報告書

(1件)
  • 2002 実績報告書
  • 研究成果

    (5件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (5件)

  • [文献書誌] 荒木 拓人: "微細ノズル内圧縮性流れに及ぼす壁面境界条件の影響"第14回 計算力学講演会講演論文集. 561-562 (2001)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] ARAKI, Takuto: "An Experimental Investigation of Gaseous Flow Characteristics in Microchannels"Microscale Thermophysical Engineering Journal. (in printing). (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] DU, Dongxing: "DNS of turbulent rarefied flow in microchannels"第39回日本伝熱シンポジウム講演論文集. Vol.3. 593-594 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] DU DongXing: "Direct Numerical Simulation of Rarefied Turbulent Flows in the Slip Flow Regime"Proc.of 2^<nd> Kyoto-Seoul National-Tsinghua University Termal Engineering Conference. 63-66 (2002)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書
  • [文献書誌] DU DongXing: "Turbulent Statistics of Rarefied Flows in a Microchannel"Proc.3^<rd> Int.Symposium on Turbulence and Shear Flow Phenomena. (2003)

    • 関連する報告書
      2002 実績報告書

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公開日: 2001-04-01   更新日: 2024-03-26  

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