| 研究課題/領域番号 |
01430008
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| 研究種目 |
一般研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
分析・地球化学
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| 研究機関 | 群馬大学 |
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研究代表者 |
赤岩 英夫 群馬大学, 工学部, 教授 (60008414)
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| 研究分担者 |
相羽 陽子 群馬大学, 工学部, 教務員 (20173106)
相沢 省一 群馬大学, 工学部, 助手 (20008527)
角田 欣一 群馬大学, 工学部, 助教授 (30175468)
川本 博 群馬大学, 工学部, 助教授 (20008460)
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| 研究期間 (年度) |
1989 – 1990
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| 研究課題ステータス |
完了 (1990年度)
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| 配分額 *注記 |
22,000千円 (直接経費: 22,000千円)
1990年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
1989年度: 21,000千円 (直接経費: 21,000千円)
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| キーワード | 予備濃縮 / ICP発光分析法 / ICP質量分析法 / 半導体材料 / αー放射体 / ウラン / トリウム / 協同抽出 / 予備濃縮法 / ICP発光分析 / 半導体 |
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| 研究概要 |
1.ICP発光分析法による半導体中のα放射体の定量
半導体構製材料中のU、Thから放出されるα線が半導体メモリ-のソフトエラ-を誘発することから、その分析法の確立は重要である。そこで、試料としてモリブデンおよびケイ化モリブデンを取り挙げて、同試料中のU、Thの定量法の開発を試みた。
試料をHNO_3ーHFで加熱分解し、6MーHCl溶液にする。この溶液のpHをNaOHで約1に調節した後、TTAーC_6H_6溶液にThを抽出する。分離した水相のpHをNaOHを用いて約4に調節し、TTAーC_6H_6溶液でUを抽出する。この有機相に先にThを抽出したC_6H_6相を加え、3MーHClでU、Thを逆抽出し、水相をC_6H_<12>で洗浄して得られた水溶液をICP発光分析への供試料としてU、Thを定量する。
本法によれば、ICP発光分析法で得られる検量線感度以上のU、Thの定量が可能であった(日本分析化学会第39年会、名古屋、10月(1990)発表)。しかし、pptオ-ダ-のU、Thを分析するには、ICP質量分析法の採用が必要で、これについては現在検討中である。
2.協同抽出による微量元素の予備濃縮とICP発光分析法
分析目的元素の分配比に制約があるため、キレ-ト抽出系は予備濃縮の手段として難点があったが、これを協同抽出の採用によって克服し、濃縮効率のよい方法として実用化させた。検討した抽出系は、ジチゾンーTBPOーキシレン系で、水相/有機相の体積比100倍でCo、Ni、Cu、Zn、Cd、Pbの定量的な濃縮ができ、これをICP発光分析法と組み合わせて、これら金属の同等定量を可能にした。確立した方法を用いて、河川(渡良瀬川)水中の微量金属の分析を行い、Cu:85±5ppb、Zn:88±0.1ppb、Cd:0.57±0.002ppb、Pb:3.2±0.0.4ppbの結果を得た。
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