| 研究概要 |
KrFエキシマレ-ザ-(Lamda Phupik EMG103MSC)を用いて,スパッタされた中性粒子を多光子イオン化して,それを飛行時間分折法により,質量分析ならびに速度分布測定を行う多光子イオン化装置の開発に成功した。この装置を用いてスパッタ粒子の速度分布の精密測定より二次イオン生成機構について新らしい知見を得た。装置の概略図を示した。実験条件は図中に示した通りである。
得られた結果を要約すると
(1)AlーCu合金の表面組成,定量分析を得て,定量精度が±0.446%という画期的な成果を挙げた。
(2)CuーNi合金については,イオンの照射条件によってスパッタ粒子の速度分布が変化することを初めて見出した。
(3)解休の結果,この現象は表面に打ち込まれたイオンがスパッタ粒子に対して表面結合エネルギ-を減少させることに起因することを結論付けることに成功した。
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